薄膜蒸着
高精度の製造プロセスに不可欠な極薄の材料層の作成において、INFICONの薄膜蒸着ソリューションは、正確なコントロールを実現します。私たちのツールはリアルタイムでフィードバックを提供し、効率と製品品質の両方を業界全体で向上させます。
結果を得るには、フィルタをリセットしてください。
需要の高い最大の安定性
- 正確性
- 信頼性
- 安定性
- 利用できるさまざまな電極材料
ALDアプリケーションにおいて精度とアップタイムを最適化し、メンテナンスは最小限
- 大半のALD処理温度との互換性あり
- メンテナンスを大幅に削減
- システムのアップタイムを最大化
- 計測精度を最大化
Cool Drawerデュアルセンサは、真空チャンバ内に2つ目の振動子を置くことが望ましい、非常に重要なプロセスのためにデザインされています。
- デュアル振動子
- Cool Drawer振動子ホルダー
- 内部ケーブルなし
- 振動子シャッター
Cool Drawerシングルセンサーは振動子が横からセンサー内に取り付けられており、前面搭載の振動子を取り付けるにはスペースが足りない場合に便利です。
- 内部ケーブルなし
- Cool Drawer振動子ホルダー
- 取り付けが容易
- 溶接済みCF40フランジと一緒に注文すればベーク可能
振動子を自動的に切り替えて生産時間を最大効率化
- 12基の振動子を保持し、安定した自動切り替え方式によりプロセスのアップタイムを最大化
- 取り外しが簡単なカローセルで、12基の振動子を迅速に交換できる
- 振動子の切り替えは圧空で操作されるため、振動子の温度が安定 (競合品は発熱するモーターを使用)
INFICONのCrystalSixセンサは、連続定格コントロールを要する長いプロセスに不可欠です。
- 6基の振動子を装着し、安定した自動切り替えによりプロセスアップタイムを最大化
- 振動子の切り替えは空気で操作されるため、振動子の温度が安定(他社製品は発熱するモーターを使用)
- 1/8インチチューブが熱安定性を維持し、柔軟なセンサー交換を可能にする
- オプションで振動シャッターもあり
Cygnus 2薄膜蒸着コントローラーは、実証済みのINFICONの薄膜コントローラーの性能と、OLEDプロセスを最大限に活用できるように設計された、ユニークな機能を組み合わせることにより、ひときわ優れた価値を提供します。
- INFICONのModeLock技術は最も安定であり、非常に低い蒸着速度であっても最高の分解能と膜厚計測を可能にします。
- Auto Z は、材料の蒸着が進むとともにZ比率を自動的に決定し、膜厚の精度を向上させる
- 6つのソースまで同時にコントロールできるので、単独で、または1台のCygnus 2と組み合わせることにより、2台または3台のコントローラーが必要とされる箇所に対応
- カラーTFT LCDディスプレイがプロセスで何が起きているかを見やすく表示
Easy Rateデュアルセンサにより、1つの振動子だけでは不十分なQCM用途に、シンプルで安価なソリューションを提供します。
- デュアル振動子
- 廉価
- 前面搭載の振動子ホルダー
- 振動子シャッター付属
INFICONは、多様な水晶振動子モニタ（QCM）センサフィードスルーを提供しており、Easy Rate Sensorに対応します。
- 2.54 cm (1 in.) bolt or CF40 (2.75 in. ConFlat®) styles available
- Available with bored-through tube fittings
Easy Rateシングルセンサは、コストを最小限に抑えながら、生産性を最大化できます。これらのセンサは、センサ寿命を長く、メンテナンスを少なくすることにより可用性を最大化します。
- Minimum investment with lowest upfront cost
- Lowest total cost of ownership from extended sensor life
- Maximum throughput with less maintenance
- Easy installation
INFICONの前面搭載型デュアル振動子センサは、実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。
- デュアル振動子
- 振動子シャッター
- 前面搭載振動子ホルダー
- 取り付けが容易
INFICONの前面搭載型シングル振動子センサーは実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサーヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。
- 前面搭載振動子ホルダー
- 取り付けが容易
- 2.54 cm (1インチ)ボルトフィードスルー/CF40フィードスルーおよびとともに利用可能
- 圧力継手と一緒に注文すれば長さの調整が可能
8種類までの材料を同時に蒸着
- 8種類までの材料の蒸着を監視およびコントロール
- 蒸着速度0.1～10,000Å/秒
- EIESとQCM薄膜プロセスコントロールを統合
- リレー出力12とデジタル入力12
機能豊富なIC6は可能な限り最高の計測精度を提供します
- NFICONのModeLock技術は、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと厚みの計測を可能にします
- 自動Zは、材料が蒸着されるときに自動的にZ比率を決定することによって、厚みの正確さを向上させる
- 最大6つのソースを同時にコード化することが可能
高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる
- NFICONのModeLock技術は最長の振動子寿命を提供し、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと膜厚計測が可能なようにします
- 可能な限り最高のQCM膜厚計測で歩留まりを最大化
