Controllers

SQC-310

Hochpräzise sequenzielle oder kodierte Steuerung

Mit fortschrittlicher Elektronik, einem verbesserten Display und einem sehr erschwinglichen Preis bietet Ihnen die SQC-310 Serie Funktionen, die Sie bei Dünnschichtreglern der Konkurrenz nicht finden. Und Sie können das ideale Modell für Ihre Anwendung wählen: sequentielle Abscheidung (SQC-310) oder Mitabscheidung (SQC-310

Merkmale

Helles, farbiges LCD-Display - verfügbar in Englisch oder Chinesisch
Standardmäßig RS-232 und USB (RS-232 und Ethernet optional)
Einfache Einrichtung und Bedienung mit einem "Quick Setup"-Menü, 6 kontextsensitiven Drucktasten und einem praktischen Parametereinstellknopf
Windows®-Programm zum Entwickeln, Testen und Herunterladen von Prozessen sowie zum Aufzeichnen von Gerätedaten auf Ihrem PC zur Prozessanalyse und Qualitätskontrolle
Präzise Prozesssteuerung, insbesondere bei niedrigen Abscheideraten, mit einer Auflösung von ±0,03 Hz bei 10 Messwerten/Sekunde
Speicherkapazität für bis zu 100 Prozesse, 1.000 Schichten, 50 Filme
Überwachung des Ausgangsmaterials mit einem einzigen Sensor oder mit mehreren Sensoren für eine genaue Überwachung der Ausgangsmaterialverteilung

Spezifikationen

SQC-310

SQC-310C

Messung
QCM Inputs	2 (4 optional)
Messung Frequenzbereich	Anpassbar:
	1.0 MHz minimum
	6.5 MHz maximum
Frequenz Auflösung (1)	± 0.012 Hz
Auflösung/Messung von Dicke und Geschwindigkeit (2)	±0.015 Å
Frequenzstabilität	± 2 ppm total, 0 to 50C
Messintervall	0.10 to 1.0 s (anpassbar)
Tarifanzeige	0.01 Å/sec

Steuerung
Speicherung	100 Prozesse, 1000 Schichten, 50 Filme
Steuerausgänge	2 (4 optional)
Ausgangssignal	± 0 to 10 VDC, 15 bits
Digitale Eingänge/Relais	8/8 (16/16 optional)
Digitale Eingänge	5 VDC nicht isoliert
Relais	SPST Form 1A, 30V, 2A max
Schnittstelle(n)	Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
Fernsteuerung der Stromversorgung	Optional (IPN 782-900-017)

Anzeige
Typ	1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
Graphiken	ate, Abweichung, Leistung oder Vollbild numerisch

Allgemein
Strom	100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W
Konformität	CE, RoHS
Windows® Software	Inklusive
Gehäuse / Montage	5 1/4” Halbschale

(1) Auflösung angegeben für 0,25 s Messintervall
(2) Werkzeug/Dichte = 100/1, Grundfrequenz = 6 MHz, 0,25 s Messintervall

Messung
QCM Inputs	4
Messung Frequenzbereich	Anpassbar:
	1.0 MHz minimum
	6.5 MHz maximum
Frequenz Auflösung (1)	± 0.012 Hz
Auflösung/Messung von Dicke und Geschwindigkeit (2)	±0.015 Å
Frequenzstabilität	± 2 ppm total, 0 to 50C
Messintervall	0.10 to 1.0 s (anpassbar)
Tarifanzeige	0.01 Å/sec

Steuerung
Speicherung	100 Prozesse, 1000 Schichten, 50 Filme
Steuerausgänge	4
Ausgangssignal	± 0 to 10 VDC, 15 bits
Digitale Eingänge/Relais	16/16
Digitale Eingänge	5 VDC nicht isoliert
Relais	SPST Form 1A, 30V, 2A max
Schnittstelle(n)	Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
Fernsteuerung der Stromversorgung	Optional (IPN 782-900-017)

Anzeige
Typ	1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
Graphiken	Rate, Abweichung, Leistung oder Vollbild numerisch

Allgemein
Strom	100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
Konformität	CE, RoHS
Windows® Software	Inklusive
Gehäuse / Montage	5 1/4” Halbschale

(1) Auflösung angegeben für 0,25 s Messintervall
(2) Werkzeug/Dichte = 100/1, Grundfrequenz = 6 MHz, 0,25 s Messintervall

Zubehör

Zubehör und Ersatzteile

Name	Beschreibung
Front Load Single Sensor	Front Load Single Sensor
Front Load Dual Sensor	Front Load Dual Sensor
Cool Drawer Single Sensor	Cool Drawer Single Sensor
Cool Drawer Dual Sensor	Cool Drawer Dual Sensor
Low Profile Single Sensor	Low Profile Single Sensor
Easy Rate Dual Sensor	Easy Rate Dual Sensor
Low Profile Dual Sensor	Low Profile Dual Sensor
UHV Bakeable Sensor	UHV Bakeable Sensor
Sputtering Sensor	Sputtering Sensor
CrystalSix® Sensor	CrystalSix® Sensor
Crystal 12® Sensor	Crystal 12® Sensor
Easy Rate Single Sensor	Easy Rate Single Sensor
RSH-600 Rotary Sensor	RSH-600 Rotary Sensor

Artikelnummer	Beschreibung
782-900-007	Full Rack Extender - Mounts one SQC-310 or Composer Elite in a 19 in. rack (includes blank-off)
782-900-016	Rack adapter - mounts two SQC-310 instruments in 19 in. rack
782-502-097-G1	Ethernet option card
782-502-096-G2	USB option card
Oscillator kits	(Includes oscillator and cables)
783-500-109-10	3 m (10 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 3 m (10 ft.) BNC cable
783-500-109-25	7.6 m (25 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 7.6 m (25 ft.) BNC cable
783-500-109-50	15.2 m (50 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 15.2 m (50 ft.) BNC cable
783-500-109-75	22.8 m (75 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 22.8 m (75 ft.) BNC cable
Oscillator Only	(No cables included)
783-500-013-G1	OSC-100 oscillator only (no cables)
Cables
782-902-011	15.2 cm (6 in.) BNC cable, male/female
782-902-012-10	3 m (10 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-25	7.6 m (25 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-50	15.2 m (50 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-75	22.8 m (75 ft.) BNC cable, male/male