STM-2 USB 박막 비율/두께 모니터
STM-2는 USB 연결의 간편성을 정밀 측정 엔진의 정확도와 결합하여 작지만 비싸지 않은 패키지로 제공합니다
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
STM-2는 USB 연결의 간편성을 정밀 측정 엔진의 정확도와 결합하여 작지만 비싸지 않은 패키지로 제공합니다. STM-2의 크기와 단순성으로 설치 및 작동이 쉽고 효율적입니다.
뛰어난 성능
STM-2는 업계에서 가장 정확한 USB 전력 공급 방식의 박막 모니터입니다. 초당 10회 측정 동안 측정당 0.037의 해상도(밀도 1)를 얻습니다.
쉽고 유연한 설치
STM-2는 QCM 센서/피드스루를 Windows® PC에 연결하는 데 필요한 모든 요소를 함께 제공합니다. 포함된 BNC 케이블을 피드스루와 STM-2에 간단히 연결한 다음, 표준 미니 USB 케이블(포함됨)을 사용하여 STM-2를 PC에 연결합니다. 외부 오실레이터 또는 전원 공급이 필요하지 않습니다.
STM-2는 STM-2가 1 m(40인치)의 석영 크리스탈 내에 있을 때 간단하고 비용 효율적으로 설치할 수 있는 내부 오실레이터를 제공합니다. 표준 INFICON® 오실레이터 키트는 STM-2를 피드스루에서 멀리 두어야 하는 적용개소에 사용할 수 있습니다.
STM-2 소프트웨어
STM-2는 간단하게 작동하고 데이터를 로깅할 수 있는 LabVIEW® 소프트웨어를 제공합니다. 또한 Windows 소프트웨어는 동시에 최대 8개 STM-2의 작동 및 데이터 로깅이 가능합니다(각 STM-2에는 전력 공급이 가능한 USB 포트가 필요합니다).
주의: STM-2 Windows 응용 프로그램 소프트웨어 또는 STM-2 LabVIEW 응용 프로그램 소프트웨어가 올바르게 작동하려면 SMDP 서버를 설치해야 합니다.
특징
- 저렴한 기기
- USB 연결
- 내부 오실레이터
- 초당 10회 측정 시 높은 정확도
- 외부 오실레이터와 호환 가능
- 소프트웨어 포함
사양서
| 센서 입력 | Female BNC |
| 측정 주파수 범위 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) |
| 두께 및 비율 해상도/측정 | ±0.037 Å @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz |
| 인터페이스 | USB v1.1 or later capable of providing 400 mA, 5 V (dc) |
| 컴퓨터 요구사항 | Any PC running Windows 2000, XP, Vista, 7, or 8 with one available USB 1.1 (or later) port for each STM-2 |
| Part Number | Description |
| STM-2 | STM-2 USB Thin Film Rate/Thickness Monitor |
| Name | Description |
| Front Load Single Sensor | Front Load Single Sensor |
| Cool Drawer Single Sensor | Cool Drawer Single Sensor |
| Low Profile Single Sensor | Low Profile Single Sensor |
| UHV Bakeable Sensor | UHV Bakeable Sensor |
| ALD Sensor | ALD Sensor |
| Sputtering Sensor | Sputtering Sensor |
| Easy Rate Single Sensor | Easy Rate Single Sensor |
| Name | Description |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
