Zevision® IMC300
Präzisionssteuerung für maximale Reproduzierbarkeit und unübertroffene Kristalleffizienz
Der INFICON IMC300 ist Teil der nächsten Generation von Zevision-Beschichtungssteuerungen, die eine neue patentierte Technologie bieten, die für die heutigen optischen Beschichtungsanlagen benötigt wird.
ModeLock-Messsystem
INFICON Zevision IMC300 verwendet das INFICON ModeLock™-Messsystem, um die Reproduzierbarkeit und Einheitlichkeit mit der höchsten Dickengenauigkeit, der besten Messauflösung und dem geringsten Rauschen zu maximieren. Das ModeLock-Messsystem maximiert die Betriebszeit und den Durchsatz, indem es die nutzbare Lebensdauer der Quarze verlängert - in einigen Fällen um mehr als das Doppelte der erwarteten Lebensdauer eines Frequenzzählers.
Einfache Systemintegration
Die Systemintegration mit INFICON Zevision IMC300 ist schnell und einfach und bietet Rückwärtskompatibilität, Logik und die optionale Möglichkeit, mehrere Quellen gleichzeitig mit einem einzigen Controller zu betreiben. INFICON Zevision IMC300 verfügt über ein Touchscreen-Frontpanel mit einfach zu navigierenden Menüs und intuitiver Rezepterstellung. Das Schreiben von Software wird durch die ausschließliche Verwendung von druckbaren ASCII-Zeichen mit eindeutigen Start- und Stoppzeichen in allen Befehlen und Antworten erheblich vereinfacht. Das neue serielle Kommunikationsprotokoll verfügt außerdem über Hilfsbefehle, mit denen Sie die verfügbaren Befehle erfahren können, ohne die Betriebsanleitung zu Rate ziehen zu müssen.
Upgrades und Nachsorgeplan
Alle Firmware-Updates und Hardware-Upgrades können jetzt vor Ort mit einfach zu installierenden Optionskarten und Firmware-Updates über den USB-Anschluss an der Frontplatte durchgeführt werden. Optionale E/A- und 2-Sensor-2-Quellen-Messkarten sind für die Installation vor Ort ohne zusätzliche Werkzeuge erhältlich.
Obwohl der INFICON Zevision IMC300 auf eine jahrzehntelange Lebensdauer ausgelegt ist, können Sie sich darauf verlassen, dass Reparaturen im Rahmen des optionalen Nachsorgeplans kostenlos sind. Für den Fall, dass Ihr INFICON Zevision IMC300 repariert werden muss, sind optionale 2-Jahres- oder 4-Jahres-Nachsorgetarife erhältlich, die über die Standardgarantie von 2 Jahren hinausgehen. Wenn für das IMC300 ein Nachsorgeplan gilt, kann ein Leihgerät zur Verfügung gestellt werden, wenn während der gesamten Lebensdauer des Geräts eine Reparatur erforderlich ist.
Vorteile
- Maximierung der Reproduzierbarkeit und Einheitlichkeit mit höchster Dickengenauigkeit, bester Messauflösung und geringstem Rauschen durch das ModeLock-Messsystem
- Maximierung der Anzahl möglicher Läufe bei gleichzeitiger Senkung der Kristallverbrauchskosten mit ModeLock (längste nutzbare Kristalllebensdauer)
- Minimierung der Integrationskosten und Maximierung der Integrationsgeschwindigkeit durch Rückwärtskompatibilität, Logik und die optionale Möglichkeit, mehrere Quellen während eines einzigen Prozesses gleichzeitig mit einem einzigen Controller zu betreiben
- Minimierung des Entwicklungsrisikos und Optimierung der Systemleistung durch weltweiten Experten-Support für Anwendungen
Spezifikationen
| MASSNAHMEN | |
| Kristall Frequenzbereich | 6,0 bis 4,5 MHz |
| Frequenzauflösung | ±0,00656 Hz @ 6 MHz |
| Frequenz-Genauigkeit | ±2,5 ppm 0 bis 50°C |
| Messrate | 10 Hz |
| Dicke und Auflösung der Rate | ±0,008 Å und ±0,08 Å/s |
| Dickengenauigkeit | 0.5% |
| Raten-Genauigkeit | 0.1% |
Ersatzteile
| Teil Nummer | Beschreibung |
| 051-1509S | Power Supply AC Input Spare |
| 051-1510S | Fuse Drawer Spare |
| 062-0128S | Fuse Spare |
| 786-021-G1S | Hardware Spare Kit |
| 786-210-G1S | Front Panel Assembly IMC300 Spare |
| 786-211-G1S | Chassis Weld Assembly Spare |
| 786-303-P1S | Bottom Cover Spare |
| 786-304-P1S | Top Cover Spare |
| 786-310-P1S | Card Guide Top Spare |
| 786-311-P1S | Partition Spare |
| 786-350-P1S | Controller Card Faceplate Spare |
| 786-351-P1S | Faceplate Blank Spare |
Zevision Teilenummern-Konfigurator
