Helium Leak Detector

UL3000 Fab Series

ULTRATEST ™ Sensor Technologie - Mobiles Helium Dichtheitsprüfgerät (Trockenpumpe) und UL3000 Fab Mobiles Helium Dichtheitsprüfgerät

Für die schnelle Wartung und maximale Standzeit von Halbleiteranlagen.

Keine Fehler bei der Wartung Ihrer Prozessanlagen. Mit der neuesten smarten Generation unserer erfolgreichen UL-Serie verkürzen Sie die Wartung ihrer Prozessanlagen - und dies sicherer als je zuvor.

Vorteile des UL3000 FAB ULTRA

Schnelle Abpumpzeiten durch größeres Saugvermögen der Klauenpumpe
Reduzierte Betriebskosten (TCO) durch die "quasi" wartungsfreie Klauenpumpe
Schnellerer Beginn mit der Dichtheitsprüfung: HYDRO·S eliminiert den Wasseranteil des Untergrundes im Signal und ermöglicht so ein schnelles Erreichen eines niedrigen Untergrundes für hohe Sensitivität.
Der UL3000 Fab ULTRA bietet auch eine verbesserte Schnüffelfähigkeit durch die Verwendung der bewährten Schnüffelleitung SL3000, die bis zu 10 m lang bestellt werden kann. Die SL3000 hat einen separaten Anschluss, so dass keine Verbindung zum Vakuumeinlass erforderlich ist.

Ihre Prozessausrüstung bleibt während der Dichtheitsprüfung frei von Verunreinigungen.

Alle Lecks werden zuverlässig erkannt. Nach der Wartung wird der zeitintensive Druckanstiegstest sicher bestanden.

Das Helium-Dichtheitsprüfgerät UL3000 Fab ULTRA ist für alle Anwendungen konzipiert, bei denen es auf Robustheit und höchste Reinheit ankommt, wie zum Beispiel bei Wartungs- oder Produktionsvorgängen von Halbleiterproduktionsanlagen in Reinräumen.

Vorteile

Sparen Sie Zeit mit I-CAL, dem Software-Algorithmus für schnelle Messungen im Bereich von 10^-9 bis 10^-12 mbar-l/s
Effizienteste Dichtheitsprüfung mit I-ZERO 2.0 der verbesserter intelligente Abzug des Untergrundsignals für höhere Messempfindlichkeit
Anwendbar für Vakuum- und Schnüffellecksuche
Minimieren Sie den Aufwand für die Dichtheitsprüfung durch schnelle Evakuierung und Ansprechzeit
Zeitersparnis durch leichte Manövrierbarkeit durch schlankes Design
Niedrige Gesamtbetriebskosten (TCO) durch robuste Ionenquelle (3 Jahre Garantie) und Gegenstrom-Vakuumsystem
Benutzerfreundliches, bedienergeführtes HMI mit drehbarem, hochauflösendem Farbdisplay
UL3000 Fab ULTRA: Schnellerer Beginn mit der Dichtheitsprüfung: HYDRO·S eliminiert den Wasseranteil des Untergrundes im Signal und ermöglicht so ein schnelles Erreichen eines niedrigen Untergrundes für hohe Sensitivität.
UL3000 Fab ULTRA: Schnelle Abpumpzeiten durch größeres Saugvermögen der Klauenpumpe
UL3000 Fab ULTRA: Reduzierte Betriebskosten (TCO) durch die zuverlässige Klauenpumpe
Der UL3000 Fab ULTRA bietet auch eine verbesserte Schnüffelfähigkeit durch die Verwendung der bewährten Schnüffelleitung SL3000, die bis zu 10 m lang bestellt werden kann. Die SL3000 hat einen separaten Anschluss, so dass keine Verbindung zum Vakuumeinlass erforderlich ist.

