Helium Leak Detector

UL6000 Fab Serie

Setzt Maßstäbe für Geschwindigkeit und Präzision bei der Dichtheitsprüfung

UL6000-Fab-PLUS

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Der INFICON UL6000 Helium Leak Detector wurde für die wichtigsten und anspruchsvollsten Leckerkennungsanwendungen entworfen. Der UL6000 verwendet die von INFICON entwickelten Softwarealgorithmen I-CAL und Hydro-S in einem felderprobten Vakuumentwurf und bietet Testflexibilität, hohe Empfindlichkeit und schnelle, präzise Ergebnisse, um Leckerkennungsanwendungen zu beschleunigen und zu vereinfachen.

Der UL6000 liefert schnelle Reaktionszeiten in allen Messbereichen sowie extrem kurze Zykluszeiträume beim Erreichen der Testbedingungen und Endergebnisse. Die speziell entworfene Vakuumarchitektur sorgt für kontinuierlich hohe Heliumpumpgeschwindigkeiten und extrem kurze Reaktionszeiten.

Der neue UL6000 Fab PLUS mit I·RISE. Rate-of-rise in unter 10 Sekunden

 Leckagen aufzuspüren ist sowohl zeitintensiv als auch komplex: Mittels eines Druckanstiegstests werden Halbleiter- und Vakuumanlagen im Betrieb kontinuierlich überprüft. Zeigt der Test nun ein Leck an, wird dieses per Helium-Sprühmethode identifiziert und beseitigt. Abschließend erfolgt eine erneute integrale Dichtheitsprüfung per Druckanstiegstest – so lange, bis das letzte Leck gefunden ist. Für die notwendige Genauigkeit kommt es vor allem bei großen Anlagenvolumina deshalb oft zu sehr langen Messzeiten. Mit dem Intelligent Rate-of-rise-Feature I·RISE übernimmt der neue UL6000 Fab PLUS die Druckanstiegsmessung jetzt selbst und kombiniert sie mit der Helium-Sprühmethode. Das patentierte System verkürzt die Messdauer erheblich und reduziert so den Zeitaufwand für Dichtheitsprüfung und Anlagenwartung um ein Vielfaches. Für noch genauere und schnellere Messergebnisse – in unter 10 Sekunden und unabhängig vom Volumen Ihrer Produktionsanlage.

Vorteile

  • HYDRO-S (HYDROgen-Suppression) zum schnelleren Erreichen der Testbedingungen
  • I-CAL (Intelligent Calculation Algorithm for Leak Rates) für schnelle Reaktionszeiten bei Lecks in allen Messbereichen
  • Eine spezielle Turbomolekularpumpe mit mehreren Einlässen ermöglicht optimierte hohe Heliumpumpgeschwindigkeiten mit hoher Heliumkompression bei allen Drücken, und bietet exzellente Empfindlichkeit, Ansprechzeit und schnelle Reinigung.
  • Eine Booster-Turbomolekularpumpe für extrem kurze Ansprechzeiten bei beliebigen Testobjekten, selbst bei größten Volumen und Kammern.
  • Das praxiserprobte Sektorfeld-Massenspektrometer von INFICON sorgt mit seinem störungs- und wartungsfreien Design über Jahre für präzise und wiederholbare Ergebnisse.
  • Selbstschutzmerkmale zum Schutz des UL6000 vor Helium- und Partikelverunreinigung sowie ein automatischer Spülzyklus garantieren, dass der UL6000 bei Bedarf einsatzbereit ist.
  • Eine drehbare Anzeige/Steuerschnittstelle und eine optionale Handfernsteuerung garantieren operative Flexibilität.
  • Die Zugriffssteuerung auf die Einheit und die Systemsoftware kann über die Software aktiviert werden, um nicht autorisierte Verwendung oder unbeabsichtigte Änderungen an Testeinrichtungen zu verhindern.
  • Softwareaktualisierungen über E-Mail halten den UL6000 auf optimaler Leistung.
  • Neues Workstation-Design mit einer Arbeitsfläche optimaler Höhe, einschließlich ESD-Matte und Werkzeugkiste zur Testvereinfachung.

Typische Anwendungen

  • Leckprüfung von Komponenten, Baugruppen und großen Kammern, die für Halbleiter- und Flachbildschirmwerkzeuge verwendet werden.
  • Leckprüfungen an Halbleiter- und Flachbildschirmwerkzeugen
  • Leckprüfungen von Komponenten, Baugruppen und Anlagen in der Luft- und Raumfahrt
  • Leckprüfungen an Vorratsbehältern und Vorratstanks

