UL1000 / UL1000 Fab
Mobile Helium-Lecksucher mit ULTRATEST™-Sensortechnologie.
Der Standard für Vakuumdichtheitsprüfungen in der industriellen Vakuum- und Halbleiterfertigung
Die INFICON UL1000 Helium-Lecksucher-Serie ist der renommierte Standard, wenn es um wirtschaftliche Helium-Vakuum-Lecktests in industriellen Umgebungen (UL1000 mit ölgedichteten Vorvakuumpumpen) oder in der Halbleiterindustrie (UL1000 Fab mit trocken verdichtenden Vorvakuumpumpen) geht.
Die UL1000-Serie bietet den besten Kompromiss zwischen hoher Leistung, unvergleichlicher Robustheit und Erschwinglichkeit. Sie liefert hochmoderne Nachweisgrenzen von 10-12 mbar*l/s in Kombination mit einer vernünftig kurzen Abpump- und Ansprechzeit. Das kompakte Design gewährleistet eine hohe Manövrierfähigkeit und erleichtert den Zugang zu Wartungsbereichen mit eingeschränktem Platzangebot. Die wählbare Hintergrundunterdrückung (iZERO) ermöglicht kontinuierliche Lecktests, die mindestens zwei Dekaden unter den bestehenden Hintergrundwerten liegen.
Diese Merkmale verkürzen insgesamt die Dauer Ihres Lecktestprozesses und stellen sicher, dass alle Lecks effizient und wirtschaftlich erkannt werden.
Mit dem TC1000 Testkammer-Zubehör bietet die UL1000 Helium-Lecksucher-Serie eine einfache, schnelle und genaue Prüfung hermetisch abgedichteter Teile wie IC-Gehäuse, Quarzkristalle und Laserdioden (gemäß MIL-STD 883, Methode 1014).
Optimierte Lecksuche mit SMART-Spray und SPRAY-Check
SMART-Spray Helium-Sprühpistole optimiert die Lecksuche, da keine großen Heliumflaschen und unhandlichen Schläuche mehr benötigt werden. Es rationalisiert den Prozess, reduziert manuelle Heliumflusseinstellungen und minimiert Fehler. Mit diesem Gerät wird die Lecksuche schneller, einfacher und zuverlässiger, während der Heliumverbrauch und die Hintergrundwerte niedrig bleiben.
SPRAY-Check, ein Sprühleck, gewährleistet die Funktionalität und Bereitschaft Ihres Lecksuchgeräts. Es ist ideal für den Bereich von 10-⁹ bis 10-⁸ mbar∙l/s und bietet zuverlässige Kontrollen während der Prüfprozesse.
Vorteile
- Minimierung des Lecktestaufwands durch schnelles Abpumpen und kurze Ansprechzeiten
- Vermeidung mehrfacher Lecktests durch wählbare Hintergrundunterdrückung (I·ZERO)
- I·CAL (Intelligenter Berechnungsalgorithmus für Leckraten) gewährleistet die schnellste Reaktionszeit auf Lecks in allen Messbereichen
- Einfacher Zugang zu Wartungsbereichen mit eingeschränktem Platz durch manövrierbares Design
- Niedrige Gesamtkosten (TCO) durch robuste Zwei-Heißfilament-Ionenquelle (3 Jahre Garantie) und Gegenstrom-Vakuumsystem
- Einfache Bedienung mit drehbarem Display, optischer und akustischer Leckanzeige sowie optionaler Fernbedienung
- Geringer Wartungsaufwand dank eingebautem Testleck mit automatischem Kalibrierungsverfahren
- Software-Updates sind leicht per E-Mail möglich
- Eingebautes Softwaremenü mit "Auto-Lecktest"-Funktion zur automatischen Prüfung hermetisch abgedichteter Komponenten (optionale TC1000-Testkammer)
Typische Applikationen
- Fertigung von Industrievakuumanlagen mit hohen Reinheitsanforderungen
- Vakuumkomponenten oder -teilbaugruppen vor dem Einbau in vorhandene Geräte
- Wartungsarbeiten an Vakuummessgeräten mit oder ohne Unterstützung durch die eigene Pumpe
- Inspektion und Installation von Prozessgassystemen
- Fertigung von Halbleitern, Flachbildschirmen und Solarzellen
- Kälte- und Klimakomponenten sowie Baugruppen
