ALD Sensor
Optimale Genauigkeit, maximale Betriebszeit und minimale Wartung
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
INFICON ALD-Sensoren bringen die Wiederholbarkeit, die Präzision und die Langlebigkeit der Quarzkristallmikrowagenmessung (QCM) zur Atomlagenabscheidung (ALD). Der ALD-Sensor kann Temperaturen bis zu 450 °C standhalten und ist für den Einsatz in der rauen Umgebung einer ALD-Anwendung ausgelegt. Die freiliegende Kristallelektrode ist vollständig geerdet, um mögliche Probleme aufgrund elektrischer Störungen zu verhindern.
Speziell für ALD entwickelt
Ein einzigartiges Merkmal des INFICON ALD-Sensors ist ein Gasröhrchen zur Spülung der Kristallrückseite und der Sensorvertiefung mit einem Inertgas, normalerweise Stickstoff. Dadurch wird das Eindringen reaktiver Kammergase in den Sensorkopf verhindert und die Kristallrückseite und die elektrischen Anschlüsse werden nicht durch Abscheidungsmaterial verunreinigt. Diese Methode ermöglicht eine In-situ-Messung in Anlagen, bei denen ein standardmäßiges QCM-Verfahren nicht möglich ist.
Durchführung und Durchführungsanschluss
INFICON ALD-Sensoren sind in maßgeschweißten Längen oder mit Klemmverschraubungen für einstellbare Länge ohne Löt- oder Schweißarbeit lieferbar. Alle Konfigurationen verwenden eine 2 3/4-Zoll (CF40) ConFlat®-Flanschdurchführung.
Hochtemperaturkristalle für präzisere Messungen
Der INFICON ALD-Sensor erzielt die höchste Messgenauigkeit und einen niedrigeren Rauschpegel in Hochtemperaturanwendungen, wenn er in Verbindung mit INFICONs neuen Hochtemperatur-Quarzkristallen verwendet wird. Diese Hochtemperaturkristalle sind für Anwendungen bei 120, 240 und 285 °C optimiert, so dass Sie immer den passenden Kristall für Ihren Prozess zur Verfügung haben.
Für andere Temperaturen optimierte Kristalle sind möglicherweise ebenfalls lieferbar. Wenden Sie sich dazu bitte an INFICON.
Merkmale
- Betriebstemperatur bis zu 450 °C
- Spülgasleitung verhindert Ablagerung von Abscheidungsmaterial auf der Kristallrückseite
- Angeschweißter Conflat-Flansch (CF40) als Alternative
- O-Klemmringverschraubung als Alternative
- Hochtemperaturkristalle sind erhältlich
Vorteile
- Kompatibel mit den meisten ALD-Prozesstemperaturen
- Deutliche Wartungsverringerung
- Maximierung der Betriebszeit
- Maximierung der Messgenauigkeit
- Stabile Messwerte mit niedrigem Rauschpegel bei hohen Prozesstemperaturen
Typische Anwendungen
- Atomlagenabscheidung (ALD, Atomic Layer Deposition)
Zubehör
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 750-1058-G10 | Für 120°C optimierte Kristalle, 6 MHz, 14 mm, Gold, Packung à 10 |
| 750-1059-G10 | Für 240 °C optimierte Kristalle, 6 MHz, 14 mm, Gold, Packung à 10 |
| 750-1060-G10 | Für 285 °C optimierte Kristalle, 6 MHz, 14 mm, Gold, Packung à 10 |
Ersatzteile
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 007-007 | Haltefeder (für Kristallhalter) |
| 007-064 | Ceramic Retainer, Bakeable Sensor |
| 007-094 | Clamping Sring, UHV Bakeable Sensor |
| 007-095 | Handle, UHV Bakeable Sensor |
| 007-098 | Buchsenstecker (inkl. Aderendhülsen und Überwurfmutter) |
| 007-099 | Head Contact, UHV Bakeable Sensor |
| 007-100 | High Temperature BNC Insulator |
| 007-103 | Insulator, UHV Bakeable Sensor |
| 007-104 | High Temperature BNC Body, Bakeable |
| 007-147 | Vented Screw, 4-40 x 3/8 in. |
| 007-228 | SPEC,4-40 X 5/8 VENTED SHC SC |
| 007-267-P2 | Spreader Bar, UHV Bakeable Sensor |
| 007-268-P1 | Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor |
| 007-269-P1 | Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor |
| 070-201 | #4 SPLIT LOCKWASHER SS |
| 084-069-P1 | 4-40 X .188 PHIL FLAT MS S/S |
| 750-018-P3 | SPLIT CLAMP {THD} {CLEAN} @ |
| 750-018-P5 | SPLIT CLAMP {CLEAN} @ |
| 750-218-G1 | Crystal Holder, Bakeable Sensor |
