真空计和控制器
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大气压至中真空真空计
- 轻松一键调节 ATM 和 HV
- 节省空间的坚固设计
- 铝质壳体
- 可安装在任何方向

Most advanced digital Pirani technology, compact size and the variety of features.
- 可提供钨(PSG550)或镍(PSG552)灯丝,或为高腐蚀性应用提供全陶瓷涂层(PSG554)传感器单元
- 可选择显示、设定值和数字接口
- 最新的EtherCAT协议标准ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
- 易于更换的插拔式传感器元件,具有板载校准数据--保证高重复性和低拥有成本

INFICON 皮拉尼电容膜片式测量仪 (PCG55x) 将 INFICON 皮拉尼技术与陶瓷电容膜片传感器的优点结合在单一产品中。
- 在 10 mbar 以上压力下不受气体类型限制 – 能够安全排放任何气体混合物
- 在大气压力下具有高度的准确性和再现性,能够进行可靠、快速的大气压力检测
- 灵活的安装方向提供自由的加工设计
- 可配备钨丝 (PCG550)、镍丝 (PCG552) 或全陶瓷涂层 (PCG554) 传感器装置用于高腐蚀性应用

INFICON Gemini™ 倒置磁控管真空计是所有真空测量应用(专利申请中)的动力源泉。
- 在恶劣环境下,使用寿命长
- 低杂散磁场
- 零维护 - 可换插头

INFICON 倒泵控管 Pirani 真空计 MPG400 和 MPG401 测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力(3.8 x 10-9 Torr 至大气压力)
- 复合真空计 – 倒磁控管和皮拉尼
- 从 5 X 10-9 mbar 至大气气压的宽广测量范围
- 不会出现丝极烧毁的现象
- 卓越的点火属性

倒置磁控真空计适用于所有超高真空应用,测量范围为5x10-11 mbar
- 测量范围低至 5x10-11 mbar
- 扩展性版本, 传感器烘烤至 250°C
- 良好的点火属性
- 容易清洗

INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)的广泛测量范围
- 测量范围从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
- 超压检测保护丝极,防止过早烧毁
- 双长使用寿命氧化钇铱丝

ATM到超高真空热阴极仪
与其他制造商的PBR 260 Pirani/Bayard-Alpert热阴极测量仪兼容。
- 产品编号IGG27000与PT R27 000匹配
- 编号IGG27001与PT R27 001匹配
- 编号IGG27002与PT R27 002匹配

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG400 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中,测量范围为 5×10-10 mbar至大气压(3.8×10-10 Torr 至大气压)。
- 从 5 x 10-10 mbar 至大气气压(3.8 x 10-10 Torr 至大气气压)的极其宽泛的测量范围
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
- 皮拉尼联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染
- 长使用寿命氧化钇铱丝

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中,测量范围为 5×10-10 mbar至大气压(3.8×10-10 Torr 至大气压)。
- 从 5 x 10-10 mbar 至大气气压(3.8 x 10-10 Torr 至大气气压)的极其宽泛的测量范围
- 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
- 皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁
- 双长使用寿命氧化钇铱丝

INFICON Bayard-Alpert Pirani 电容式隔膜真空计 (Triple-Gauge™) BCG450 将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中,可以测量从 5×10-10 至 1500 mbar(3.75×10-10 至 1125 Torr)的过程压力和基本压。
- BCG450 可节省成本和工具空间,降低真空测量仪器的安装与设置的复杂性
- 压力超过 10 Torr 时压力测量不受气体类型限制,可以为任何气体混合物提供更为可靠的预抽真空室控制
- 皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁
- 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员的干预

INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中,可测量 2×10-6 mbar 至大气气压(1.5×10-6 Torr 至大气气压)范围内的压力。
- HPG400 可节省成本和工具空间,降低真空系统的安装与设置的复杂性
- 高压热电离可以准确可靠地测量 1 X 10-5 至 1 mbar 范围内的压力,进而改善过程控制
- 用户可选的热电离发射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之间启动
- 皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁

