Wir stellen vor: Trigon®

Die neueste Präzisions-Vakuummesslösung.

BPG552-Trigon

Sind Sie auf der Suche nach einer bahnbrechenden Vakuummesslösung für Ihre anspruchsvollen Anwendungen? INFICON präsentiert stolz die Trigon® Messgeräteserie, das BAG (SingleGauge), BPG (DualGauge), and BCG (TripleGauge®) - ein technologisches Wunderwerk, das neue Maßstäbe in Bezug auf Präzision, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit für eine breite Palette von Vakuummessanwendungen setzt. Mit dem Fokus auf Ihre individuellen Bedürfnisse ermöglicht Trigon® Ihnen, außergewöhnliche Ergebnisse in einer Vielzahl von Anwendungen in verschiedenen Branchen zu erzielen.

Trigon™ Innenseite Cut
Trigon™ Innenseite Cut

Wichtigste Eigenschaften und Funktionalitäten

Das Herzstück von Trigon® ist ein Bayard-Alpert Heißionenmessgerät, das sich durch seine hervorragenden Eigenschaften bei Vakuum-Messungen auszeichnet. Trigon® wurde für Anwendungen entwickelt, die Vakuummessungen im Hochvakuumbereich von 5 x 10-10 bis 2 x 10-2 mbar erfordern, und bietet eine hohe Genauigkeit.

  • Zuverlässige Doppelfilamente: Trigon® verfügt über ein duales Filamentsystem, das nicht nur überragende Genauigkeit, sondern auch unübertroffene Wiederholbarkeit und Langlebigkeit garantiert. Bei anspruchsvollen Anwendungen wie der Halbleiterfertigung sorgt diese Redundanz für einen unterbrechungsfreien Betrieb.
     
  • Gesicherte Stabilität: Galvanisch isolierte Elektronik: Verabschieden Sie sich von elektrischen Streuströmen. Trigon® verfügt über eine galvanisch isolierte Elektronik, die für eine stabile Leistung sorgt und somit perfekt für komplexe Vakuumsysteme in verschiedenen Branchen geeignet ist.
     
  • Reibungsloser Betrieb: Sliding Emission Mode: Drucksprünge und Einfrieren beim Wechsel des Emissionsstroms gehören der Vergangenheit an. Trigon® führt einen gleitenden Emissionsmodus ein, der einen nahtlosen und stabilen Betrieb gewährleistet.
     
  • Langlebig: Erweiterte Ausheizbarkeit: Mit herausnehmbaren Kalibrierungsdatenchips bietet Trigon® eine verlängerte Ausheizbarkeit, so dass es auch heißeren Heizbedingungen standhalten kann.
     
  • Benutzerfreundliche Schnittstelle: Helles OLED-Display: Das große, helle OLED-Display des Trigon® kann zum einfachen Ablesen und Konfigurieren um 90 Grad gedreht werden. Die benutzerfreundliche Oberfläche vereinfacht die Bedienung und Anpassung des Messgeräts.
     
  • Einfacher Anschluss: Vielseitige Schnittstellen: Trigon® bietet flexible Konnektivitätsoptionen durch Analogausgang, serielle RS232C-Schnittstelle und EtherCAT®-Feldbus, wodurch die Integration in verschiedene Vakuumsysteme mühelos möglich ist.
     
  • Nahtlose Integration: Kompatibilität mit der VGC50x Controller-Serie: Trigon® arbeitet nahtlos mit INFICONs Vakuummessgerät-Controller-Serie zusammen und gewährleistet so eine vollständig integrierte Lösung für Ihre Vakuummessanforderungen.
     
  • Umweltfreundliche Herstellung: RoHS-Konformität: Trigon® erfüllt die RoHS-Standards und unterstreicht damit INFICONs Engagement für eine umweltfreundliche Herstellung.

Anwendungen, die Vorteile bringen

  • Druckmessung in Halbleiterprozessen: Trigon® gewährleistet Genauigkeit und Wiederholbarkeit in der Halbleiterfertigung, eine entscheidende Voraussetzung für Spitzentechnologie.
     
  • Industrielle Beschichtung: Branchen, die unter schwierigen Bedingungen arbeiten, werden die Haltbarkeit und Zuverlässigkeit von Trigon® in stark beanspruchten Umgebungen zu schätzen wissen.
     
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung: Trigon® passt sich mit seiner Vielseitigkeit an ein breites Spektrum von Anwendungen an, die eine Vakuummessung und -regelung in Hoch- bis Ultrahochvakuumumgebungen erfordern. Und wenn zusätzlich ein überdurchschnittlich genaues Messergebnis im ATM-Bereich benötigt wird, ist das Trigon® TripleGauge® bestens geeignet, um die Aufgabe zu erfüllen.
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