RSH-800 Drehbarer Sensor
Kontinuierliche Abscheidung, die die Betriebszeit für anspruchsvollste Anwendungen maximiert.
Erweiterte PVD-Prozesse erfordern Geräte, die während des gesamten Betriebs stabil, genau und zuverlässig bleiben. Eine instabile Geschwindigkeitsregelung kann zu Einbußen bei der Ausbeute, der Gleichmäßigkeit und wertvoller Produktionszeit führen.
Der INFICON RSH-800 Drehbare Sensor wurde für lange Abscheidungsläufe entwickelt, die ohne Unterbrechung abgeschlossen werden müssen. Er wurde für die kontinuierliche Überwachung in anspruchsvollen Umgebungen entwickelt und trägt dazu bei, dass anspruchsvolle Prozesse von Anfang
Entwickelt für anspruchsvolle Prozesse
Längere PVD-Prozesse können Anlagen an ihre Grenzen bringen. Hitze, dicke Beschichtungen, präzise Mehrschichtbeschichtungen und lange Zykluszeiten erfordern eine zuverlässige Überwachung, die auch unter Druck nicht versagt.
Der RSH‑800 ist mit fortschrittlicher Sechs-Kristall-Technologie ausgestattet, um auch unter anspruchsvollen Bedingungen eine konstante Leistung zu erbringen. Sein wassergekühltes, thermisch abgeschirmtes Gehäuse sorgt für Stabilität bis zu 300 Grad Celsius und trägt dazu bei, dass die Messungen während des gesamten Beschichtungsvorgangs genau bleiben.
Sorgt für stabile Überwachung
Eine zuverlässige Dickenmessung ist für gleichmäßige Schichten und vorhersagbare Leistung unerlässlich. Mit einer Technologie, die dafür ausgelegt ist, die Abscheidungsrate über lange Beschichtungsläufe hinweg stabil zu halten, unterstützt der RSH‑800 ein konsistentes, unterbrechungsfreies Signal, selbst bei Anwendungen, bei denen sich die Temperatur ändert und die Abscheidungsdicke kontinuierlich zunimmt.
Ein thermisch abgeschirmtes Gehäuse trägt dazu bei, Thermoschocks zu vermeiden und die Genauigkeit während des gesamten Prozesses aufrechtzuerhalten.
Entwickelt für schnelle Wartung und hohe Betriebszeit
Der RSH-800 trägt mit seinem Design, das eine schnelle Wartung vor Ort ermöglicht, zur Aufrechterhaltung des Betriebs bei. Der Austausch der Kristalle ist unkompliziert, da die Verpackung die Handhabung während der Installation vereinfacht.
Die pneumatische Indexierung sorgt für einen reibungslosen Vorschub der Kristalle, während integrierte Feedback-Optionen es den Systemen erleichtern, die Position der Kristalle zu verfolgen.
Vorteile auf einen Blick
- Verbesserte Ausbeute und Filmgenauigkeit dank hoher Qualität der Technik
- Höhere Produktionseffizienz durch längere Betriebszeit
- Verbesserter Durchsatz durch schnellen Kristallwechsel
- Bessere Filmoptimierung durch Positionsrückmeldung
- Zeitersparnis durch einfache Handhabung und Installation vor Ort
- Zugang zu weltweitem Know-how für die Anwendung und die Prozessoptimierung
Flexible Konfigurationen für die Kammerintegration
Jedes Vakuumsystem hat seine eigene Geometrie und Einschränkungen. Der RSH-800 lässt sich durch mehrere Befestigungsoptionen leicht anpassen, darunter Flachkopfkonfigurationen für die Montage von oben mit einer O-Ring-Durchführung oder einem CF63-Flansch. Es sind einstellbare Flanschzubehörteile erhältlich, um den Sensor genau dort in der Kammer zu platzieren, wo er benötigt wird.
Spezifikationen
| Anzahl der Kristalle | Sechs |
| Kristallgröße | 14 mm (0,550 Zoll) Durchmesser |
| Einbauöffnung | 50,8 mm (2,0 Zoll) Durchmesser |
| Leistungsbedarf | 24 V (Gleichstrom) Magnetventil 21,6–26,4 V (Gleichstrom), 40 mA |
| 115 V (Wechselstrom) Magnetventil 90–132 V (Wechselstrom), 36/32 mA rms (50/60 Hz) | |
| Kristallumschaltverfahren | Luftbetätigt bei 55 psi (4 kg/cm2) geregelt |
| Kühlverfahren | Wassergekühlt bei 5 l/m bei 2 kg/cm2 (28 psi) (Nicht einfrieren lassen) |
| Luft- und Wasseranschlüsse | Ein 6 mm (0,25 Zoll) Schnellanschluss für Luft, zwei 1/8 Zoll-Bauteile für Wasser. |
| Maximale Ausheiztemperatur ohne Wasser | 130 °C |
| Betriebstemperatur | Max. 300 °C mit Wasserkühlung und Edelstahl-Kopfabdeckung. |
| Gewicht | 3,8 kg (8,5 lb), variiert je nach Gesamtlänge. |
| Materialien | Edelstahl 304, PEEK, Beryllium-Nickel. |
Ersatzteile
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 784-553-G1S | Federhalterung – flach |
| 031-0214S | 24-V-Magnetventil (Gleichstrom) |
| 031-0215S | 115-V-Magnetventil (Wechselstrom) |
| 784-544-G1S | Kristallhalterung, flach |
| 070-2266S | Befestigungsschraube für flache Kristallhalterung |
| 784-501-P1S | Kristallhalter, flach |
| 784-545-P1S | Edelstahlabdeckung |
| 784-554-G1S | Signalhalterung |
| 784-555-G1S | Federhalterungskontakt-Kit – flach (Sechser-Set) |
| 784-524-P1S | Federhalterungskontakt |
| 784-552-G1S | Federkontakt für Kristallhalterungsbaugruppe |
| 051-2558S | 7-poliger Stecker |
| 070-2324s | Welle und Mikropunkt O-Ring mit 6 mm Durchmesser |
| 784-542-P1S | 200 mm (7,9 Zoll) Signalkabelbaugruppe |
| 784-542-P2S | 350 mm (13,8 Zoll) Signalkabelbaugruppe |
| 784-542-P3S | 450 mm (17,7 Zoll) Signalkabelbaugruppe |
| 784-542-P4S | 540 mm (21,3 Zoll) Signalkabelbaugruppe |
| 784-542-P5S | 650 mm (25,6 Zoll) Signalkabelbaugruppe |
| 784-506-G1S | Widerstandsraster |
| 059-0857S | Aktuator-Bauteile |
| 059-0856S | Magnet-Bauteile |
| 069-0201S | 6 mm Luftschlauch |
| 059-0859S | Wasserbauteile |
| 070-2326S | Einstellbarer Flansch-O-Ring |
| 784-556-G1S | Mikroschalter-Kabelbaumbaugruppe |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 784-600-G1S | Einstellbarer Flansch, rund |
| 784-600-G2S | Einstellbarer Flansch, CF63 |
