真空计和控制器

产品类型
总压力计 真空开关 真空计控制器
测量范围(mbar
1 E-5 … atm 1 E-9 … 1 E-3 1 E-9 … atm
准确率(%)
< 0.05 0.05 - 0.2 > 0.2 - 1 > 1 - 5 > 5 - 15 > 15
数字接口
EtherCAT Profinet DeviceNet Profibus DP Ethernet
市场
暖通空调/制冷 工业制造 真空镀膜 安全 能源 半导体IDM和晶圆代工厂 半导体设备制造商 显示 医药和医疗 移动和汽车 研究与学术界 分析仪器 电池
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