박막 증착 기술
인피콘의 박막 증착 솔루션은 고정밀 제조 공정에 필수적인 초박막 재료 층 생성을 정밀하게 제어할 수 있습니다. 당사의 도구는 실시간 피드백을 제공하여 산업 전반의 효율성과 제품 품질을 모두 향상시킵니다.
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반복성 극대화 및 탁월한 수정 효율을 위한 정밀 제어
- 모드락 측정 시스템을 사용하여 최고의 두께 정확도, 최고의 측정 해상도 및 최저 속도 노이즈로 재현성과 균일성을 극대화합니다.
- 모드 잠금(가장 긴 사용 가능한 크리스탈 수명)으로 크리스탈 소모품 비용을 낮추면서 실행 가능한 횟수를 최대화합니다.
- 이전 버전과의 호환성, 로직, 단일 컨트롤러로 단일 프로세스 중에 여러 소스를 동시에 실행하는 옵션 기능으로 통합 비용을 최소화하고 통합 속도를 극대화할 수 있습니다.
- 전 세계 전문가 어플리케이션 지원을 통해 개발 위험 최소화 및 시스템 성능 최적화
Provides exceptional value by combining the best performance, quality, and features of any other quartz crystal controller
- INFICON ModeLock technology ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
- Auto Z improves thickness accuracy by automatically determining the Z-ratio as material is deposited
- Codeposition of up to six sources simultaneously
- USB data storage for screen shots, recipe storage, and data logging
Cygnus 2 박막 증착 컨트롤러는 OLED 공정을 최대한 활용할 수 있는 고유한 기능들과 INFICON 박막 컨트롤러의 입증된 성능을 결합하여 탁월한 가치를 제공합니다
- INFICON ModeLock 기술은 매우 낮은 속도에서도 가장 안정적이고 가장 높은 해상도의 속도 및 두께 측정 가능
- Auto Z 기능은 재료가 증착됨에 따라 Z 비율을 자동으로 결정하여 두께 정확도를 향상시킴
- 최대 6개의 소스를 독립적으로 또는 1개의 Cygnus 2와 결합하여 동시에 제어할 수 있어 2개 또는 3개의 컨트롤러를 대신할 수 있음
- 컬러 TFT LCD 디스플레이로 공정 진행 상황을 쉽게 볼 수 있음
자동 크리스탈 전환으로 생산 시간 극대화
- 공정 가동 시간 극대화
- 컴팩트한 크기
- 제거하기 쉬운 캐러셀로 신속한 크리스탈 교체 가능
- 전면 증착 쉴드로 보호 제공
- 정밀한 위치 제어
크리스탈의 품질과 수명은 속도와 두께 측정의 정확성뿐만 아니라 제어되는 공정의 성공적인 완료에도 중요한 영향을 미칩니다
- 5 MHz 및 6 MHz
- 금, 은(열 부하가 높은 공정용), 응력 감소 합금(유전체 재료를 이용한 광학 코팅 및 반도체 공정용)
- 3가지 편리한 포장 옵션 -- 청정실 규격 디스펜서, 플랫 팩 디스펜서, 소형 박스
- 고객의 특정 크기 및 주파수에 따라 생산된 맞춤 크리스탈
Compact deposition monitor built with ModeLock technology to maximize reproducibility and uniformity with the highest thickness accuracy, best measurement resolution, and lowest rate noise
- INFICON ModeLock technology provides the longest crystal life and ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
- Maximize yield with the best QCM thickness measurement possible
- Single channel rate and thickness monitor without unnecessary added features to compact size and minimize cost
- Ethernet communications for seamless integration
Compact deposition monitor built with ModeLock technology to maximize reproducibility and uniformity with the highest thickness accuracy, best measurement resolution, and lowest rate noise
- INFICON ModeLock technology provides the longest crystal life and ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
- Maximize yield with the best QCM thickness measurement possible