Typische Anwendungen

Halbleiterfertigung
Display/Bildschirmherstellung
Solarzellenproduktion
Glas und Folien (Rolle zu Rolle) Beschichtungen
Vakuumbeschichtungsanlagen und -anwendungen

Spezifikationen

UL3000 Fab

UL3000 Fab ULTRA

Max. Luftsaugvermögen (Abpumpen) der Vorpumpe	m³/h	>30
Helium Saugvermögen ULTRA Modus	L/s	4
Abmessungen (LxWxH)	mm in.	1050x472x987 42x21x34
Zusatzeigenschaften UL3000 Fab ULTRA	Roots dry pump with highest air pumping speed, HYDRO·S, separate sniffer line port for SL3000, vacuum hose holder

Max. Luftsaugvermögen (Abpumpen) der Vorpumpe	m³/h	>36
Helium Saugvermögen ULTRA Modus	L/s	4
Abmessungen (LxWxH)	mm in.	1050x472x987 42x21x34
Zusatzeigenschaften UL3000 Fab ULTRA	Roots dry pump with highest air pumping speed, HYDRO·S, separate sniffer line port for SL3000, vacuum hose holder

Artikelnummern

Zubehör

Verbrauchsmaterialien

Artikelnummer	Beschreibung

550-260	UL3000 Fab ULTRA
550-200	UL3000 Fab

Artikelnummer	Beschreibung

551-010	Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable
551-202	Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version)
525-001	SL3000-3, sniffer line 3 m length
525-002	SL3000-5, sniffer line 5 m length
525-003	SL3000-10, sniffer line 10 m length
551-203	Bracket for SL3000
551-210	SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000
551-201	Helium Bottle Holder
560-310	I/O 1000 module
560-315	BM1000 Profibus module
560-316	BM1000 PROFINET IO module
560-317	BM1000 DeviceNet module
560-318	BM1000 Ethernet/IP module
560-334	Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m
560-332	Data Cable 2 m
560-335	Data Cable 5 m
560-340	Data Cable 10 m
551-005	TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-205	extension cable for TC1000/SL200, UL3000

Artikelnummer	Beschreibung

200007656	Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation

Lerne mehr über UL3000 Fab ULTRA hier

Downloads

Broschüren

UL3000 Fab (ULTRA) 可移动式氦气检漏仪

pdf • 1.018,0 KB • Chinesisch

UL3000 Fab (ULTRA) Détecteur de fuite mobile à l'hélium

pdf • 880,3 KB • Französisch

UL3000 Fab (ULTRA) Detector de fugas de helio móvil

pdf • 874,0 KB • Spanisch

UL3000 Fab (ULTRA) Mobile Helium Leak Detector

pdf • 894,2 KB • Englisch

UL3000 Fab (ULTRA) 이동식 헬륨 누설 탐지기

pdf • 1,0 MB • Koreanisch

UL3000 Fab（ULTRA）モバイルヘリウムリークディテクター

pdf • 941,7 KB • Japanisch

Handbücher

BM1000 Operating manual

pdf • 824,6 KB • Chinesisch

IO1000 操作说明书

pdf • 1,4 MB • Chinesisch

RC1000 Operating instructions

pdf • 2,1 MB • Englisch

RC1000 Notice d'utilisation

pdf • 2,1 MB • Französisch

BM1000 Operating manual

pdf • 734,7 KB • Englisch

IO1000 Operating manual

pdf • 1,3 MB • Englisch

SL3000 bracket

pdf • 148,3 KB • Englisch

BM1000 Operating manual

pdf • 640,6 KB • Spanisch

IO1000 Manual de instrucciones

pdf • 1,3 MB • Spanisch

BM1000 Operating manual

pdf • 1.004,7 KB • Deutsch

Halterung SL3000

pdf • 328,7 KB • Deutsch

IO1000 Betriebsanleitung

pdf • 1,3 MB • Deutsch

RC1000 Betriebsanleitung

pdf • 2,1 MB • Deutsch

UL3000 Fab Betriebsanleitung

pdf • 3,4 MB • Deutsch

UL3000 Fab Operating Instructions

pdf • 3,3 MB • Englisch

UL3000 Fab ULTRA Manual de instrucciones

pdf • 4,6 MB • Spanisch

UL3000 Fab ULTRA 操作说明书

pdf • 4,7 MB • Chinesisch

UL3000 Fab ULTRA 사용 설명서

pdf • 4,7 MB • Koreanisch

UL3000 Fab 操作説明

pdf • 3,5 MB • Japanisch

UL3000 Fab 操作说明书

pdf • 3,5 MB • Chinesisch

Kataloge

LD-Katalog-2022-23-DE

pdf • 6,9 MB • Deutsch

LD-カタログ-2022-23.JP

pdf • 7,2 MB • Japanisch

LD-产品目录-2022-23-ZH

pdf • 7,2 MB • Chinesisch

LD-목록-2022-23-KO

pdf • 7,0 MB • Koreanisch

Other

Declaration of contamination

pdf • 46,5 KB • Englisch

Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet

HVAC/R

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