Sensoren & Durchführungen

Ausheizbarer UHV-Sensor

UHV-Bakeable-Sensor

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Ausheizbare INFICON UHV-Kristallsensoren mit Frontbeladung bieten bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und besitzen die beste thermische Stabilität aller kommerziell erhältlichen Sensorköpfe. 

Der aus den Werkstoffen Edelstahl 304, Molybdän, Inconel, Nickel und Aluminiumoxid gefertigte ausheizbare UHV-Sensor ist für kontinuierliche Ausheiztemperaturen bis zu 450 °C ausgelegt (nur zum Ausheizen; die Überwachung der Abscheidung selbst erfordert Kühlwasserfluss). 

Dank der Frontbeladungsbauweise lässt sich der Kristallhalter auch in Anwendungen verwenden, in denen ein seitliches Einsetzen aufgrund des begrenzten Raums nicht möglich ist.

Merkmale

  • Hochtemperaturgelötete & geschweißte Bauweise
  • Ausheiztemperaturen bis 450 °C
  • Kristallverschluss (optional)
  • Kristallhalter zur Frontbeladung
  • Einfache Installation
  • CF40-Durchführung
  • Kein Anlöten oder Anschweißen an Durchführung erforderlich
  • Auf kundenspezifische Längen geschweißte Kombination aus Sensor/Durchführung

Spezifikationen

Bakeable Sensor w/ Shutter
Bakeable Sensor w/out Shutter
Höchsttemperatur400° C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring)
KristallaustauschFront loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact. Pneumatically operated shutter flips up for easy crystal exchange.
Leitungen für Wasser, Luft und Koaxialkabel0.125 in. (3 mm) O.D. water and air x 0.015 in. (0.4 mm) wall thickness seamless 304 stainless steel; 0.188 in. (5 mm) O.D. coax
Höchsttemperatur450°C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring)
KristallaustauschFront loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact.
Leitungen für Wasser, Luft und Koaxialkabel0.125 in. (3 mm) O.D. water x 0.015 in. (0.4 mm) wall thickness seamless 304 stainless steel; 0.188 in. (5 mm) O.D. coax
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Zubehör

Zubehör
Verbrauchsmaterialien
ArtikelnummerBeschreibung
750-420-G1Ansteuerventil f. Blende

Ersatzteile

ArtikelnummerBeschreibung
007-007Haltefeder (für Kristallhalter)
007-064Ceramic Retainer, Bakeable Sensor
007-094Clamping Sring, UHV Bakeable Sensor
007-095Handle, UHV Bakeable Sensor
007-098Buchsenstecker (inkl. Aderendhülsen und Überwurfmutter)
007-099Head Contact, UHV Bakeable Sensor
007-100High Temperature BNC Insulator
007-103Insulator, UHV Bakeable Sensor
007-104High Temperature BNC Body, Bakeable
007-147Vented Screw, 4-40 x 3/8 in.
007-155BRAZE ASM 12 IN. 206-804-G1
007-156BRAZE ASM 20 IN 206-804-G2
007-157BRAZE ASM 30 IN 206-804-G3
007-228SPEC,4-40 X 5/8 VENTED SHC SC
007-267-P2Spreader Bar, UHV Bakeable Sensor
007-268-P1Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
007-269-P1Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
008-007Kristall-Greifer
059-0084Gasket, Copper, Bakeable Sensor Actuator
070-201#4 SPLIT LOCKWASHER SS
084-069-P14-40 X .188 PHIL FLAT MS S/S
750-018-P3SPLIT CLAMP {THD} {CLEAN} @
750-018-P5SPLIT CLAMP {CLEAN} @
750-022-G5ACTR/AIR LINE 12 IN {CLEAN}
750-022-G6ACTR/AIR LINE 20 IN {CLEAN}
750-022-G7Actuator/Air Line 76.2 cm (30 in.),Clean
750-028-G5BK XTAL SNS/FT/AIR 12 IN CLEAN
750-028-G6BK XTAL SNS/FT/AIR 20 IN CLEAN
750-028-G7BK XTAL SNS/FT/AIR 30 IN CLEAN
750-115-P4Kupplung (zur Installation auf der Balgbaugruppe)
750-118-P4ACT SUPPORT W/ DOWEL
750-120-G3ASSY,SHAFT @
750-216-G1Wellenbaugruppe (Teil des Verschlussmoduls)
750-218-G1Crystal Holder, Bakeable Sensor
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