Spezifikationen

UL 6000 Fab
UL 6000 Fab PLUS
Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuumbetrieb)mbar∙L/s<5∙10-12 
Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Schnüffelbetrieb)mbar∙L/s<5∙10-8
Max. Einlassdruck (MASSIVE Modus) atm (~1013 mbar)
Vorpumpentyp roots
Max. Luftsaugvermögen Vorpumpe (Abpumpen)m³/h>36
Luftsaugvermögen am Einlassflansch (100-1000 mbar) m³/h23 
Luftsaugvermögen am Einlassflansch (10-100 mbar and 1-10 mbar)m³/h26
Größtest Heliumsaugvermögen (ULTRA Modus)L/s>36
Heliumsaugvermögen bei Reduzierung DN63 auf DN40L/s~ 30
Ansprechzeit für 50 Ls1.4
Abpumpzeit 100 L auf 1 mbars52
Abpumpzeit 50 L auf 1 mbars104
Abpumpzeit 500 L auf 1 mbars527
Abpumpzeit 1000 L auf 1 mbars1054
Belüftungszeit bis atm für 50 Ls16
Zeit bis zur Betriebsbereitschaftmin<2
Zeit für die Kalibrierungs<30 s
Einlassflansch DN63 ISO-K
Nachweisbare Massen (ULTRATEST Sensor Technology)  2,3,4 (H2, 3He, He)
Versorgungsspannung V100 to 230, 50/60 Hz
Maximaler LeistungsbedarfVA1500
Typischer LeistungsbedarfVA700
Gewichtkg143
Abmessungen (L x B x H)mm
in.
1050x427x1040
42x21x41
*extrapolated  
Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuumbetrieb)mbar∙L/s<5∙10-12 
Kleinste nachweisbare Leckrate für Helium (Schnüffelbetrieb)mbar∙L/s<5∙10-8
Max. Einlassdruck (MASSIVE Modus) atm (~1013 mbar)
Vorpumpentyp roots
Max. Luftsaugvermögen Vorpumpe (Abpumpen)m³/h>36
Luftsaugvermögen am Einlassflansch (100-1000 mbar) m³/h23 
Luftsaugvermögen am Einlassflansch (10-100 mbar and 1-10 mbar)m³/h26
Größtest Heliumsaugvermögen (ULTRA Modus)L/s>36
Heliumsaugvermögen bei Reduzierung DN63 auf DN40L/s~ 30
Ansprechzeit für 50 Ls1.4
Abpumpzeit 100 L auf 1 mbars52
Abpumpzeit 50 L auf 1 mbars104
Abpumpzeit 500 L auf 1 mbars527
Abpumpzeit 1000 L auf 1 mbars1054
Belüftungszeit bis atm für 50 Ls16
Zeit bis zur Betriebsbereitschaftmin<2
Zeit für die Kalibrierungs<30 s
Zeit für Rate-of-rise-Messung (I·RISE)s<10
Einlassflansch DN63 ISO-K
Nachweisbare Massen (ULTRATEST Sensor Technology)  2,3,4 (H2, 3He, He)
Versorgungsspannung V100 to 230, 50/60 Hz
Maximaler LeistungsbedarfVA1500
Typischer LeistungsbedarfVA700
Gewichtkg144
Abmessungen (L x B x H)mm
in.
1050x427x1040
42x21x41
*extrapolated  
Artikelnummern
Zubehör
Verbrauchsmaterialien
550-520UL6000 Fab
550-530UL6000 Fab PLUS
551-226Metal hose, DN63 ISO-K/DN50 ISO-KF
551-227Metal hose, DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF
551-015Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter
551-010Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable
551-202Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version)
525-001SL3000-3, sniffer line 3 m length
525-002SL3000-5, sniffer line 5 m length
525-003SL3000-10, sniffer line 10 m length
551-203Bracket for SL3000
551-210SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000
551-201Helium Bottle Holder
560-310I/O 1000 module
560-315BM1000 PROFIBUS module
560-316BM1000 PROFINET IO module
560-317BM1000 DeviceNet module
560-318BM1000 Ethernet/IP module
560-334Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m
560-332Data Cable 2 m
560-335Data Cable 5 m
560-340Data Cable 10 m
Part NumberDescription
200007656Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation

Downloads

Anleitungen
UL6000-Fab,-PLUS-操作手冊 Operating Instructions (zh-tw)
pdf 4,4 MB Chinesisch Bedienungsanleitungen
RC1000 Operating instructions
pdf 2,1 MB Englisch Bedienungsanleitungen
RC1000 Notice d'utilisation
pdf 2,1 MB Französisch Bedienungsanleitungen
SL3000(XL) Operating Manual
pdf 1,7 MB Englisch Bedienungsanleitungen
SL3000 bracket
pdf 148,3 KB Englisch Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Instrukcja obsługi
pdf 4,3 MB Polnisch Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Istruzioni per l'uso
pdf 4,2 MB Italienisch Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Manual de instrucciones
pdf 4,3 MB Spanisch Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Notice d'utilisation
pdf 4,3 MB Französisch Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS инструкция по эксплуатации
pdf 4,7 MB Russisch Bedienungsanleitungen
Halterung SL3000
pdf 328,7 KB Deutsch Bedienungsanleitungen
RC1000 Betriebsanleitung
pdf 2,1 MB Deutsch Bedienungsanleitungen
SL3000(XL) Operating Manual
pdf 1,8 MB Deutsch Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Betriebsanleitung
pdf 4,3 MB Deutsch Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Operating Instructions
pdf 4,2 MB Englisch Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS 操作説明 Operating Instructions
pdf 4,4 MB Japanisch Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS 操作说明书 Operating Instructions
pdf 4,4 MB Chinesisch Bedienungsanleitungen
UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS 사용 설명서 Operating Instructions
pdf 4,2 MB Koreanisch Bedienungsanleitungen
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