Helium Leak Detector

UL3000 Fab Series

ULTRATEST ™ Sensor Technologie -  Mobiles Helium Dichtheitsprüfgerät (Trockenpumpe) und UL3000 Fab Mobiles Helium Dichtheitsprüfgerät

UL3000-Fab-ULTRA

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Für die schnelle Wartung und maximale Standzeit von Halbleiteranlagen.

Keine Fehler bei der Wartung Ihrer Prozessanlagen. Mit der neuesten smarten Generation unserer erfolgreichen UL-Serie verkürzen Sie die Wartung ihrer Prozessanlagen - und dies sicherer als je zuvor.

Vorteile des UL3000 FAB ULTRA

  • Schnelle Abpumpzeiten durch größeres Saugvermögen der Klauenpumpe 
  • Reduzierte Betriebskosten (TCO) durch die "quasi" wartungsfreie Klauenpumpe
  • Schnellerer Beginn mit der Dichtheitsprüfung: HYDRO·S eliminiert den Wasseranteil des Untergrundes im Signal und ermöglicht so ein schnelles Erreichen eines niedrigen Untergrundes für hohe Sensitivität.
  • Der UL3000 Fab ULTRA bietet auch eine verbesserte Schnüffelfähigkeit durch die Verwendung der bewährten Schnüffelleitung SL3000, die bis zu 10 m lang bestellt werden kann. Die SL3000 hat einen separaten Anschluss, so dass keine Verbindung zum Vakuumeinlass erforderlich ist.


Ihre Prozessausrüstung bleibt während der Dichtheitsprüfung frei von Verunreinigungen.

Alle Lecks werden zuverlässig erkannt. Nach der Wartung wird der zeitintensive Druckanstiegstest sicher bestanden.

Das Helium-Dichtheitsprüfgerät UL3000 Fab ULTRA ist für alle Anwendungen konzipiert, bei denen es auf Robustheit und höchste Reinheit ankommt, wie zum Beispiel bei Wartungs- oder Produktionsvorgängen von Halbleiterproduktionsanlagen in Reinräumen.

Vorteile

  • Sparen Sie Zeit mit I-CAL, dem Software-Algorithmus für schnelle Messungen im Bereich von 10-9 bis 10-12 mbar-l/s
  • Effizienteste Dichtheitsprüfung mit I-ZERO 2.0 der verbesserter intelligente Abzug des Untergrundsignals für höhere Messempfindlichkeit
  • Anwendbar für Vakuum- und Schnüffellecksuche
  • Minimieren Sie den Aufwand für die Dichtheitsprüfung durch schnelle Evakuierung und Ansprechzeit
  • Zeitersparnis durch leichte Manövrierbarkeit durch schlankes Design
  • Niedrige Gesamtbetriebskosten (TCO) durch robuste Ionenquelle (3 Jahre Garantie) und Gegenstrom-Vakuumsystem
  • Benutzerfreundliches, bedienergeführtes HMI mit drehbarem, hochauflösendem Farbdisplay
  • UL3000 Fab ULTRA: Schnellerer Beginn mit der Dichtheitsprüfung: HYDRO·S eliminiert den Wasseranteil des Untergrundes im Signal und ermöglicht so ein schnelles Erreichen eines niedrigen Untergrundes für hohe Sensitivität.
  • UL3000 Fab ULTRA: Schnelle Abpumpzeiten durch größeres Saugvermögen der Klauenpumpe
  • UL3000 Fab ULTRA: Reduzierte Betriebskosten (TCO) durch die zuverlässige Klauenpumpe
  • Der UL3000 Fab ULTRA bietet auch eine verbesserte Schnüffelfähigkeit durch die Verwendung der bewährten Schnüffelleitung SL3000, die bis zu 10 m lang bestellt werden kann. Die SL3000 hat einen separaten Anschluss, so dass keine Verbindung zum Vakuumeinlass erforderlich ist.

Typische Anwendungen

  • Halbleiterfertigung
  • Display/Bildschirmherstellung
  • Solarzellenproduktion
  • Glas und Folien (Rolle zu Rolle) Beschichtungen
  • Vakuumbeschichtungsanlagen und -anwendungen

Spezifikationen

UL3000 Fab
UL3000 Fab ULTRA
Max. Luftsaugvermögen (Abpumpen) der Vorpumpem³/h>30
Helium Saugvermögen ULTRA ModusL/s4
Abmessungen (LxWxH)mm
in.
1050x472x987
42x21x34
Zusatzeigenschaften UL3000 Fab ULTRARoots dry pump with highest air pumping speed, HYDRO·S, separate sniffer line port for SL3000, vacuum hose holder
Max. Luftsaugvermögen (Abpumpen) der Vorpumpem³/h>36
Helium Saugvermögen ULTRA ModusL/s4
Abmessungen (LxWxH)mm
in.
1050x472x987
42x21x34
Zusatzeigenschaften UL3000 Fab ULTRARoots dry pump with highest air pumping speed, HYDRO·S, separate sniffer line port for SL3000, vacuum hose holder
Artikelnummern
Zubehör
Verbrauchsmaterialien
ArtikelnummerBeschreibung
550-260UL3000 Fab ULTRA
550-200UL3000 Fab
ArtikelnummerBeschreibung
551-010Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable
551-202Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version)
525-001SL3000-3, sniffer line 3 m length
525-002SL3000-5, sniffer line 5 m length
525-003SL3000-10, sniffer line 10 m length
551-203Bracket for SL3000
551-210SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000
551-201Helium Bottle Holder
560-310I/O 1000 module
560-315BM1000 Profibus module
560-316BM1000 PROFINET IO module
560-317BM1000 DeviceNet module
560-318BM1000 Ethernet/IP module
560-334Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m
560-332Data Cable 2 m
560-335Data Cable 5 m
560-340Data Cable 10 m
551-005TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-205extension cable for TC1000/SL200, UL3000
ArtikelnummerBeschreibung
200007656Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation

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