薄膜沉积
重新设置过滤器以获得结果。
在严苛的应用中达到最高的稳定性
- 精确
- 可靠
- 稳定
- 提供各种电极材料
INFICON ALD 传感器将石英晶体微天平（QCM）测量的可重复性、精确性和耐用性带入原子层沉积 (ALD)。
- 工作温度高达 450°C
- 气体吹扫管路可防止晶体背面出现沉积材料
- 焊接式 Conflat 法兰 (CF40) 选件
- O 形密封环压缩接头选件
炫酷抽屉双传感器设计用于在真空室中需要第二晶体的关键过程。
- 双晶体
- 炫酷抽屉晶体支架
- 无内部电缆
- 晶体闸
炫酷抽屉单传感器允许晶体从侧面安装到传感器中，为没有足够的空间从前面安装晶体的系统提供了便利。
- 无内部电缆
- 炫酷抽屉晶体支架
- 易于安装
- 在配有焊接式 CF40 法兰时可烘烤
INFICON Crystal 12 传感器与INFICON IC6 薄膜沉积控制器结合使用时，可自动更换其晶体，而无需中断过程。
- 装有 12 颗晶体，可进行可靠的自动转换，从而最大限度延长过程运行时间
- 易于拆卸的旋转传送带允许快速更换所有 12 颗晶体
- 晶体转换由空气驱动完成（竞争产品是使用生热电机），因而晶体温度非常稳定
- 易于拆卸的前沉积罩保护晶体和旋转传送带上不会积存材料，从而最大限度减少拆卸整个传感器以进行维护的必要性
NFICON CrystalSix 晶体对于要求连续监控速率的长时间过程非常重要。
- 装有 6 颗晶体，可进行可靠的自动转换，从而最大限度延长过程运行时间
- 晶体转换由空气驱动完成（竞争产品是使用生热电机），因而晶体温度非常稳定
- 1/8" 管保持热稳定性，并提供传感器放置的灵活性
- 提供可选晶体闸
OLED 应用程序提供最佳测量精度
- NFICON ModeLock 技术确保获得最高、最稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
- Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
- 一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制最多 6 个来源，无需使用两个或三个控制器
- 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
经济型双传感器为一个晶体可能不够的 QCM 应用提供简单并且廉价的解决方案。
- 双晶体
- 物有所值
- 薄型设计
- 包括晶体闸
INFICON 提供各种石英晶体监测仪 (QCM) 传感器馈入件，以适应经济型传感器。
- 2.54 cm (1 in.) bolt or CF40 (2.75 in. ConFlat®) styles available
- Available with bored-through tube fittings
经济型单传感器可使产出达到最高，同时最大限度地降低成本
- Minimum investment with lowest upfront cost
- Lowest total cost of ownership from extended sensor life
- Maximum throughput with less maintenance
- Easy installation
INFICON 前装式双晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。
- 双晶体
- 晶体闸
- 前装式晶体支架
- 易于安装
INFICON 前装式单晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。
- 前装式晶体支架
- 易于安装
- 随附 2.54 cm (1 in.) 螺栓馈入装置 / CF40 馈入装置
- 在配有压缩接头时可调长度
CIGS 薄膜的理想之选
- 监控和控制多达 8 种材料的同时沉积过程
- 从 0.1 至 10,000 Å/s 的沉积速率
- 集成式 EIES 和 QCM 薄膜过程控制
- 12 个继电器输出和 12 个数字输入
Provides exceptional value by combining the best performance, quality, and features of any other quartz crystal controller
- INFICON ModeLock technology ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
- Auto Z improves thickness accuracy by automatically determining the Z-ratio as material is deposited
- Codeposition of up to six sources simultaneously
- USB data storage for screen shots, recipe storage, and data logging
Compact deposition monitor built with ModeLock technology to maximize reproducibility and uniformity with the highest thickness accuracy, best measurement resolution, and lowest rate noise
- INFICON ModeLock technology provides the longest crystal life and ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
- Maximize yield with the best QCM thickness measurement possible
