A 型传感器
自动晶体切换最大限度地缩短了生产时间
与 OLED 工艺相关的低密度材料和低沉积速率要求薄膜沉积控制器和传感器具有极高的精度和可靠性。为了保持速率和厚度精度，必须进行持续的速率控制。
A 型传感器有 5 晶体、10 晶体或 12 晶体沉积监控器传感器可供选择。
为尽量减少停机时间，可将晶体预装到第二个可选的转盘中，然后快速、轻松地与装有用完晶体的转盘交换，从而尽量减少系统的开放时间。
如果将电动晶体传感器与 INFICON Cygnus® 2 薄膜沉积控制器配合使用，您将从该系统中获得最大的收益。Cygnus 2 是唯一一款专为 OLED 制造而设计的薄膜控制器。可同时、独立或任意组合控制多达六个源，因此用户可以最大限度地提高最复杂、最苛刻和最独特的 OLED 应用的产量。
优势
- 通过稳健的自动切换功能保持晶体，最大限度地延长工艺正常运行时间
- 同类产品中体积最小
- 易于拆卸的转盘可快速更换所有晶体
- 前部沉积防护罩可保护晶体和转盘，防止材料堆积；易于拆卸，最大限度地减少了拆卸整个传感器进行维护的需要
- 步进电机可对晶体进行精确的位置控制
- 包括旋转木马和菜刀的电机驱动器
规格
| 最高工作环境温度 | 250°C (旋转盖处) |
| 运行电机的电源电压 | 24 V (DC) (包括用于旋转木马和斩波器的步进电机驱动器) |
| 水流 | Ø6 毫米聚四氟乙烯管，最小 1.0–1.5 升/分钟， 平均温度 |
| 气流 | Ø6 毫米聚四氟乙烯管，最小 0.2–0.5 兆帕 |
