Controller

XTC/3

Fortschrittliche, erschwingliche Ratensteuerung für Einfach- oder Mehrfachschichten

XTC3M

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Sie erhalten jetzt sämtliche Funktionen, die Sie benötigen in einem einzigen Dünnschichtabscheidungs-Controller für Prozesse mit Einfach- oder Mehrfachschichten. Der XTC/3 mit patentiertem ModeLock bietet bewährte, modensprungfreie und gleichbleibende Qualität. Mit dem XTC/3-Dünnschichtabscheidungs-Controller erhalten Sie präzise Kontrolle über Abscheidungsraten und -dicke, die Kapazität für eine beliebige Anzahl von Schichten, eine einfache Installation sowie eine extrem hohe Zuverlässigkeit, die Ihre Produktivität garantiert.

INFICON, der globale Marktführer im Bereich der Dünnschichtabscheidungs-Steuerung, bietet nun ein Instrument mit erstaunlich niedrigen Betriebskosten und außergewöhnlichem Wert an.

Egal, ob Sie eine Steuerung für die Produktion oder Forschung und Entwicklung benötigen – der INFICON XTC/3 erfüllt Ihre Anforderungen.

Weltweiter INFICON-Support

Wir garantieren schnelle Antwortzeiten, aufmerksamen Service und maximale Betriebszeiten, unabhängig von Ihrem Standort. INFICON verfügt über internationale Geschäftsstellen und ist der einzige Hersteller von Dünnschichtabscheidungs-Controllern, der weltweit lokalen Service und technischen Support bietet.

Merkmale

  • Erhältlich in Modellen für Einfach- oder Mehrfachschichten
  • Patentierte ModeLock-Technologie verhindert Schichtdickenfehler aufgrund von Modensprüngen
  • Unterstützt INFICON Crystal 12®, Crystal Six® und automatische Dualsensor-Kristallumschaltung für maximale Produktivität
  • Das XTC/3M-Modell für Mehrfachschichten unterstützt bis zu 99 Prozesse, 999 Ebenen, 32 Schichten, 2 Sensoren und 2 Quellen
  • Das XTC/3S-Modell für eine Ebene unterstützt bist zu 9 Schichten, 2 Sensoren und 2 Quellen
  • Übersichtliche TFT-LCD-Grafikanzeigen
  • Schichten und Prozessen können eindeutige, aussagekräftige Namen zugewiesen werden, um das Abrufen der Daten zu erleichtern
  • Ethernetverbindung erhältlich
  • Freistehend (kein Computer erforderlich) oder optionale Windows®-Software für PC-Betrieb
  • Plug-and-Play-Austausch für INFICON XTC/2-Controller (beschränkt auf XTC/2-Funktionen und Befehlssatz)

Typische Anwendungen

  • Hochwertige optische Beschichtungen

Spezifikationen

XTC3/S
XTC3/M
Messfrequenzbereich6.0 to 5.0 MHz (fixed)
Auflösung/Messung von Dicke und Abscheidungsrate (1)±0.034 Å
Anzahl der Sensoreingänge2
Anzahl der Quellenausgänge2
  
(1) Tooling-Faktor/Dichte = 100/1, Grundfrequenz = 6 MHz
Messfrequenzbereich6.0 to 5.0 MHz (fixed)
Auflösung/Messung von Dicke und Abscheidungsrate (1)±0.034 Å
Anzahl der Sensoreingänge2
Anzahl der Quellenausgänge2
  
(1) Tooling-Faktor/Dichte = 100/1, Grundfrequenz = 6 MHz

Artikelnummern

Zubehör
Ersatzteile
Verbrauchsmaterialien
ArtikelnummerBeschreibung
755-262-G1Fernbedienung
780-702-G11 Unit Rack Mount Kit, XTC/3
780-702-G22 Unit Rack Mount Kit, XTC/3
780-032-G1XTC/3 Editor Software
779-220-G1CrystalTwo Switch, 6 in. BNC Cables
779-220-G2CrystalTwo Switch, 20 in. BNC Cables
  
Oscillator Kits(Oszillator und Kabel im Lieferumfang eingeschlossen)
780-611-G15Crystal Interface Unit Kit
780-611-G30Crystal Interface Unit Kit
780-611-G50XIU Standard, 50 ft. kit, XTC3
780-611-G100XIU Standard, 100 ft. Kit, XTC3
780-612-G15XIU, 4 Meter, 6 in. 15 ft. Kit, XTC3
780-612-G30XIU, 4 Meter, 6 in. 30 ft. Kit, XTC3
780-612-G50XIU, 4 Meter, 6 in. 50 ft. Kit, XTC3
780-612-G100XIU, 4 Meter, 6 in. 100 ft. Kit, XTC3
780-613-G15XIU, 4 Meter, 20 in. 15 ft. Kit, XTC3
780-613-G30XIU, 4 Meter, 20 in. 30 ft. Kit, XTC3
780-613-G50XIU, 4 Meter, 20 in. 50 ft. Kit, XTC3
780-613-G100XIU, 4 Meter, 20 in. 100 ft. Kit, XTC3
  
Nur Oszillator(Kabel nicht eingeschlossen)
780-600-G1XIU, XTC/3
780-600-G2XIU 4 Meter, XTC3
  
Kabel 
755-257-G6Kabel XIU-Durchführung
600-1261-P15Interconnect Cable, 4.6m (15 ft.)
600-1261-P30Interconnect Cable, 9.1m (30 ft.)
600-1261-P50Interconnect Cable, 15.2m (50 ft.)
600-1261-P100Interconnect Cable, 30.5m (100 ft.)
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