- コストを最小限に抑えるため、不必要な機能を追加しないシングルチャンネルレートと膜厚モニター
高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる
- INFICONのModeLock技術は最長の振動子寿命を提供し、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと膜厚計測が可能であることを保証します。
- 可能な限り最高のQCM膜厚計測で歩留まりを最大化
PCI EXPRESSカードによる低コストの蒸着コントロール
- PCI Express
- 3センサー入力、3コントロール出力
- 複数のカードをPCに取り付け
- 複数ソースの共蒸着
NFICONは、多様な水晶振動子モニタ（QCM）センサフィードスルーを提供しており、多くのQCMセンサとチャンバ構成に対応します。
- 2.54 cm (1 in.) ボルトまたはCF40 (2.75 in. ConFlat®) スタイル入手可能
- Ultra-Torr Oリングコンプレッションフィッティング入手可能
- カスタムフィードスルー構成利用可能
- 要求に応じて他のフィードスルースタイルも利用可能
INFICON の振動子は正確さと信頼度を100%テストされています
- 5および6 MHz
- 金、銀（高温ロードでのプロセス用）、そしてストレス減のアルミ合金（誘電材料と半導体プロセスでのオプティカルコーティング用）
- 3つの便利なパッケージオプション: クリーンルーム適応ディスペンサー、フラットパックディスペンサーとコンパクトボックス
- あなた仕様のサイズと周波数に製造されるカスタマイズ振動子
要求の厳しい用途で水晶振動子の優れた性能を発揮
- 6つの振動子
- ポジションフィードバック(コントローラーに依存)
- 長さ調節可能（オプションのフランジによる）
- 堅牢な設計
高精度の連続蒸着または同時蒸着コントロール
- 明るいカラーLCDディスプレイ - 英語または中国語対応
- 標準RS-232およびUSB（RS-232およびイーサネットはオプション）
- クイックセットアップ "メニュー、6つの状況依存プッシュボタン、便利なパラメータ設定ノブによる簡単なセットアップと操作
- Windows®プログラムにより、プロセスの開発、テスト、ダウンロードが可能。
SQM-160は、実績あるINFICONの水晶振動子センサ技術を使って、薄膜蒸着プロセスにおける蒸着速度と膜厚を計測します。
- 標準構成で2つの計測チャンネル、オプションで4つ追加可能
- 蒸着速度/膜厚のアナログ信号出力
- 高分解能オプション：毎秒10回読み取りで0.03Hz
- RS-232 標準、USB またはイーサーネットオプション
STM-2は、USB接続の簡単さと、高精度測定エンジンの正確性を、小型で低価格のパーケージに組み合わせています。
- 低価格の装置
- USB接続
- 内部発振器
- 1秒あたり10回測定する高精度
高精度な速度・厚みモニターで利益を守り成長させる
- リアルタイム、in situプロセスモニタリング
- オーバーエッチングの防止、チャンバークリーニングエンドポイントの特定
- 装置またはプロセス状態の不具合の特定
高精度なレートと膜厚のモニタリングで利益を保護し成長させる
SemiQCM™ SRセンサはプリカーサモニタリングシステムの1つで、他のコンポーネントはIMM-200とFabGuard（バージョン19.12.00-aまたはそれ以上）です。
- リアルタイム、in situプロセスモニタリング
- オーバーエッチングの防止、チャンバークリーニングエンドポイントの特定
- 装置またはプロセス状態の不具合の特定
INFICONのスパッタリングセンサはあらゆるスパッタリングプロセスで使用できるように特別に設計されています。
- 金メッキされたベリリウム銅センサー本体と冷却チューブが冷却効果を最大化
- 磁石により自由電子をモニター振動子からそらす
- 水チューブは曲げられて取り付けが簡単、センサー交換も柔軟に行える
- 振動子挿入は背面から行うので、取り替えが簡単
INFICONのUHVベーク可能振動子センサーは実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサーヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。
- 高温ろう付けおよび溶接構造
- ベークアウト温度は450° Cまで
- 振動子シャッター (オプション)
- 前面搭載振動子ホルダー
シングルまたはマルチレイヤー用の高度で低価格のコントロール
- シングルレイヤー対応モデルとマルチレイヤー対応モデルが利用可能
- 特許取得のModeLock技術が、モードホッッピングに由来する膜厚誤差を防止
- INFICONのCrystal 12®、Crystal Six®、およびデュアルセンサー自動振動子スイッチをサポートし生産力を最大化
正確な薄膜蒸着とモニタリングのための精密ツール
薄膜技術は精密な製造工程において重要な役割を果たし、さまざまな表面に極薄の材料層を蒸着することを可能にします。 薄膜蒸着におけるINFICONの専門知識は、先進的なコーティングに頼る産業に一貫した信頼できる結果を確実にするための高精度なソリューションを提供します。 これらの工程における私たちの主要ツールのひとつは、蒸着率をモニターし、正確な材料層を確保する水晶振動子マイクロバランス（QCM）です。
INFICONの薄膜計測機器を使用することで、製造業者は薄膜蒸着プロセスを完全にコントロールすることができます。これらの精密計測機器は、半導体、光学、先進材料などの分野で重要となる正確さと一貫性を維持するように設計されています。QCM技術の統合により、最も繊細な薄膜でも厳格な基準に適合させることができます。
INFICONのツールは、薄膜蒸着を改善するだけでなく、リアルタイムフィードバックを提供し、パラメータをその場で調整しやすくします。これにより、効率が上がり、無駄が減り、製品品質が向上し、薄膜技術ソリューションの進歩に対する私たちの取り組みはより強固なものとなります。