INFICON 皮拉尼测量仪加强型 300 (PGE300) 像比它更大的 brotherP GE500 一样配备了市场上最新的数字对流增强型皮拉尼技术。
- 对流增强的皮拉尼技术可在大气压下实现宽测量范围和更高的精度
- 内置显示器的一体式主动式测量仪,1 个设定点和 3 个可选模拟输出信号
- 明亮的数字 LED 显示屏提供用户友好的校准和操作
- 3 个可选的模拟输出信号(用户可选)

INFICON 皮拉尼真强型(PGE) DeviceNet 版本配备了市场上最新的数字对流增强型 Pirani 技术。
- 对流增强型皮拉尼技术,测量范围广,接近大气层时精度更高
- 一体化有源表,内置显示屏,2个设定点,数字DeviceNet接口
- 明亮的数字OLED显示屏,带键盘,设置简单。

INFICON 皮拉尼仪表增强型 500 (PGE500) 采用了市场上最新的数字对流增强型皮拉尼技术。
- 对流增强的皮拉尼技术可在大气压下实现宽测量范围和更高的精度
- 内置显示器的一体式主动式测量仪,2 个设定点,4 个模拟输出信号和 2 个数字接口
- 带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏,简化设置校准和操作
- 4 个可选的模拟输出信号(3 个用户可选,1 个默认)

新型 INFICON Pirani Piezo 组合仪表 (PPG550) 基于目前最先进的 MEMS(微机电系统)传感器技术。
- 2mbar以上的气体类型独立
- 大气环境下的高精确度和可重复性
- 安装方向灵活多样
- 可选择模拟输出信号

新型 INFICON Pirani 压电组合真空计 (PPG570) 基于现有最先进的 MEMS(微机电系统)传感器技术,该技术也用于我们的 PPG550 "ATM 至中真空 "真空计。
- 2mbar以上的气体类型独立--允许任何气体混合物的安全排放
- 大气层的高精度和重现性--用于可靠、快速的大气层压力检测
- 大气层环境压力测量 多
- 达3个固态继电器

INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG302 涵盖从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)的广泛测量范围。
- 测量范围从 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)
- 双标准长使用寿命氧化钇铱丝
- 一体式主动测量仪,内置显示器、设定点、模拟输出和标准集成式 RS485 数字接口
- 带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏,简化设置、操作和编程

大性能,小尺寸
- 卓越的跨度稳定性 - 独立于气体类型
- 防腐蚀氧化铝传感器
- 紧凑型,同级中的最小尺寸
- 易于集成,任何安装方向

工业应用,有温度补偿
- 从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程
- 电源接通后快速稳定
- 暴露于大气压后快速恢复
- 防腐蚀陶瓷传感器

苛刻的工艺应用,温度补偿
- 从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程
- 电源接通后快速稳定
- 暴露于大气压后快速恢复
- 防腐蚀陶瓷传感器

电流回路,温度补偿
- 全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托
- 电源接通后快速稳定
- 暴露于大气压后快速恢复
- 防腐陶瓷传感器

卓越的信号稳定性,温度可控
- 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
- 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护

卓越的信号稳定性,温度可控
- 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
- 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护

高温应用,温度控制
- 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
- 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护

高温应用,温度控制
- 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
- 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护

EtherCAT,有温度补偿
- 易于集成,EtherCAT,各种满刻度和法兰,标配两个设定点
- 轻松一键调零或远程信号调零指令,可调零点偏移
- 诊断端口用于快速维修和维护
- 防腐陶瓷传感器

占地面积小,温度可控
- 紧凑型,节省宝贵的工具空间
- 易于集成,各种满刻度、法兰,标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护

占地面积小,温度可控
- 紧凑型,节省宝贵的工具空间
- 易于集成,各种满刻度、法兰,标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护

高速,温度控制
- 高生产力 - 响应时间快于 2 ms (FS > 50 mTorr)
- 灵活集成 - EtherCAT 现场总线
- 使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器
- 忘记重新校准 - 90ppm/年全方位稳定性

