Helium Leak Detector

UL1000 Fab

ULTRATEST™ sensor technology.

UL1000-Fab

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Der Standart bei “trocken” Vakuumdichtheitsprüfungen in der Industrie und bei der Halbleiterfertigung 

Der Helium Leck Detektor INFICON UL1000 Fab ist heute der allgemein anerkannte Standard für kostengünstige Helium-Vakuumdichtheitsprüfung in der Industrie und bei der Halbleiterfertigung.

Die Trockenpumpentechnik des Geräts verhindert eine mögliche Kontamination der geprüften Bauteile oder Ausrüstung durch Kohlenwasserstoffverbindungen oder -partikel. Der UL1000Fab bildet den bestmöglichen Kompromiss zwischen hoher Leistung, beispielloser Robustheit und Wirtschaftlichkeit. Das Gerät bietet dem neuesten Stand der Technik entsprechende Nachweisgrenzen von 10-12 mbar*l/s bei entsprechend kurzen Abpump- und Reaktionszeiten. Durch die ergonomische Gerätegestaltung lässt sich der Helium Leck Detektor besonders gut handhaben und kann auch in Wartungsbereichen mit beengten Platzverhältnssen problemlos eingesetzt werden. Die wählbare Untergrundunterdrückung (iZERO) ermöglicht eine kontinuierliche Dichtheitsprüfung um mindestens zwei Dekaden unterhalb des vorhandenen Hintergrundpegels.  

Alle Gerätefunktionen sind darauf ausgelegt, den Zeitaufwand für Dichtheitsprüfungen so gering wie möglich zu halten und gleichzeitig eine kostengünstige Erkennung aller Undichtigkeiten sicherzustellen.

Vorteile

  • minimaler Aufwand zur Dichtheitsprüfung dank kurzer Abpump- und Reaktionszeiten
  • wählbare Untergrundunterdrückung (iZERO) – dadurch keine Notwendigkeit zur Durchführung mehrerer Dichtheitsprüfungen
  • einfache Handhabung unter beengten Platzverhältnissen dank der kompakten Gerätegestaltung
  • niedrige Gesamtbetriebskosten basierend auf einer Ionenquelle mit zwei Filamenten (3-jährige Garantie) und Vakuumsystem im Gegenstromprinzip.
  • hohe Bedienfreundlichkeit mit schwenkbarem Display, optischer und akustischer Anzeige und wahlweise erhältlicher Fernbedienung
  • geringer Wartungsbedarf durch integriertes Testleck mit automatischer Kalibrierung

Typical Applications

  • Fertigung von Industrievakuumanlagen mit hohen Reinheitsanforderungen
  • Vakuumkomponenten oder -teilbaugruppen vor dem Einbau in vorhandene Geräte
  • Wartungsarbeiten an Vakuummessgeräten mit oder ohne Unterstützung durch die eigene Pumpe
  • Inspektion und Installation von Prozessgassystemen
  • Fertigung von Halbleitern, Flachbildschirmen und Solarzellen

Spezifikationen

Type Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
Min. nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuumbetrieb)mbar•L/s< 5 • 10-12
Min. nachweisbare Leckrate für Helium (Schnüffelbetrieb)mbar•L/s< 5·10-8
Max. Einlassdruck GROSS Betriebmbar15
Max. Einlassdruck FINE Betriebmbar2
Max. Einlassdruck ULTRA Betriebmbar0.4
Saugvermögen im Abpumpbetriebm³/h25 at 50 Hz
Helium Saugvermögen ULTRA BetriebL/s2.5
Nachweisbare Massen 2,3,4 amu
Sektorfeld Massenspektrometer 180°
Katoden Ionenquelle Iridium/ Yttrium beschichtet 2
Kalibriertes Einbau Testleckmbar•L/s∼ 10-7
Test AnschlussDN 25 KF1
Einstellbare Trigger 2
Interface RS 232
SchreiberausgangV2 x10
Ein-/Ausgänge PLC compatible
Umgebungstemperatur (während Betrieb)°C+10 to +40
Gewichtkg
lb.
110
242
Abmessungen(L x B x H)mm41 x 19 x 39
Versorgungsspannung (EU)V (ac)230 (± 10 %) 50 Hz
Versorgungsspannung (US)V (ac)100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
Leistungsaufnahme (Typ.)VA1100

Artikelnummer

Part Number
Accessories
550-100AUL1000 Fab, 230 V AC, EU plug
550-101AUL1000 Fab, 100/115 V AC, US plug
14022Extension cable for remote control RC1000, 8 m length
551-000Toolbox, detachable,for UL1000
551-001Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-002ESD Mat for UL1000/5000
551-005TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable
551-015Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter
551-020Wireless transmitter for RC1000WL
  
RC1000 Remote ControlRC1000 Remote Control
TC1000 Test ChamberTC1000 Test Chamber