- Hermetisch versiegelte elektronische Geräte
- Wärmetauscher
Spezifikationen
| Min. nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuum-Mode) | mbar•L/s | < 5·10-12 |
| Min. nachweisbare Leckrate für Helium (Sniffer-Mode) | mbar•L/s | < 5·10-8 |
| Max. Inlet pressure GROSS-Modus | mbar | 15 |
| Max. Inlet pressure FINE mode | mbar | 2 |
| Max. Einlassdruck ULTRA-Modus | mbar | 0.4 |
| Vorvakuumpumpen-Typ | Ölgedichtet | |
| Pumpendrehzahl während der Evakuierung | m³/h | 16 at 50 Hz |
| Helium-Pumpgeschwindigkeit ULTRA-Modus | L/s | 2.5 |
| Nachweisbare Massen | 2,3,4 amu | |
| Massenspektrometer Fachgebiet | 180° | |
| Filamente Ionenquelle Iridium/Yttrium beschichtet | 2 | |
| Kalibriertes eingebautes Testleck | mbar•L/s | E-7 |
| Testanschluss | DN 25 KF | |
| Einstellbare Trigger | 2 | |
| Schnittstelle | RS232 | |
| Schreiberausgang | V | 2x10 |
| Eingänge/Ausgänge | PLC compatible | |
| Zulässige Umgebungstemperatur (während des Betriebs) | °C | +10.....+40 |
| Gewicht | kg lb | 110 242 |
| Abmessungen ( L x B x H ) | mm in | 1068 x 525 x 850 42 x 21 x 33 |
| Versorgungsspannungen | V (AC) V (AC) V (AC) | 230 (±10%) 50Hz 115 (±10%) 60Hz 100 (±10%) 50/60Hz |
| Stromverbrauch | VA | 1100 |
| Min. nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuumbetrieb) | mbar•L/s | < 5·10-12 |
| Min. nachweisbare Leckrate für Helium (Sniffer-Modus) | mbar•L/s | < 5·10-8 |
| Max. Einlassdruck GROSS-Modus | mbar | 15 |
| Max. Einlassdruck FINE-Modus | mbar | 2 |
| Max. Einlassdruck ULTRA-Modus | mbar | 0.4 |
| Vorvakuumpumpen-Typ | Trockenverdichtend | |
| Pumpendrehzahl während der Evakuierung | m³/h | 25 at 50 Hz |
| Helium-Saugvermögen ULTRA-Modus | L/s | 2.5 |
| Nachweisbare Massen | 2,3,4 amu | |
| Massenspektrometer Sektorenfeld | 180° | |
| Filamente Ionenquelle Iridium/Yttrium beschichtet | 2 | |
| Kalibriertes eingebautes Leck | mbar•L/s | ∼ 10-7 |
| Prüfanschluss | DN 25 KF/(DN 40 KF) | |
| Einstellbare Trigger | 2 | |
| Schnittstelle | RS 232 | |
| Ausgabe des Schreibers | V | 2 x10 |
| Eingänge/Ausgänge | PLC compatible | |
| Zulässige Umgebungstemperatur (während des Betriebs) | °C | +10 to +40 |
| Gewicht | kg lb | 110 242 |
| Abmessungen (L x B x H) | mm in. | 1050 x 472 x 987 41 x 19 x 39 |
| Versorgungsspannung (EU) | V (AC) | 230 (± 10 %) 50 Hz |
| Versorgungsspannung (US) | V (AC) | 100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz |
| Leistungsaufnahme (typ.) | VA | 1100 |
| Leistungsaufnahme (max.) | VA | 1100 |
Bestellinformationen
| 550-000A | UL1000, 230 V AC, DN 25 KF |
| 550-001A | UL1000, 115 V AC, DN 25 KF |
| 550-002A | UL1000, 100 V AC, DN 25 KF |
| 550-100A | UL1000 Fab, 230 V AC, DN 25 KF |
| 550-101A | UL1000 Fab, 100/115 V AC, DN 25 KF |
| 550-102 | UL1000 Fab, 230 V AC, DN 40 KF |
| 551-050 | SMART-Spray Helium Sprühpisotle Set |
| 551-031 | SPRAY-Check TL8 (nicht kalibriert) |
| 14005 | SL200 - 4 m, Schnüffelleitung für UL Produktfamilie |
| 14006 | SL200 - 14 m, Schnüffelleitung für UL Produktfamilie |
| 14022 | Verlängerungskabel für Fernsteuerung RC1000, 8 m Länge |
| 551-000 | Werkzeugbox, abnehmbar für UL1000 |
| 551-001 | Heliumflaschenhalterung für UL1000/5000 |
| 551-002 | ESD-Matte für UL1000/5000 |
| 551-005 | TC1000 Prüfkammer, DN 25 KF, ESD-Handgelenkband |
| 551-010 | Fernbedienung RC1000C, mit 4 m Spiralkabel |
| 551-015 | Fernbedienung RC1000WL, drahtlos, inkl. Funksender |
| 551-020 | Kabelloser Transmitter für RC1000WL |
