传感器与馈通装置
RSH-800旋转式传感器
持续沉积监测，最大化运行时间，满足最严苛的应用需求。
延长PVD工艺需要设备在运行全程保持稳定、精准和可靠。不稳定的速率控制会导致良率损失、均匀性下降及宝贵生产时间的浪费。
INFICON RSH‑800旋转式传感器头专为必须不间断完成的长周期沉积工艺设计。其专为严苛环境下的连续监测而打造，助力高要求工艺从始至终保持稳定与一致性。
专为严苛工艺设计
延长PVD运行将设备推向极限。高温、厚膜沉积、精密多层涂层及长周期运行，均需承受高压而不失效的可靠监测。
RSH‑800采用先进六晶体技术，可在严苛条件下稳定运行。其水冷式热屏蔽外壳可在高达300摄氏度环境中保持稳定，确保沉积全周期测量精度。
保持稳定监测
可靠的厚度测量对薄膜均匀性和可预测性能至关重要。RSH‑800采用专为维持长周期镀膜过程中沉积速率稳定而设计的技术，即使在温度变化且沉积厚度持续增加的应用场景中，也能提供持续稳定的信号。
热屏蔽外壳有效消除热冲击，确保整个工艺流程的测量精度。
快速维护与高运行时间设计
RSH‑800采用便于现场快速维护的设计，保障生产持续运行。晶体更换流程简便，包装设计优化了安装操作。
气动分度系统实现晶体平滑进给，集成反馈选项使系统轻松追踪晶体位置。
优势概览
- 卓越质量工程设计保障更高良率与薄膜精度
- 延长运行时间提升生产效率
- 快速晶片更换增强吞吐量
- 位置反馈优化薄膜性能
- 简易现场操作安装节省时间
- 全球应用技术支持助力工艺优化
腔体集成灵活配置
每套真空系统均存在独特几何结构与限制条件。RSH‑800可通过多种安装选项轻松适配，包括采用O型圈馈通或CF63法兰的顶部安装用平头配置。可调节法兰盘类型可将传感器精确定位于腔室内所需位置。
规格参数
| 晶体数量 | 六 |
| 晶体尺寸 | 14毫米（0.550英寸）直径 |
| 安装孔径 | 50.8毫米（2.0英寸）直径 |
| 功率要求 | 24伏直流电磁阀 21.6–26.4伏直流，40毫安 |
| 115 V（交流）电磁阀 90–132 V（交流），36/32 mA 均方根值（50/60 Hz） | |
| 晶体切换方式 | 气动驱动 @ 55 psi（4 kg/cm2）恒压 |
| 冷却方式 | 水冷 @ 5 L/m 流量，2 kg/cm2（28 psi）压力（严禁结冰） |
| 空气与水连接 | 1个6毫米（0.25英寸）气源快速接头，2个1/8英寸水源压缩接头 |
| 无水状态下最高烘烤温度 | 130°C |
| 工作温度 | 水冷加不锈钢顶盖时最高300°C |
| 重量 | 3.8千克（8.5磅），随整体长度变化 |
| 材料 | 304不锈钢、PEEK、铍镍合金 |
备件
备件
法兰盘类型
| 零件编号 | 描述 |
| 784-553-G1S | 弹簧固定器组件——平面型 |
| 031-0214S | 24V（直流）电磁阀组件 |
| 031-0215S | 115V（交流）电磁阀组件 |
| 784-544-G1S | 晶体固定器组件，平面型 |
| 070-2266S | 平面晶体固定器固定螺钉 |
| 784-501-P1S | 晶体支架，平面型 |
| 784-545-P1S | 不锈钢盖板 |
| 784-554-G1S | 信号支撑组件 |
| 784-555-G1S | 弹簧固定器触点套件——平面型（六件套） |
| 784-524-P1S | 弹簧固定器触点 |
| 784-552-G1S | 晶体固定器组件用弹簧触点 |
| 051-2558S | 7针公头连接器 |
| 070-2324S | 轴及微点6毫米直径O型圈 |
| 784-542-P1S | 200毫米（7.9英寸）信号线组件 |
| 784-542-P2S | 350毫米（13.8英寸）信号线组件 |
| 784-542-P3S | 450 毫米（17.7 英寸）信号线组件 |
| 784-542-P4S | 540 毫米（21.3 英寸）信号线组件 |
| 784-542-P5S | 650 毫米（25.6 英寸）信号线组件 |
| 784-506-G1S | 电阻网 |
| 059-0857S | 执行器空气接头 |
| 059-0856S | 电磁阀空气接头 |
| 069-0201S | 6 毫米空气软管 |
| 059-0859S | 水接头 |
| 070-2326S | 可调法兰 O 形圈 |
| 784-556-G1S | 微动开关线束组件 |
| 零件编号 | 描述 |
| 784-600-G1S | 可调法兰，圆形 |
| 784-600-G2S | 可调法兰，CF63 |
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784-600-G1S - Adjustable Flange, Round (Outline Model rev. A)
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RSH-03X0XX - RSH-800, 540 mm length, SS Flat Head, Round Flange (Outline Model rev. A)
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RSH-02X0XX - RSH-800, 450 mm length, SS Flat Head, Round Flange (Outline Model rev. A)
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RSH-02X1XX - RSH-800, 450 mm length, SS Flat Head, CF63 Flange (Outline Model rev. A)
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RSH-04X0XX - RSH-800, 650 mm length, SS Flat Head, Round Flange (Outline Model rev. A)
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RSH-01X0XX - RSH-800, 350 mm length, SS Flat Head, Round Flange (Outline Model rev. A)
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RSH-01X1XX - RSH-800, 350 mm length, SS Flat Head, CF63 Flange (Outline Model rev. A)
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RSH-04X1XX - RSH-800, 650 mm length, SS Flat Head, CF63 Flange (Outline Model rev. A)
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RSH-00X0XX - RSH-800, 200 mm length, SS Flat Head, Round Flange (Outline Model rev. A)
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RSH-00X1XX - RSH-800, 200 mm length, SS Flat Head, CF63 Flange (Outline Model rev. A)
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RSH-03X1XX - RSH-800, 540 mm length, SS Flat Head, CF63 Flange (Outline Model rev. A)
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