- Single channel rate and thickness monitor without unnecessary added features to compact size and minimize cost
- EtherCAT communications for seamless integration
INFICON 전면 장착 싱글 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다
- 전면 장착 크리스탈 홀더
- 쉬운 설치
- 2.54cm(1인치) 볼트 피드스루/CF40 피드스루와 함께 사용
- 압축 피팅과 함께 주문한 경우 조정 가능한 길이
INFICON 전면 장착 듀얼 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다
- 듀얼 크리스털
- 크리스탈 셔터
- 전면 장착 크리스탈 홀더
- 쉬운 설치
SQM-160은 입증된 INFICON 석영 크리스탈 센서 기술을 사용하여 박막 증착 공정의 속도와 두께를 측정합니다
- 2개의 측정 채널이 표준으로 제공되고 4개의 채널을 옵션으로 추가할 수 있음
- 속도/두께 기록을 위한 아날로그 출력
- 고해상도 옵션: 10개 판독값/초에서 0.03 Hz
- RS-232 표준, USB 또는 이더넷 옵션
STM-2는 USB 연결의 간편성을 정밀 측정 엔진의 정확도와 결합하여 작지만 비싸지 않은 패키지로 제공합니다
- 저렴한 기기
- USB 연결
- 내부 오실레이터
- 초당 10회 측정 시 높은 정확도
INFICON Crystal 12 센서는 INFICON IC6 박막 증착 컨트롤러와 함께 사용할 경우 공정을 중단하지 않고도 크리스탈을 자동으로 교체합니다
- 안정적인 자동 전환 기능으로 12개의 크리스탈을 사용하여 공정 가동 시간을 극대화함
- 제거하기 쉬운 캐러셀로 12개의 크리스탈 모두를 빠르게 교체할 수 있음
- 공압 방식으로 크리스탈을 전환하므로 크리스탈 온도가 안정적임(경쟁 제품은 발열 모터 사용)
- 제거하기 쉬운 전면 증착 실드는 재료 축적으로부터 크리스탈과 캐러셀을 보호하여 유지보수를 위해 전체 센서를 제거할 필요성을 줄여줌
단층 또는 다층 공정을 위한 박막 증착 컨트롤러에서 원하는 모든 것을 이제 얻을 수 있습니다
- 단층 또는 다층 모델로 제공
- 모드 호핑으로 발생하는 막 두께 오류를 방지하는 특허 받은 ModeLock 기술
- INFICON Crystal 12®, Crystal Six® 및 듀얼 센서 자동 크리스탈 전환 지원으로 생산성 극대화
- XTC/3M 다층 모델은 최대 99개의 공정, 999개의 층, 32개의 막, 2개의 센서 및 2개의 소스 지원
매우 정확한 시퀀스 또는 코드포지션 제어
- 밝은 컬러 LCD 디스플레이 - 영어 또는 중국어로 제공
- 표준 RS-232 및 USB(RS-232 및 이더넷 옵션)
- "빠른 설정" 메뉴, 상황에 맞는 6개의 푸시 버튼, 편리한 파라미터 설정 노브를 통한 간편한 설정 및 작동
- 프로세스 개발, 테스트 및 다운로드, 프로세스 분석 및 품질 관리를 위해 계측기 데이터를 PC에 로깅할 수 있는 Windows® 프로그램
IQM-233 PCI Express 카드는 사용자의 PC를 박막 증착 컨트롤러로 변화시킵니다
- PCI Express, PC에 여러 카드 설치
- 카드당 3개의 센서 입력, 3개의 제어 출력
- 손쉬운 PLC 통합을 통한 I/O 기능 추가
- 여러 소스의 공동 배치
INFICON CrystalSix 센서는 지속적인 속도 제어가 요구되는 긴 공정에서 중요합니다
- Holds 6 crystals with robust, automatic switching to maximize process uptime
- Stable crystal temperature, because crystal switching is pneumatically-driven (competitive units use heat-generating motors)
- 1/8" tubes maintain thermal stability and allow flexibility in sensor placement
- Optional crystal shutter available
INFICON은 다양한 QCM(Quartz Crystal Monitor) 센서 피드스루를 제공하여 많은 QCM 센서와 챔버 구성을 수용합니다
- 2.54cm(1인치) 볼트 또는 CF40(2.75인치 ConFlat®) 스타일 사용 가능
- 사용 가능한 Ultra-Torr O-링 압축 피팅
- 사용자 지정 피드스루 구성 사용 가능
- 요청 시 기타 피드스루 스타일 사용 가능
Cool Drawer 싱글 센서를 사용하면 측면 센서에 크리스탈을 설치할 수 있어 전면 크리스탈 설치 공간이 부족한 시스템에 편리합니다
- 내부 케이블 없음
- Cool Drawer 크리스탈 홀더
- 쉬운 설치
- 용접된 CF40 플랜지와 함께 주문할 경우 베이크 가능
