Vorher und nachher: Wie SMART-Spray Ihren Prozess der Lecksuche verändert
Von sperriger Ausrüstung zu drahtloser Effizienz – entdecken Sie eine schnellere, sicherere und präzisere Methode zur Durchführung von Dichtheitsprüfungen in der Halbleiterfertigung

Dichtheitsprüfung in der Halbleiterfertigung
Die Lecksuche ist für die Qualitätskontrolle in der Halbleiterfertigung von entscheidender Bedeutung – muss aber nicht umständlich sein. Bei der herkömmlichen Helium-Lecksuche muss man oft mit großen Zylindern hantieren, lange Schläuche handhaben und komplexe Geräte bedienen. Diese Herausforderungen verlangsamen nicht nur den Lecksuchprozess, sondern erhöhen auch das Fehler- und Sicherheitsrisiko
Hier kommt SMART-Spray von INFICON ins Spiel: Diese kabellose, mobile Helium-Sprühpistole verändert die Spielregeln – sie verbessert die Effizienz, Geschwindigkeit, Genauigkeit und den Bedienkomfort bei der Dichtheitsprüfung. Aber wie groß ist der Unterschied? Schauen wir uns die Helium-Dichtheitsprüfung mit und ohne SMART-Spray genauer an.


Lecksuche: Traditionell vs. SMART-Spray
Vor SMART-Spray:
🚫 Sperrige Heliumflaschen, die schwer zu manövrieren sind
🚫 Lange, verhedderte Leitungen, die die Mobilität einschränken und die Stolpergefahr erhöhen
🚫 Manuelle Sprühanpassungen, die anfällig für Benutzerfehler sind
🚫 Zeitaufwendige Einrichtung für die Halbleiter-Lecksuche und begrenzte Reichweite zu allen Testpunkten
🚫 Fernbedienung erforderlich, um die Leckrate abzulesen, wo gesprüht wird
Bediener müssen sich oft in engen Räumen innerhalb komplexer und großer Geräte zurechtfinden und dabei versuchen, die Präzision aufrechtzuerhalten – eine schwierige Kombination, die zu Ineffizienz und potenziellen Sicherheitsrisiken führt.
Nach SMART-Spray:
✅ Kabellos und mobil: Bewegen Sie sich frei, ohne an Leitungen oder Zylinder gebunden zu sein
✅ Präzision auf Knopfdruck: Wählen Sie aus 4 verschiedenen voreingestellten Helium-Durchflusseinstellungen direkt am Gerät für konsistente Dichtheitsprüfungsergebnisse
✅ Echtzeitdaten: Das integrierte Display zeigt Leckraten und Gerätestatus auf einen Blick an
✅ Erhöhte Sicherheit: Keine Schläuche oder Leitungen auf dem Boden bedeuten weniger Stolperfallen
✅ Mehr Platz: Durch den Wegfall der Heliumflasche wird Platz für andere Arbeiten gewonnen
✅ Längere Nutzungsdauer: Nachfüllbare, austauschbare Heliumkartuschen (HeliCan) und wiederaufladbare/austauschbare Batterien gewährleisten eine nahtlose Dichtheitsprüfung
Durch die Beseitigung der physischen und logistischen Probleme der herkömmlichen Lecksuche ermöglicht SMART-Spray schnellere und genauere Lecktests. Bediener können nun schwer zugängliche Bereiche erreichen, ohne sich mit der Ausrüstung abmühen zu müssen, wodurch sowohl die Testzeit als auch die Ermüdung des Bedieners reduziert werden.
Wechseln Sie von umständlich zu bequem – erleben Sie noch heute den Unterschied von SMART-Spray! Fordern Sie ein Vorführgerät an!
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Warum dieser Unterschied so wichtig ist:
In der Halbleiterfertigung, wo die Schwellenwerte für Leckraten bei bis zu 1 x 10⁻⁹ mbar·L/s liegen können, ist Genauigkeit unabdingbar. SMART-Spray stellt sicher, dass Bediener Lecktests schnell und zuverlässig durchführen können – selbst in komplexen Systemen mit zahlreichen Testpunkten.
Und es geht nicht nur um Geschwindigkeit, sondern auch um Sicherheit, Effizienz und Benutzerfreundlichkeit. Mit weniger beweglichen Teilen und einem vereinfachten Leckprüfverfahren minimiert SMART-Spray sowohl die körperliche Belastung als auch das Risiko von Bedienungsfehlern.


Weitere Informationen finden Sie auf unserer SMART-Spray Produktseite.
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