CrystalSix® Sensor
Der INFICON CrystalSix-Sensor ist von entscheidender Bedeutung für lange Prozesse, die eine kontinuierliche Ratensteuerung erfordern. Egal, ob es sich um OLED-, MBE-, Solar-, optische Beschichtungen oder andere Prozesse mit einer längeren Zeitspanne zwischen Kammerbelüftungen handelt – der CrystalSix-Sensor bietet die Sicherheit von 6 Quarzmonitorkristallen in einem einzigen Sensorkopf.
Bei Verwendung mit einem INFICON-Dünnschicht-Controller dreht der CrystalSix automatisch einen neuen Kristall in Position, wenn der aktuelle Kristall versagt oder instabil wird. Kristalle werden automatisch und ohne Unterbrechung des Prozesses ausgetauscht. So ist eine kontinuierliche Überwachung der Abscheidungsrate möglich.
Die Kristallindexierung wird mithilfe eines pneumatischen Mechanismus bewerkstelligt. Dieser Motor mit pneumatischem Antrieb bietet bessere thermische Kristallstabilität als die Einheiten anderer Hersteller, die teure, im Vakuum betriebene wärmeerzeugende Elektromotoren verwenden. 1/8-Zoll-Wasserkühlrohre halten den Sensorkopf thermisch stabil und ermöglichen eine flexible Sensorplatzierung.
Bei Verwendung mit bestimmten Dünnschicht-Controllern von INFICON liefert der Sensor eine Positionsrückmeldung, so dass bestimmte Materialien bestimmten Positionen zugewiesen werden können.
Merkmale
- Enthält 6 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
- Stabile Kristalltemperatur aufgrund des pneumatisch angetriebenen Kristallwechsels (Einheiten anderer Hersteller verwenden wärmeerzeugende Motoren)
- 1/8-Zoll-Wasserkühlschläuche sorgen für thermische Stabilität und gestatten flexible Sensorplatzierung
- Optionaler Kristallverschluss erhältlich
Spezifikationen
| Max. Ausheiztemperatur ohne Wasser | 130°C |
| Max. isotherme Umgebungsbetriebstemperatur bei minimalem Wasserdurchfluss | 400° C |
| Kristallaustausch | Front-loading, extraction tool required (supplied with unit) |
| Wasser- und Luftschläuche | S-304, 0.125 in. (0.32 cm) O.D. x 0.016 in. (0.04 cm) Wall Thickness 30 in. Long (76 cm) seamless stainless steel tubing |
Artikelnummern
| Part Number | Description |
| 750-446-G1 | CrystalSix sensor (sensor only, no feedthrough included) |
| SPS-1039-G1 | CrystalSix sensor with shutter |
| 750-446-G1-CN | CrystalSix sensor (sensor only, no feedthrough included) [made in China] |
| SPS-1039-G1-CN | CrystalSix sensor with shutter [made in China] |
Zubehör
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 007-007 | Retainer spring (for crystal holder) |
| 007-023 | Ceramic Retainer |
| 070-0398 | Retaining ring (secures bearing located next to pawl and actuator stem) |
| 070-0777 | Compression spring (on carousel shaft) |
| 070-0778 | Ball bearing (underneath carousel) |
| 070-0779 | Ball bearing |
| 070-0870 | Teflon washer (on carousel shaft) |
| 750-048-P1 | Retainer spring for 007-048 and 751-619-G1 sputtering head bodies |
| 750-175-P1 | Insulator (underneath leaf spring) |
| 750-188-P3 | Leaf Spring |
| 750-249-P2 | Retaining pin (part of heat shield assembly) |
| 750-250-G1 | Deposition Shield, CrystalSix Sensor |
| 750-256-P2 | Extension spring |
| 750-257-P3 | Corrugated spring 4.40 in. (11.2 cm) |
| 750-261-G1 | Carousel assembly (includes resistor network and electrical contacts) |
| 750-262-G1 | Crystal holder |
| 750-265-G1 | Top plate weld assembly |
| 750-276-P2 | Actuator cover |
| 750-278-P2 | Water line |
| 750-286-P2 | Pneumatic actuator |
| 750-290-P3 | Carousel electrical contacts (set of eight) |
| 750-901-G1 | Crystal 6 Kit |
| 750-293-P2 | Ratchet |
| 750-294-P2 | Stop ratchet |
| 750-295-G1 | Pawl and actuator |
| 750-336-G1 | Resistor network assembly |
| 750-338-P1 | Contact insulator (underneath carousel electrical contacts) |
| In-vacuum cables | |
| 321-039-G12 | In-vacuum cable, 15.2 cm (6 in.) |
| 007-252 | In-vacuum cable, 30.5 cm (12 in.) |
| 321-039-G11 | In-vacuum cable, 61.0 cm (24 in.) |
| 007-044 | In-vacuum cable, 78.1 cm (30.75 in.) |
| 007-059 | In-vacuum cable, 91.4 cm (36 in.) |
| 007-061 | In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G13 | In-Vacuum Cable, 154.2 cm (60 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G14 | In-vacuum cable, 182.9 cm (72 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G15 | In-vacuum cable, 3.5 m (137.8 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
| 321-039-G16 | In-vacuum cable, 4 m (157.5 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
