UL6000 Fab Serie
Setzt Maßstäbe für Geschwindigkeit und Präzision bei der Dichtheitsprüfung
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Der INFICON UL6000 Helium Leak Detector wurde für die wichtigsten und anspruchsvollsten Leckerkennungsanwendungen entworfen. Der UL6000 verwendet die von INFICON entwickelten Softwarealgorithmen I-CAL und Hydro-S in einem felderprobten Vakuumentwurf und bietet Testflexibilität, hohe Empfindlichkeit und schnelle, präzise Ergebnisse, um Leckerkennungsanwendungen zu beschleunigen und zu vereinfachen.
Der UL6000 liefert schnelle Reaktionszeiten in allen Messbereichen sowie extrem kurze Zykluszeiträume beim Erreichen der Testbedingungen und Endergebnisse. Die speziell entworfene Vakuumarchitektur sorgt für kontinuierlich hohe Heliumpumpgeschwindigkeiten und extrem kurze Reaktionszeiten.
Der neue UL6000 Fab PLUS mit I·RISE. Rate-of-rise in unter 10 Sekunden
Leckagen aufzuspüren ist sowohl zeitintensiv als auch komplex: Mittels eines Druckanstiegstests werden Halbleiter- und Vakuumanlagen im Betrieb kontinuierlich überprüft. Zeigt der Test nun ein Leck an, wird dieses per Helium-Sprühmethode identifiziert und beseitigt. Abschließend erfolgt eine erneute integrale Dichtheitsprüfung per Druckanstiegstest – so lange, bis das letzte Leck gefunden ist. Für die notwendige Genauigkeit kommt es vor allem bei großen Anlagenvolumina deshalb oft zu sehr langen Messzeiten. Mit dem Intelligent Rate-of-rise-Feature I·RISE übernimmt der neue UL6000 Fab PLUS die Druckanstiegsmessung jetzt selbst und kombiniert sie mit der Helium-Sprühmethode. Das patentierte System verkürzt die Messdauer erheblich und reduziert so den Zeitaufwand für Dichtheitsprüfung und Anlagenwartung um ein Vielfaches. Für noch genauere und schnellere Messergebnisse – in unter 10 Sekunden und unabhängig vom Volumen Ihrer Produktionsanlage.
Vorteile
- HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) zum schnelleren Erreichen der Testbedingungen
- I-CAL (Intelligent Calculation Algorithm for Leak Rates) für schnelle Reaktionszeiten bei Lecks in allen Messbereichen
- Eine spezielle Turbomolekularpumpe mit mehreren Einlässen ermöglicht optimierte hohe Heliumpumpgeschwindigkeiten mit hoher Heliumkompression bei allen Drücken, und bietet exzellente Empfindlichkeit, Ansprechzeit und schnelle Reinigung.
- Eine Booster-Turbomolekularpumpe für extrem kurze Ansprechzeiten bei beliebigen Testobjekten, selbst bei größten Volumen und Kammern.
- Das praxiserprobte Sektorfeld-Massenspektrometer von INFICON sorgt mit seinem störungs- und wartungsfreien Design über Jahre für präzise und wiederholbare Ergebnisse.
- Selbstschutzmerkmale zum Schutz des UL6000 vor Helium- und Partikelverunreinigung sowie ein automatischer Spülzyklus garantieren, dass der UL6000 bei Bedarf einsatzbereit ist.
- Eine drehbare Anzeige/Steuerschnittstelle und eine optionale Handfernsteuerung garantieren operative Flexibilität.
- Die Zugriffssteuerung auf die Einheit und die Systemsoftware kann über die Software aktiviert werden, um nicht autorisierte Verwendung oder unbeabsichtigte Änderungen an Testeinrichtungen zu verhindern.
- Softwareaktualisierungen über E-Mail halten den UL6000 auf optimaler Leistung.
- Neues Workstation-Design mit einer Arbeitsfläche optimaler Höhe, einschließlich ESD-Matte und Werkzeugkiste zur Testvereinfachung.
Typische Anwendungen
- Leckprüfung von Komponenten, Baugruppen und großen Kammern, die für Halbleiter- und Flachbildschirmwerkzeuge verwendet werden.
