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SQM-160

Messung von Raten und Dicke bei Dünnschichtabscheidungsprozessen

SQM-160

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Das SQM-160 verwendet bewährte Quarzkristall-Sensortechnik von INFICON, um Raten und Dicke bei Dünnschichtabscheidungsprozessen zu messen. Zwei Sensoreingänge sind Standard, vier zusätzliche Sensoreingänge sind optional. Zwei Schreiberausgänge liefern Analogsignale für Rate und Dicke.

Die Sensoreingänge können unterschiedlichen Materialien zugeordnet, für präzise Abscheidungskontrolle in großen Systemen gemittelt oder für einen Dualsensor konfiguriert werden. Durch den Ratenprobenahmemodus ist es möglich, die Lebensdauer von Verschlusssensoren in Prozessen mit hohen Raten zu verlängern. Der Benutzer kann zwischen Ratenanzeigen von 0,1Å/s oder 0,01Å/s wählen. Zusätzlich können Frequenz oder Masse angezeigt werden. 

Durch vier Relaisausgänge kann der SQM-160 Quell- oder Sensorverschlüsse steuern und Sollwerte für Zeit und Dicke sowie Kristallfehler signalisieren. Mithilfe der digitalen Eingänge können externe Signale Messungen starten, anhalten oder auf Null setzen.

Merkmale

  • Zwei Messkanäle sind Standard, vier weitere sind optional.
  • Analoge Ausgänge zur Raten-/Dickenaufzeichnung
  • Variante mit hoher Auflösung: 0,03 Hz bei 10 Messungen/s
  • RS-232 standardmäßig, USB oder Ethernet optional

Spezifikationen

SQM-160 Standard Resolution
SQM-160 High Resolution
QCM-SensoreingängeStandard: 2; optional: 4
MessfrequenzbereichAdjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Auflösung/Messung von Dicke und Abscheidungsrate (1)± 0.37 Å
Gespeicherte Schichten99
Digitaleingänge/-ausgängeFour inputs, four relay outputs
  
(1)Tooling-Faktor/Dichte = 100/1, Grundfrequenz = 6 MHz, 0,10 s Messintervall
QCM-SensoreingängeStandard: 2; optional: 4
MessfrequenzbereichAdjustable:
1.0 MHz minimum
6.5 MHz maximum
Auflösung/Messung von Dicke und Abscheidungsrate (1)± 0.037 Å
Gespeicherte Schichten99
Digitaleingänge/-ausgängeFour inputs, four relay outputs
  
(1)Tooling-Faktor/Dichte = 100/1, Grundfrequenz = 6 MHz, 0,10 s Messintervall

Artikelnummer

Zubehör

Zubehör
Ersatzteile
Verbrauchsmaterialien
ArtikelnummerBeschreibung
782-900-0142 Unit Rack Adapter, 2U (3.5 in.)
782-502-096-G1USB SQM-160 Option Spare Bd
782-502-097-G1Ethernet Option Card, SQC-310/SQM-160
Oscillator kits(Oszillator und Kabel im Lieferumfang eingeschlossen)
783-500-109-10Oscillator Package, 10 ft BNC Cable
783-500-109-25Oscillator Package, 25 ft BNC Cable
783-500-109-50Oscillator Package, 50 ft BNC Cable
783-500-109-7522,8-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 22,8-m-BNC-Kabel
Oscillator Only(Kabel nicht eingeschlossen)
783-500-013-G1Oscillator, Remote Sensor, OSC-100
Cables 
782-902-011BNC Cable, 15.2 cm (6 in.)
782-902-012-10BNC Cable, 3 m (10 ft.)
782-902-012-25BNC Cable, 7.6 m (25 ft.)
782-902-012-50BNC Cable, 15.2 m (50 ft.)
782-902-012-7522,8-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker
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