Cool Drawer 듀얼 센서는 진공 챔버에 두 번째 크리스탈이 있는 것이 바람직한 중요한 공정에 사용하도록 설계되어 있습니다
- Dual crystals
- Cool Drawer crystal holder
- No internal cables
- Crystal shutter
Easy Rate 싱글 센서는 비용을 최소화하면서 생산을 극대화할 수 있습니다
- Minimum investment with lowest upfront cost
- Lowest total cost of ownership from extended sensor life
- Maximum throughput with less maintenance
- Easy installation
Easy Rate 듀얼 센서는 한 개의 크리스탈로 충분하지 않을 수 있는 QCM 적용개소에 간단하고 경제적인 솔루션을 제공합니다
- 듀얼 크리스털
- 가격
- 로우 프로파일 설계
- 크리스털 셔터 포함
INFICON은 다양한 QCM(Quartz Crystal Monitor) 센서 피드스루를 제공하여 Easy Rate 센서를 수용합니다
- 2.54 cm (1 in.) bolt or CF40 (2.75 in. ConFlat®) styles available
- Available with bored-through tube fittings
RSH-600 회전 센서 헤드는 매우 두꺼운 막과 몇 가지 다른 재료를 사용하는 까다로운 공정을 위해 설계되었습니다
- 6개의 크리스탈
- 위치 피드백(컨트롤러에 따라 다름)
- 조절 가능한 길이(플랜지 옵션 포함)
- 견고한 디자인
INFICON UHV 베이커블 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다
- 고온 납땜 및 용접 구조
- 최고 450°C 베이크아웃 온도
- 크리스탈 셔터(옵션)
- 전면 장착 크리스탈 홀더
INFICON ALD 센서는 QCM(Quartz Crystal Microbalance) 측정의 반복성, 정밀도 및 내구성을 원자층 증착(ALD)까지 가능하게 합니다
- 대부분의 ALD 공정 온도에 사용 가능
- 유지보수를 크게 줄입니다.
- 시스템 가동시간이 극대화됩니다.
- 측정 정확도가 극대화합니다.
INFICON이 개척한 표준 AT판, 1인치(25.4 mm) 직경의 크리스탈은 INFICON RQCM(연구용 석영 크리스탈 마이크로밸런스)과 함께 연구 분야에서 주로 사용됩니다
- 정확함
- 신뢰성
- 안정적
- 다양한 전극 재료 사용 가능
Real-time, in situ process monitoring to prevent over-etching and identify chamber clean endpoint
- QCM data monitored at 10 Hz
- FabGuard correlates QCM data to tool state and process step
- Precise measurement of deposition or etch rates
- Sensitivity & precision for sub-monolayer thickness measurement
SemiQCM® SR sensor is one component of a system for precursor monitoring, with the other components being an IMM-200 and FabGuard (version 19.12.00-a or higher).
- QCM data monitored at 10 Hz
- FabGuard correlates QCM data to tool state and process step
- Precise measurement of deposition or etch rates
- Sensitivity & precision for sub-monolayer thickness measurement
정확한 박막 증착 및 모니터링을 위한 정밀 도구
박막 기술은 정밀 제조 공정에서 매우 중요한 역할을 하며 다양한 표면에 초박막 소재를 증착할 수 있게 해줍니다. 박막 증착에 대한 인피콘의 전문성은 첨단 코팅에 의존하는 산업에 일관되고 신뢰할 수 있는 결과를 보장하는 고정밀 솔루션을 제공합니다. 이러한 공정의 핵심 도구 중 하나는 증착 속도를 모니터링하고 정밀한 재료 레이어링을 보장하는 쿼츠 크리스탈 마이크로밸런스(QCM)입니다.
제조업체는 인피콘의 박막 계측 장비를 사용하여 박막 증착 공정을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 이러한 정밀 측정 도구는 반도체, 광학 및 첨단 재료와 같은 분야에서 매우 중요한 정확성과 일관성을 유지하도록 설계되었습니다. QCM 기술의 통합으로 가장 섬세한 박막도 정확한 표준에 따라 적용될 수 있습니다.
인피콘의 툴 제품군은 박막 증착을 개선할 뿐만 아니라 실시간 피드백을 제공하여 매개변수를 즉시 쉽게 조정할 수 있습니다. 그 결과 효율성이 향상되고 폐기물이 감소하며 제품 품질이 개선되어 박막 기술 솔루션을 발전시키기 위한 당사의 노력이 더욱 확고해집니다.