Monitore

IMM-200

Wiederholbar exzellente Leistungen

IMM-200

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
Your configuration has been successfully sent!

Schützen und steigern Sie Ihren Gewinn mit präziser Raten- und Dickenüberwachung

IMM-200 ist ein Ablagerungsmonitor, der mit der ModeLock-Technologie gebaut wurde, um die Reproduzierbarkeit und Einheitlichkeit mit der höchsten Dickengenauigkeit, der besten Messauflösung und dem geringsten Rauschen zu maximieren.

Mit dem eingebauten Oszillator lässt sich IMM-200 leicht in ein Ethernet-System mit minimaler Hardware und Stellfläche integrieren. Dieser leistungsstarke und präzise Messmonitor wird mit Sicherheit eine neue Leistungsstufe in Ihren Prozess bringen.

Merkmale

  • Die INFICON ModeLock-Technologie sorgt für die längste Lebensdauer der Kristalle und gewährleistet die stabilste, höchstauflösende Rate und Dickenmessung, die es gibt, selbst bei sehr niedrigen Raten.
  • Maximieren Sie Ihren Ertrag mit der bestmöglichen QCM-Dickenmessung
  • Einkanaliger Raten- und Dickenmonitor ohne unnötige Zusatzfunktionen zur Minimierung der Kosten
  • ±0,0035 Hz über 100 ms Probe
  • Ethernet-Kommunikation für nahtlose Integration
  • Kompakte Größe zur Minimierung der Integrationskosten durch Einsparung von Platz im Gerät
  • Kompetente Anwendungsunterstützung, die in der Lage ist, einzigartige Anwendungsanforderungen zu erörtern und mehr Unterstützung als die Konkurrenz zu bieten
  • RoHS-konform

Typische Anwendungen

  • Halbleiterherstellung
  • OLED-Anwendungen

Spezifikationen

Sensor inputs1
Messfrequenzbereich6.0 to 4.5 MHz (fixed)
Auflösung von Rate und Dicke0.0042 Å (new crystal); 0.0076 Å (crystal @ 4.5 MHz) over 100 ms sample for material density = 1.0, Z-Ratio = 1.0
KommunikationstypEthernet, 1 RJ45 jack
Spezifikationen herunterladen
Artikelnummern
Zubehör
Verbrauchsmaterial
ArtikelnummernBeschreibung
785-602-G1IMM-200 Thin Film Deposition Monitor
ArtikelnummernBeschreibung
Optional Power SuppliesThe power supplies listed below are rated for an input of 100 to 249 V (ac), 2 A, 50 to 60 Hz with an output of 24V (dc), 3.34 A, 80 W maximum.
961-021-G1Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug
961-021-G2Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G3Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G4Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug
961-021-G5Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G6Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G7Power Supply Kit IL 240V
961-021-G8Power Supply Kit IL 4.5 M Extension
961-021-G9Power Supply Kit IL 9.0 M Extension
961-021-G10Power Supply Kit UK 240V
961-021-G11Power Supply Kit UK 4.5 M Extension
961-021-G12Power Supply Kit UK 9.0 M Extension
Optional Mounting Bracket 
785-202-G1Mounting bracket with four clean room compatible shock absorbing, female-to-female, stainless steel mounting feet
785-201-G1Mounting bracket with four shock absorbing, male-to-female, black Neoprene rubber mounting feet
Optional Communications Cable 
600-1190-P1ETHERNET COMUNICATION CABLE 1 METER
600-1190-P2SPEC- ETHERNET COMMUNICATION CABLE .3M
600-1190-P4ETHERNET COMUNICATION CABLES 4.3 METER
600-1190-P8Ethernet 7m cable
600-1190-P15Ethernet 15m cable
NameBeschreibung
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals
Wir benötigen für Videoinhalte Ihre Zustimmung
Mehr Informationen