- Single channel rate and thickness monitor without unnecessary added features to compact size and minimize cost
- EtherCAT communications for seamless integration
Compact deposition monitor built with ModeLock technology to maximize reproducibility and uniformity with the highest thickness accuracy, best measurement resolution, and lowest rate noise
- INFICON ModeLock technology provides the longest crystal life and ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
- Maximize yield with the best QCM thickness measurement possible
- Single channel rate and thickness monitor without unnecessary added features to compact size and minimize cost
- Ethernet communications for seamless integration
在 PCI EXPRESS 卡上实现低成本沉积控制
- PCI Express
- 三个传感器输入，三个控制输出
- 在 PC 中安装多个卡
- 多源共沉积
INFICON 提供各种石英晶体监测仪 (QCM) 传感器馈入件，以适应多种 QCM 传感器和腔室配置。CF40 (2.75 in. ConFlat®) 和 2.54 cm (1 in.) 螺栓式馈入件提供电气连接、水冷却和空气管的各种组合。
- 提供 2.54 厘米（1 英寸）螺栓或 CF40（2.75 英寸 ConFlat®）款式
- 可用的 Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头
- 提供自定义馈入件配置
- 根据要求可提供其他馈入件款式
INFICON 晶体 100% 通过精度和可靠性测试
- 5 和 6 MHz
- 金、银（用于高热负荷过程）和减压合金（用于电介质材料和半导体过程的光学涂膜）
- 三种方便的封装选择 – 洁净室兼容包装、平板包装和紧凑型包装
- 根据您要求的尺寸和频率定制的晶体
在要求苛刻的应用中表现卓越的晶体性能
- 六颗晶体
- 位置反馈（视控制器而定）
- 可调长度（带可选法兰）
- 坚固耐用的设计
SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入，另外四个传感器输入为可选输入。
- 两个标准测量通道，另外四个可选
- 模拟输出便于记录速率/厚度
- 高分辨率选件：0.03 Hz，10 读数/秒
- RS-232 标准接口，可选择连接 USB 或以太网
STM-2 将 USB 连接的简单与精密测量引擎的精度相结合，在一个结构紧凑、价格便宜的封装内实现所有功能。STM-2 小巧、简单，方便安装和操作。
- 低成本仪器
- USB 连接
- 内部振荡器
- 每秒 10 次测量时的高精度
STM-2XM 是一款双通道速率/厚度监测仪，它将高精度与灵活编程相结合，易于操作，价格实惠。
- 两条测量通道
- 用于速率、速率偏差或厚度的四个模拟输出
- 八个可编程的数字输入
- 八个可编程的数字输出
real-Time, in situ process monitoring, prevent over-etching, identify chamber clean end point
- Real-Time, in situ process monitoring
- Prevent over-etching, identify chamber clean end point
- Identify equipment or process state fault
SemiQCM™ SR sensor is one component of a system for precursor monitoring with the other components being an IMM-200 and FabGuard (version 19.12.00-a or higher).
- Real-Time, in situ process monitoring
- Prevent over-etching, identify chamber clean end point
- Identify equipment or process state fault
INFICON 溅射传感器专为各种溅射过程而设计。
- 镀金铍铜传感器体和冷却管可实现最佳冷却效果
- 磁铁可偏转自由电子，使其远离监控器晶体
- 利用可弯曲的水管轻松安装，灵活放置传感器
- 后装式晶体插入便于更换晶体
INFICON UHV 可烘烤晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。
- 高温铜焊和焊接结构
- 烘烤温度高达 450℃
- 晶体闸（选件）
- 前装式晶体支架
先进的、经济实惠的单层或多层速率控制
- 提供有单层和多层型号
- 专利 ModeLock 技术可避免跳模引起的薄膜厚度误差
- 支持 INFICON Crystal 12®、Crystal Six® 及双传感器自动晶体转换，从而最大化生产力
- XTC/3M 多层型号最多支持 99 个过程、999 层薄膜、32 种薄膜材料、2 个传感器和两种源