高速,温度控制
- 高生产力 - 响应时间快于 2 ms
- 灵活集成 - EtherCAT 现场总线
- 使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器
- 忘记重新校准 - 90ppm/年全方位稳定性

参考,真正的高精度
- 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
- 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护

用于OEM的微型传感器
- 微型氧化铝(Al2O3)陶瓷涂层电容膜片传感器具有很高的抗腐蚀性
- 出色的重复性和长期稳定性
- 用于自定义集成和校准的可焊接馈入装置,或 用于集成工厂校准传感器的已焊接自定义法兰
- 传感器电子设备配备 SPI 接口,可轻松集成和安全通讯

用于OEM的微型传感器,双传感器
- 微型氧化铝(Al2O3)陶瓷涂层电容膜片传感器具有高度的耐腐蚀性,湿润表面符合UHP标准
- 范围广,精度高
- 优异的重复性和长期稳定性

与环境的差值 - 真空系统的安全开关
- 性能可靠且价格适中的真空开关
- 高使用寿命
- 坚固耐用的设计
- 易于集成

带有可调节电气开关触点的绝对压力开关
- 高开关精度 (± 0.1 mbar)
- 长期稳定的操作特性
- 坚固耐用、防腐蚀的结构设计

绝对开关 - 准确可靠的压力检测
- 耐腐蚀全不锈钢设计
- 设计稳健,符合洁净室标准
- 出厂预设或现场可调设定点,易于安装

差动开关 - 准确可靠的压力检测
- 耐腐蚀全不锈钢设计
- 设计稳健,符合洁净室标准
- 出厂预设或现场可调设定点,易于安装r

过程测量、控制和记录数据的可持续解决方案
- 采用点矩阵菜单引导方式显示参数、传感器或一般设置,操作简便
- 显示屏明亮清晰,用于远距离仪表读数
- 设定点或压力相对于时间的条形图显示

INFICON 皮拉尼仪表增强型 050 (PGE050) 是主动对流增强型皮拉尼仪表 PGE300 和 PGE500 的被动版本。
- 对流增强的皮拉尼技术可在大气压下实现宽测量范围和更高的精度
- 镀金钨丝
- 机械强度高、坚固耐用、不易受机械冲击和振动影响
- 各种法兰的选择

INFICON 被动冷阴极测量仪头 MAG050 和 MAG060 设计为搭配 INFICON 真空计控制器 VGC083C 使用。它们采用紧凑型金属设计,造就了适用于众多工业应用的简单而坚固的仪表。
- 可靠且经过验证的测量仪头设计
- 可烘烤至 150℃ (MAG050) 或 250℃ (MAG060)
- 良好的点火属性
- 耐腐蚀,带有陶瓷穿通件

INFICON Bayard-Alpert 被动真空计头 BAG050、BAG051、BAG052 和 BAG053 设计用于 INFICON 真空计控制器 VGC083A 和 VGC083B
- 可靠且经过验证的测量仪头设计
- 可代替大多数裸热电离真空计头
- 宽范围的发射电流(100μA 至 10 mA)
- 可提供单/双氧化钇涂层铱和双钨丝阴极组件

设计与 PGE050一起使用.
- 显示和控制从 1.3 x 10-4 mbar 至大气气压(1 x 10-4 Torr 至大气气压)的极其宽泛的测量范围
- 高亮度数字 OLED 显示屏,带软键,简化设置和操作
- 4 个用户可选的模拟输出信号
- 2 个设定点

Designed for use with passive gauge heads BAG05x and PGE050.
- 使用特殊 OLED 显示屏于参数、传感器或软键的常规设置,操作简单
- LED 显示屏亮度、清晰度高,用于真空压力读数
- 三个模拟输出,用户可分配给任何测量仪
- 根据表头类型,选择德加电子轰击或 I2R 电阻加热调解仪表

连接到INFICON CDG产品系列,提供一个4位数的显示器
- 4 位数字显示,便于读数
- 大型 10mm 主动式 LED 显示屏 - 可从远距离和广角范围内读取
- 内嵌式插头设计
- 15pin D-Sub,没有额外的电源连接