Sensoren & Durchführungen
Ausheizbarer UHV-Sensor
Ausheizbare INFICON UHV-Kristallsensoren mit Frontbeladung bieten bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und besitzen die beste thermische Stabilität aller kommerziell erhältlichen Sensorköpfe.
Der aus den Werkstoffen Edelstahl 304, Molybdän, Inconel, Nickel und Aluminiumoxid gefertigte ausheizbare UHV-Sensor ist für kontinuierliche Ausheiztemperaturen bis zu 450 °C ausgelegt (nur zum Ausheizen; die Überwachung der Abscheidung selbst erfordert Kühlwasserfluss).
Dank der Frontbeladungsbauweise lässt sich der Kristallhalter auch in Anwendungen verwenden, in denen ein seitliches Einsetzen aufgrund des begrenzten Raums nicht möglich ist.
Merkmale
- Hochtemperaturgelötete & geschweißte Bauweise
- Ausheiztemperaturen bis 450 °C
- Kristallverschluss (optional)
- Kristallhalter zur Frontbeladung
- Einfache Installation
- CF40-Durchführung
- Kein Anlöten oder Anschweißen an Durchführung erforderlich
- Auf kundenspezifische Längen geschweißte Kombination aus Sensor/Durchführung
Spezifikationen
Bakeable Sensor w/ Shutter
Bakeable Sensor w/out Shutter
| Höchsttemperatur | 400° C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring) |
| Kristallaustausch | Front loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact. Pneumatically operated shutter flips up for easy crystal exchange. |
| Leitungen für Wasser, Luft und Koaxialkabel | 0.125 in. (3 mm) O.D. water and air x 0.015 in. (0.4 mm) wall thickness seamless 304 stainless steel; 0.188 in. (5 mm) O.D. coax |
| Höchsttemperatur | 450°C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring) |
| Kristallaustausch | Front loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact. |
| Leitungen für Wasser, Luft und Koaxialkabel | 0.125 in. (3 mm) O.D. water x 0.015 in. (0.4 mm) wall thickness seamless 304 stainless steel; 0.188 in. (5 mm) O.D. coax |
Zubehör
Zubehör
Verbrauchsmaterialien
Ersatzteile
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 750-420-G1 | Ansteuerventil f. Blende |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 007-007 | Retainer spring (for crystal holder) |
| 007-064 | Ceramic retainer |
| 007-094 | Clamping spring |
| 007-095 | Handle |
| 007-098 | Female Connector (includes ferrules and nut) |
| 007-099 | Bakeable head contact |
| 007-100 | Insulator for BNC |
| 007-103 | Insulator for bakeable head contact |
| 007-104 | BNC Body |
| 007-147 | #4-40 X 3/8 screw |
| 007-228 | #4-40 X 5/8 screw |
| 007-267-P2 | Spreader bar |
| 007-268-P1 | Shoulder washer |
| 007-269-P1 | Shoulder washer |
| 008-007 | CRYSTAL SNATCHER |
| 059-0084 | VCR gasket |
| 070-201 | #4 Split lockwasher |
| 084-069-P1 | #4-40 x 3/16 screw |
| 750-018-P3 | Split clamp |
| 750-018-P5 | Split clamp |
| 750-022-G5 | Bellows assembly - 12 in. (30.5 cm) |
| 750-022-G6 | Bellows assembly - 20 in. (50.8 cm) |
| 750-022-G7 | Bellows assembly - 30 in. (76.2 cm) |
| 750-115-P4 | Coupling (installs onto bellows assembly) |
| 750-118-P4 | Actuator support |
| 750-120-G3 | Shaft assembly |
| 750-216-G1 | Shutter assembly (part of shutter module) |
| 750-218-G1 | Crystal holder |
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