- Leckprüfungen an Halbleiter- und Flachbildschirmwerkzeugen
- Leckprüfungen von Komponenten, Baugruppen und Anlagen in der Luft- und Raumfahrt
- Leckprüfungen an Vorratsbehältern und Vorratstanks
Spezifikationen
| Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuumbetrieb) | mbar∙L/s | <5∙10-12 |
| Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Schnüffelbetrieb) | mbar∙L/s | <5∙10-8 |
| Max. Einlassdruck (MASSIVE Modus) | atm (~1013 mbar) | |
| Vorpumpentyp | roots | |
| Max. Luftsaugvermögen Vorpumpe (Abpumpen) | m³/h | >36 |
| Luftsaugvermögen am Einlassflansch (100-1000 mbar) | m³/h | 23 |
| Luftsaugvermögen am Einlassflansch (10-100 mbar and 1-10 mbar) | m³/h | 26 |
| Größtest Heliumsaugvermögen (ULTRA Modus) | L/s | >36 |
| Heliumsaugvermögen bei Reduzierung DN63 auf DN40 | L/s | ~ 30 |
| Ansprechzeit für 50 L | s | 1.4 |
| Abpumpzeit 100 L auf 1 mbar | s | 52 |
| Abpumpzeit 50 L auf 1 mbar | s | 104 |
| Abpumpzeit 500 L auf 1 mbar | s | 527 |
| Abpumpzeit 1000 L auf 1 mbar | s | 1054 |
| Belüftungszeit bis atm für 50 L | s | 16 |
| Zeit bis zur Betriebsbereitschaft | min | <2 |
| Zeit für die Kalibrierung | s | <30 s |
| Einlassflansch | DN63 ISO-K | |
| Nachweisbare Massen (ULTRATEST Sensor Technology) | 2,3,4 (H2, 3He, He) | |
| Versorgungsspannung | V | 100 to 230, 50/60 Hz |
| Maximaler Leistungsbedarf | VA | 1500 |
| Typischer Leistungsbedarf | VA | 700 |
| Gewicht | kg | 143 |
| Abmessungen (L x B x H) | mm in. | 1050x427x1040 42x21x41 |
| *extrapolated |
| Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuumbetrieb) | mbar∙L/s | <5∙10-12 |
| Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Schnüffelbetrieb) | mbar∙L/s | <5∙10-8 |
| Max. Einlassdruck (MASSIVE Modus) | atm (~1013 mbar) | |
| Vorpumpentyp | roots | |
| Max. Luftsaugvermögen Vorpumpe (Abpumpen) | m³/h | >36 |
| Luftsaugvermögen am Einlassflansch (100-1000 mbar) | m³/h | 23 |
| Luftsaugvermögen am Einlassflansch (10-100 mbar and 1-10 mbar) | m³/h | 26 |
| Größtest Heliumsaugvermögen (ULTRA Modus) | L/s | >36 |
| Heliumsaugvermögen bei Reduzierung DN63 auf DN40 | L/s | ~ 30 |
| Ansprechzeit für 50 L | s | 1.4 |
| Abpumpzeit 100 L auf 1 mbar | s | 52 |
| Abpumpzeit 50 L auf 1 mbar | s | 104 |
| Abpumpzeit 500 L auf 1 mbar | s | 527 |
| Abpumpzeit 1000 L auf 1 mbar | s | 1054 |
| Belüftungszeit bis atm für 50 L | s | 16 |
| Zeit bis zur Betriebsbereitschaft | min | <2 |
| Zeit für die Kalibrierung | s | <30 s |
| Zeit für Rate-of-rise-Messung (I·RISE) | s | <10 |
| Einlassflansch | DN63 ISO-K | |
| Nachweisbare Massen (ULTRATEST Sensor Technology) | 2,3,4 (H2, 3He, He) | |
| Versorgungsspannung | V | 100 to 230, 50/60 Hz |
| Maximaler Leistungsbedarf | VA | 1500 |
| Typischer Leistungsbedarf | VA | 700 |
| Gewicht | kg | 144 |
| Abmessungen (L x B x H) | mm in. | 1050x427x1040 42x21x41 |
| *extrapolated |
| 550-520 | UL6000 Fab |
| 550-530 | UL6000 Fab PLUS |
| 551-226 | Metal hose, DN63 ISO-K/DN50 ISO-KF |
| 551-227 | Metal hose, DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF |
| 551-015 | Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter |
| 551-010 | Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable |
| 551-202 | Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version) |
| 525-001 | SL3000-3, sniffer line 3 m length |
| 525-002 | SL3000-5, sniffer line 5 m length |
| 525-003 | SL3000-10, sniffer line 10 m length |
| 551-203 | Bracket for SL3000 |
| 551-210 | SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000 |
| 551-201 | Helium Bottle Holder |
| 560-310 | I/O 1000 module |
| 560-315 | BM1000 PROFIBUS module |
| 560-316 | BM1000 PROFINET IO module |
| 560-317 | BM1000 DeviceNet module |
| 560-318 | BM1000 Ethernet/IP module |
| 560-334 | Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m |
| 560-332 | Data Cable 2 m |
| 560-335 | Data Cable 5 m |
| 560-340 | Data Cable 10 m |
| Part Number | Description |
| 200007656 | Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation |
