Helium Leak Detector

UL3000 Fab Series

ULTRATEST ™ Sensor Technologie -  Mobiles Helium Dichtheitsprüfgerät (Trockenpumpe) und UL3000 Fab Mobiles Helium Dichtheitsprüfgerät

UL3000-Fab-ULTRA

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Für die schnelle Wartung und maximale Standzeit von Halbleiteranlagen.

Keine Fehler bei der Wartung Ihrer Prozessanlagen. Mit der neuesten smarten Generation unserer erfolgreichen UL-Serie verkürzen Sie die Wartung ihrer Prozessanlagen - und dies sicherer als je zuvor.

Vorteile des UL3000 FAB ULTRA

  • Schnelle Abpumpzeiten durch größeres Saugvermögen der Klauenpumpe 
  • Reduzierte Betriebskosten (TCO) durch die "quasi" wartungsfreie Klauenpumpe
  • Schnellerer Beginn mit der Dichtheitsprüfung: HYDRO·S eliminiert den Wasseranteil des Untergrundes im Signal und ermöglicht so ein schnelles Erreichen eines niedrigen Untergrundes für hohe Sensitivität.
  • Der UL3000 Fab ULTRA bietet auch eine verbesserte Schnüffelfähigkeit durch die Verwendung der bewährten Schnüffelleitung SL3000, die bis zu 10 m lang bestellt werden kann. Die SL3000 hat einen separaten Anschluss, so dass keine Verbindung zum Vakuumeinlass erforderlich ist.


Ihre Prozessausrüstung bleibt während der Dichtheitsprüfung frei von Verunreinigungen.

Alle Lecks werden zuverlässig erkannt. Nach der Wartung wird der zeitintensive Druckanstiegstest sicher bestanden.

Das Helium-Dichtheitsprüfgerät UL3000 Fab ULTRA ist für alle Anwendungen konzipiert, bei denen es auf Robustheit und höchste Reinheit ankommt, wie zum Beispiel bei Wartungs- oder Produktionsvorgängen von Halbleiterproduktionsanlagen in Reinräumen.

Vorteile

  • Sparen Sie Zeit mit I-CAL, dem Software-Algorithmus für schnelle Messungen im Bereich von 10-9 bis 10-12 mbar-l/s
  • Effizienteste Dichtheitsprüfung mit I-ZERO 2.0 der verbesserter intelligente Abzug des Untergrundsignals für höhere Messempfindlichkeit
  • Anwendbar für Vakuum- und Schnüffellecksuche
  • Minimieren Sie den Aufwand für die Dichtheitsprüfung durch schnelle Evakuierung und Ansprechzeit
  • Zeitersparnis durch leichte Manövrierbarkeit durch schlankes Design
  • Niedrige Gesamtbetriebskosten (TCO) durch robuste Ionenquelle (3 Jahre Garantie) und Gegenstrom-Vakuumsystem
  • Benutzerfreundliches, bedienergeführtes HMI mit drehbarem, hochauflösendem Farbdisplay
  • UL3000 Fab ULTRA: Schnellerer Beginn mit der Dichtheitsprüfung: HYDRO·S eliminiert den Wasseranteil des Untergrundes im Signal und ermöglicht so ein schnelles Erreichen eines niedrigen Untergrundes für hohe Sensitivität.
  • UL3000 Fab ULTRA: Schnelle Abpumpzeiten durch größeres Saugvermögen der Klauenpumpe
  • UL3000 Fab ULTRA: Reduzierte Betriebskosten (TCO) durch die zuverlässige Klauenpumpe
  • Der UL3000 Fab ULTRA bietet auch eine verbesserte Schnüffelfähigkeit durch die Verwendung der bewährten Schnüffelleitung SL3000, die bis zu 10 m lang bestellt werden kann. Die SL3000 hat einen separaten Anschluss, so dass keine Verbindung zum Vakuumeinlass erforderlich ist.

Typische Anwendungen

  • Halbleiterfertigung
  • Display/Bildschirmherstellung
  • Solarzellenproduktion
  • Glas und Folien (Rolle zu Rolle) Beschichtungen
  • Vakuumbeschichtungsanlagen und -anwendungen

Spezifikationen

UL3000 Fab
UL3000 Fab ULTRA
Max. Luftsaugvermögen (Abpumpen) der Vorpumpem³/h>30
Helium Saugvermögen ULTRA ModusL/s4
Abmessungen (LxWxH)mm
in.
1050x472x987
42x21x34
Zusatzeigenschaften UL3000 Fab ULTRATrockene Wälzkolbenpumpe mit höchstem Saugvermögen, HYDRO-S, separater Schnüffelleitungsanschluss für SL3000, Vakuumschlauchhalter
Max. Luftsaugvermögen (Abpumpen) der Vorpumpem³/h>36
Helium Saugvermögen ULTRA ModusL/s4
Abmessungen (LxWxH)mm
in.
1050x472x987
42x21x34
Zusatzeigenschaften UL3000 Fab ULTRATrockene Wälzkolbenpumpe mit höchstem Saugvermögen, HYDRO-S, separater Schnüffelleitungsanschluss für SL3000, Vakuumschlauchhalter

Bestellinformationen

Artikelnummern
Zubehör
Verbrauchsmaterialien
550-260UL3000 Fab ULTRA
550-200UL3000 Fab
551-010Fernbedienung RC1000C, verkabelt, mit 4m Spiralkabel
551-202Vakuumschlauchhalter für UL3000 Fab (auch für ULTRA-Version)
525-001SL3000-10, Schnüffelleitung 3 m Länge
525-002SL3000-10, Schnüffelleitung 5 m Länge
525-003SL3000-10, Schnüffelleitung 10 m Länge
551-203Halterung für SL3000
551-210SL200, Schnüffelleitung + el. Erweiterung für UL3000
551-201Halter für Heliumflaschen
560-310I/O 1000 Modul
560-315BM1000 PROFIBUS Modul
560-316BM1000 PROFINET IO Modul
560-317BM1000 DeviceNet Modul
560-318BM1000 Ethernet/IP Modul
560-334Datenkabel for IO1000,BM1000, 0.5m
560-332Datenkabel 2 m
560-335Datenkabel 5 m
560-340Datenkabel 10 m
551-005TC1000 Testkammer, DN25KF, ESD-Handgelenkband
551-205Verlängerungskabel für TC1000/SL200, UL3000
551-600I·BOOST Software Lizenz
551-031SPRAY-Check TL8
200007656Luftfilter Kit UL3 Gehäusebelüftung

Downloads

Handbücher
BM1000 Operating manual
pdf 734,7 KB Englisch Bedienungsanleitungen
BM1000 Operating manual
pdf 824,6 KB Chinesisch Bedienungsanleitungen
IO1000 操作说明书
pdf 1,4 MB Chinesisch Bedienungsanleitungen
UL3000 Fab ULTRA-操作手冊 Operating Instructions (zh-tw)
pdf 4,8 MB Chinesisch Bedienungsanleitungen
IO1000 Manual de instrucciones
pdf 1,3 MB Spanisch Bedienungsanleitungen
BM1000 Operating manual
pdf 640,6 KB Spanisch Bedienungsanleitungen
UL3000 Fab 操作手冊 Operating Instructions (zh-tw)
pdf 3,6 MB Chinesisch Bedienungsanleitungen
TC1000 Operating Manual
pdf 353,8 KB Englisch Bedienungsanleitungen
SMART-Spray Operating instructions
pdf 2,5 MB Englisch Bedienungsanleitungen
SL3000 bracket
pdf 148,3 KB Englisch Bedienungsanleitungen
IO1000 Operating manual
pdf 1,3 MB Englisch Bedienungsanleitungen
RC1000 Notice d'utilisation
pdf 2,1 MB Französisch Bedienungsanleitungen
RC1000 Operating instructions
pdf 2,1 MB Englisch Bedienungsanleitungen
SMART-Spray Betriebsanleitung
pdf 2,5 MB Deutsch Bedienungsanleitungen
BM1000 Operating manual
pdf 1.004,7 KB Deutsch Bedienungsanleitungen
Halterung SL3000
pdf 328,7 KB Deutsch Bedienungsanleitungen
IO1000 Betriebsanleitung
pdf 1,3 MB Deutsch Bedienungsanleitungen
RC1000 Betriebsanleitung
pdf 2,1 MB Deutsch Bedienungsanleitungen
TC1000 Betriebsanleitung
pdf 340,5 KB Deutsch Bedienungsanleitungen
UL3000 Fab Betriebsanleitung
pdf 3,5 MB Deutsch Bedienungsanleitungen
UL3000 Fab Operating Instructions
pdf 3,5 MB Englisch Bedienungsanleitungen
UL3000 Fab ULTRA Betriebsanleitung
pdf 4,7 MB Deutsch Bedienungsanleitungen
UL3000 Fab ULTRA Manual de instrucciones
pdf 4,7 MB Spanisch Bedienungsanleitungen
UL3000 Fab ULTRA Operating Instructions
pdf 4,7 MB Englisch Bedienungsanleitungen
UL3000 Fab ULTRA инструкция по эксплуатации
pdf 5,2 MB Russisch Bedienungsanleitungen
UL3000 Fab ULTRA 操作说明书
pdf 4,9 MB Chinesisch Bedienungsanleitungen
UL3000 Fab ULTRA 사용 설명서
pdf 4,7 MB Koreanisch Bedienungsanleitungen
UL3000 Fab 操作説明
pdf 3,7 MB Japanisch Bedienungsanleitungen
UL3000 Fab 操作说明书 Operating Instructions
pdf 3,7 MB Chinesisch Bedienungsanleitungen