UL1000 Fab
ULTRATEST™ sensor technology.
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Der Standart bei “trocken” Vakuumdichtheitsprüfungen in der Industrie und bei der Halbleiterfertigung
Der Helium Leck Detektor INFICON UL1000 Fab ist heute der allgemein anerkannte Standard für kostengünstige Helium-Vakuumdichtheitsprüfung in der Industrie und bei der Halbleiterfertigung.
Die Trockenpumpentechnik des Geräts verhindert eine mögliche Kontamination der geprüften Bauteile oder Ausrüstung durch Kohlenwasserstoffverbindungen oder -partikel. Der UL1000Fab bildet den bestmöglichen Kompromiss zwischen hoher Leistung, beispielloser Robustheit und Wirtschaftlichkeit. Das Gerät bietet dem neuesten Stand der Technik entsprechende Nachweisgrenzen von 10-12 mbar*l/s bei entsprechend kurzen Abpump- und Reaktionszeiten. Durch die ergonomische Gerätegestaltung lässt sich der Helium Leck Detektor besonders gut handhaben und kann auch in Wartungsbereichen mit beengten Platzverhältnssen problemlos eingesetzt werden. Die wählbare Untergrundunterdrückung (iZERO) ermöglicht eine kontinuierliche Dichtheitsprüfung um mindestens zwei Dekaden unterhalb des vorhandenen Hintergrundpegels.
Alle Gerätefunktionen sind darauf ausgelegt, den Zeitaufwand für Dichtheitsprüfungen so gering wie möglich zu halten und gleichzeitig eine kostengünstige Erkennung aller Undichtigkeiten sicherzustellen.
Vorteile
- minimaler Aufwand zur Dichtheitsprüfung dank kurzer Abpump- und Reaktionszeiten
- wählbare Untergrundunterdrückung (iZERO) – dadurch keine Notwendigkeit zur Durchführung mehrerer Dichtheitsprüfungen
- einfache Handhabung unter beengten Platzverhältnissen dank der kompakten Gerätegestaltung
- niedrige Gesamtbetriebskosten basierend auf einer Ionenquelle mit zwei Filamenten (3-jährige Garantie) und Vakuumsystem im Gegenstromprinzip.
- hohe Bedienfreundlichkeit mit schwenkbarem Display, optischer und akustischer Anzeige und wahlweise erhältlicher Fernbedienung
- geringer Wartungsbedarf durch integriertes Testleck mit automatischer Kalibrierung
Typical Applications
- Fertigung von Industrievakuumanlagen mit hohen Reinheitsanforderungen
- Vakuumkomponenten oder -teilbaugruppen vor dem Einbau in vorhandene Geräte
- Wartungsarbeiten an Vakuummessgeräten mit oder ohne Unterstützung durch die eigene Pumpe
- Inspektion und Installation von Prozessgassystemen
- Fertigung von Halbleitern, Flachbildschirmen und Solarzellen
Spezifikationen
| Type | Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab | |
| Min. nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuumbetrieb) | mbar•L/s | < 5 • 10-12 |
| Min. nachweisbare Leckrate für Helium (Schnüffelbetrieb) | mbar•L/s | < 5·10-8 |
| Max. Einlassdruck GROSS Betrieb | mbar | 15 |
| Max. Einlassdruck FINE Betrieb | mbar | 2 |
| Max. Einlassdruck ULTRA Betrieb | mbar | 0.4 |
| Saugvermögen im Abpumpbetrieb | m³/h | 25 at 50 Hz |
| Helium Saugvermögen ULTRA Betrieb | L/s | 2.5 |
| Nachweisbare Massen | 2,3,4 amu | |
| Sektorfeld Massenspektrometer | 180° | |
| Katoden Ionenquelle Iridium/ Yttrium beschichtet | 2 | |
| Kalibriertes Einbau Testleck | mbar•L/s | ∼ 10-7 |
| Test Anschluss | DN 25 KF | 1 |
| Einstellbare Trigger | 2 | |
| Interface | RS 232 | |
| Schreiberausgang | V | 2 x10 |
| Ein-/Ausgänge | PLC compatible | |
| Umgebungstemperatur (während Betrieb) | °C | +10 to +40 |
| Gewicht | kg lb. | 110 242 |
| Abmessungen(L x B x H) | mm | 41 x 19 x 39 |
| Versorgungsspannung (EU) | V (ac) | 230 (± 10 %) 50 Hz |
| Versorgungsspannung (US) | V (ac) | 100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz |
| Leistungsaufnahme (Typ.) | VA | 1100 |
Artikelnummer
| 550-100A | UL1000 Fab, 230 V AC, EU plug |
| 550-101A | UL1000 Fab, 100/115 V AC, US plug |
| 14022 | Extension cable for remote control RC1000, 8 m length |
| 551-000 | Toolbox, detachable,for UL1000 |
| 551-001 | Helium Bottle Holder for UL1000/5000 |
| 551-002 | ESD Mat for UL1000/5000 |
| 551-005 | TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band |
| 551-010 | Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable |
| 551-015 | Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter |
| 551-020 | Wireless transmitter for RC1000WL |
| RC1000 Remote Control | RC1000 Remote Control |
| TC1000 Test Chamber | TC1000 Test Chamber |
