Sensoren & Durchführungen

QCM Sensordurchführungen

QCM-Sensor-Feedthroughs

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON bietet eine Vielzahl von Quarzkristallmonitor(QCM)-Sensordurchführungen für unterschiedliche QCM-Sensor- und Kammerkonfigurationen. CF40 (2,75-Zoll-ConFlat®) und 2,54-cm-(1 Zoll) Bolzendurchführungen sind mit verschiedenen Kombinationen von elektrischen Anschlüssen, Wasserkühlung und Luftrohren erhältlich. 

INFICONs Durchführungen können zur einfachen Installation und Justierung der Sensorlänge auch mit Ultra-Torr-O-Ringverschraubungen bestückt werden. Andere Durchführungsbauformen (KF40 usw.) sind auf Anfrage erhältlich; diesbezügliche Informationen erhalten Sie von INFICON.

Soweit nicht anders angegeben, besteht eine typische elektrische Verbindung für Durchführungen aus einem koaxialen BNC-Stecker auf der Atmosphärenseite und einem Microdot®-Stecker auf der Vakuumseite. Diese Art der elektrischen Verbindung ist zur Verwendung mit In-vacuo-Kabelsensoren wie INFICON Einzelsensoren mit Frontbeladung, Dualsensoren mit Frontbeladung, Sputter-, CrystalSix- und Crystal 12-Sensoren bestimmt.

Beachten Sie: Wasser- und Luftrohre für Durchführungen haben einen Außendurchmesser von 4,8 mm (3/16 Zoll).

Sensortyp

Kurzübersicht der Anforderungen und Artikelnummern für Durchführungen je nach Sensortyp.

 AnforderungenArtikelnummer
SensortypNumber of CoaxNumber of TubesCF40                CF40 with Ultra-Torr2.54 cm (1 in.) Bolt2.54  cm (1 in.) Bolt with Ultra-Torr
Single12002-043206-878-G2002-042750-624-G1
Single mit Shutter13750-685-G1750-685-G2750-030-G1Contact Factory
Dual23002-080206-890-G2750-707-G1Contact Factory
CrystallSix oder
Crystall 12
13750-685-G1750-685-G1750-030-G1Contact Factory
CrystallSix or 
Crystall 12 mit Shutter
14750-683-G1N/AContact FactoryN/A

Merkmale

  • Ausführungen mit 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung oder CF40-Durchführung (2,75-Zoll-ConFlat®) erhältlich
  • Erhältliche Ultra-Torr-O-Ringverschraubungen
  • Kundenspezifische Durchführungskonfigurationen erhältlich
  • Andere Durchführungsbauarten auf Anfrage erhältlich

Artikelnummern

ArtikelnummerBeschreibung
2.54 cm (1 in.) Bolt Feedthroughs(Inklusive VITON®-O-Ring)
002-042VAKUUMDURCHFUERUNG 1"
750-030-G1Durchführung mit Luftschlauch 30 cm
750-707-G11 in. Bolt Feedthrough, 2 Coax, 3 Tube
750-624-G11 in. Bolt Feedthrough, 1 Coax, 2 Tube
783-501-0131 in. Bolt Feedthrough, Ultra-Torr
CF40 (2.75 in. ConFlat) Feedthroughs(Inklusive Kupferdichtung)
002-043VAKUUMDURCHFUEHRUNG DN 40 CF
750-685-G1CF40 Feedthrough, 1 Coax/3 Tube
002-080VAKUUMDURCHFUERUNG DN 40 CF
750-683-G1CF40 Feedthrough, 1 Coax, 4 Tube
206-878-G2CF40 Feedthrough, 1 Coax, 2 Tube
750-685-G2CF40 Feedthrough, 1 Coax, 3 Tube
206-890-G2CF40 Feedthrough, 2 Coax, 3 Tube
KF40 Feedthroughs(Inklusive VITON®-O-Ring)
130246KF40 Feedthrough, 1 Coax, 2 Tube
130239KF40 Feedthrough, 1 Coax, 3 Tube

Zubehör

Zubehör
Ersatzteile
ArtikelnummerBeschreibung
002-064Quad Ring, Viton, CF40
012-328Dichtung Kupfer
070-0237O-Ring, 1-1/8 ID, 3/32 W, Viton
211-003Spannring DN 32-40 ISO-KF
211-070Zentrierring DN 40 ISO-KF, Inox / FPM
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