Sensoren & Durchführungen

Dual Sensor mit Frontbeladung

Front-Load-Dual-Sensor

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Dual-Kristallsensoren mit Frontbeladung von INFICON bieten bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und besitzen die beste thermische Stabilität aller kommerziell erhältlichen Sensorköpfe. Der Dual-Sensor verfügt über einen Backup-Kristall und ist von entscheidender Bedeutung für kritische Prozesse, bei denen ein zweiter Kristall in der Vakuumkammer empfehlenswert ist.

Dank der Frontbeladungsbauweise lässt sich der Kristallhalter auch in Anwendungen verwenden, in denen ein seitliches Einsetzen aufgrund des begrenzten Raums nicht möglich ist. Da die Bauteile nicht gelötet, sondern mechanisch zusammengesetzt sind, können sie bei Bedarf auch vor Ort bequem ausgetauscht werden. 

Die Sensoren können einzeln bestellt werden oder als Teil einer Kombination aus Sensor/Durchführung, die entweder geschweißt oder mit Klemmringverschraubungen zusammengesetzt werden kann.

Merkmale

  • Dualkristalle
  • Kristallverschluss
  • Kristallhalter zur Frontbeladung
  • Einfache Installation
  • Erhältlich mit 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung und mit CF40-Durchführung
  • Einstellbare Länge bei Bestellung mit Klemmringverschraubungen
  • Kein Anlöten erforderlich bei Bestellung mit Klemmringverschraubungen oder an Durchführung angeschweißt
  • Auf kundenspezifische Längen geschweißte Kombinationen aus Sensor/Durchführung erhältlich

Spezikationen

Max. isotherme Umgebungsbetriebstemperatur bei minimalem Wasserdurchfluss400 ° C
KristallaustauschFront-loading, self-contained package for ease of exchange. Shutter flips up to ease access to the holders.
WasserrohreS-304, 0.125 in. (3.175 mm) OD x 0.015 in. (0.381 mm) Wall thickness seamless stainless steel tubing
Durchführungsspezifikationen 25,4 mm (1 Zoll)-Bolzen und Ultra-Torr-Endenabschlüsse (Klemmringverschraubung):
Materialien304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
TemperaturOperational environment to 300ºC with water cooling or 165° C without
Befestigung1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
Spezifikationen herunterladen

Zubehör

Zubehör
Verbrauchsmaterialien

Ersatzteile

ArtikelnummerBeschreibung
007-007Haltefeder (für Kristallhalter)
007-023Keramikhalter
080-018Feststellschraube (für Koaxialbuchse)
082-044Teflonschraube (für Blattfeder)
750-115-P4Kupplung (zur Installation auf der Balgbaugruppe)
750-169-P2Balgbaugruppe (ohne Kupplung)
750-171-P1Fingerfederkontakt
750-172-G1Kristallhalter (inkl. Haltefeder)
750-174-P2Koaxialkabelbuchse
750-175-P1Isolator (unter der Blattfeder)
008-007Kristall-Greifer
750-188-P3Leaf Spring Formed
750-210-G1Verschlussmodul (Balgbaugruppe, Wellenbaugruppe und Verschlussbaugruppe)
750-215-G1Wellenbaugruppe (Teil des Verschlussmoduls)
750-216-G1Wellenbaugruppe (Teil des Verschlussmoduls)
In-vacuum cables 
321-039-G12Kabel Sensorkopf 15.2 cm
007-252Kabel Sensorkopf 30.5 cm
321-039-G11In-vacuum Cable, 61.0 cm (24 in.)
007-044In-vacuo-Kabel, 78,1 cm (30 Zoll)
007-059In-vacuum Cable, 91.4 cm (36 in.)
007-061Kabel 120cm, Sputter Kopf
321-039-G13In-vacuo-Kabel, 154 cm - Erfordert ModeLock-Controller
321-039-G14In-vacuum Cable, 182.9 cm (72 in.)
321-039-G15In-vacuum Cable, 3.5 m (137.8 in.)
321-039-G16In-vacuum Cable, 4 m (157.5 in.)

Artikelnummer

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