HEISS-IONISATIONSMESSGERÄTE

BCG450

Von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

BCG450
Drop-in-Optionen

Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Das INFICON BCG450 Kombinationsmessgerät (TripleGauge®) vereinigt die Vorteile dreier verschiedenen Technologien in einem einzigen, kompakten und wirtschaftlichen Gerät zur Messung von Prozess- und Basisdruck im Bereich von 5×10-10 bis 1500 mbar (3,75×10-10 bis 1125 Torr). 

Das BCG450 wurde entwickelt um drei Sensoren ersetzen zu können (Hot Ion, Pirani und Vakuumschalter). Dies reduziert die Kosten und verringert den Platzbedarf an der Anlage.

Auch mit digitaler ProfiNET-Schnittstelle erhältlich.

Vorteile

  • Das BCG450 spart Kosten und Stellfläche und vereinfacht die Installation und Einrichtung zur Vakuummessung
  • Gasart-unabhängige Druckmessung über 10 Torr bietet zuverlässigere Schleusensteuerung bei beliebigen Gasmischungen.
  • Pirani-Interlock schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
  • Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
  • Die Differenzdruckmessung bei Atmosphärendruck beseitigt Ungewissheit hinsichtlich der Änderung des atmosphärischen Drucks
  • Leicht auswechselbares Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten garantiert Reproduzierbarkeit
  • Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
  • RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

  • Druckmessung in Halbleiterprozessen, Transfer- und Schleusenkammern
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung von Systemen im Bereich Grob- bis Ultrahochvakuum

Spezifikationen

Measurement range (air, O2, CO, N2)mbar
Torr
5×10-10 … 1500
3.75×10-10 … 1125
   
Accuracy  
10-8 … 50 mbar% of reading±15
50 … 950 mbar% of reading±5
950 … 1050 mbar% of reading±2.5
   
Repeatability  
10-8 … 10-2 mbar% of reading5
   
Temperature  
Operation (ambient)°C0 … +50
Storage°C-20 … +70
Bakeout at flange°C80
Bakeout electronics removed°C150
   
Supply voltageV (dc)
A (dc)
20 … 28
0.8
   
Materials exposed to vacuum Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass
Spezifikationen herunterladen
Artikelnummern
Zubehör
Ersatzteile
ArtikelnummerBeschreibung
353-550BCG450 DN 25 ISO-KF
353-551BCG450 DN 40 CF-R
353-552BCG450 LCD, DN 25 ISO-KF
353-553BCG450 LCD, DN 40 CF-R
353-554BCG450-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-556BCG450-SP PBus, DN 40 CF-R
353-557BCG450-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-558BCG450-SD DNet, DN 40 CF-R
353-592BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-593BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-598BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-599BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-517BCG450-PN PROFINET, DN 25 ISO-KF
353-518BCG450-PN PROFINET, DN 40 CF-R
ArtikelnummerBeschreibung
353-511Netzteil BPG400 24VDC 2.1A
353-512Baffle zu BPG400
211-113Zentrierring mit Baffle DN 25 KF
ArtikelnummerBeschreibung
354-492BCG450 Ersatz-Messsystem DN25 KF
354-493BCG450 Ersatz-Messsystem DN40 CF-R

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