컨트롤러

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966-IC6

Provides exceptional value by combining the best performance, quality, and features of any other quartz crystal controller

INFICON ModeLock technology ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
Auto Z improves thickness accuracy by automatically determining the Z-ratio as material is deposited
Codeposition of up to six sources simultaneously
USB data storage for screen shots, recipe storage, and data logging

960-cygnus

Cygnus 2 박막 증착 컨트롤러는 OLED 공정을 최대한 활용할 수 있는 고유한 기능들과 INFICON 박막 컨트롤러의 입증된 성능을 결합하여 탁월한 가치를 제공합니다

CYGNUS® 2 박막 증착 컨트롤러

INFICON ModeLock 기술은 매우 낮은 속도에서도 가장 안정적이고 가장 높은 해상도의 속도 및 두께 측정 가능
Auto Z 기능은 재료가 증착됨에 따라 Z 비율을 자동으로 결정하여 두께 정확도를 향상시킴
최대 6개의 소스를 독립적으로 또는 1개의 Cygnus 2와 결합하여 동시에 제어할 수 있어 2개 또는 3개의 컨트롤러를 대신할 수 있음
컬러 TFT LCD 디스플레이로 공정 진행 상황을 쉽게 볼 수 있음

972-XTC3M

단층 또는 다층 공정을 위한 박막 증착 컨트롤러에서 원하는 모든 것을 이제 얻을 수 있습니다

XTC/3 박막 증착 컨트롤러

단층 또는 다층 모델로 제공
모드 호핑으로 발생하는 막 두께 오류를 방지하는 특허 받은 ModeLock 기술
INFICON Crystal 12^®, Crystal Six^® 및 듀얼 센서 자동 크리스탈 전환 지원으로 생산성 극대화
XTC/3M 다층 모델은 최대 99개의 공정, 999개의 층, 32개의 막, 2개의 센서 및 2개의 소스 지원

979-IQM-233

증착 컨트롤러

IQM-233 PCI Express 카드는 사용자의 PC를 박막 증착 컨트롤러로 변화시킵니다

IQM-233 박막 증착 컨트롤러 PCI-EXPRESS 카드

PCI Express, PC에 여러 카드 설치
카드당 3개의 센서 입력, 3개의 제어 출력
손쉬운 PLC 통합을 통한 I/O 기능 추가
여러 소스의 공동 배치

956-Guardian

Guardian™ EIES CONTROLLER

Guardian은 증착 속도 0.1 ~ 10,000 Å/s 제어 가능

GUARDIAN™ EIES 컨트롤러

최대 8가지 재료의 동시 증착을 모니터링 및 제어
0.1 ~ 10,000 Å/s의 증착 속도
통합 EIES 및 QCM 박막 공정 제어
12개의 릴레이 출력과 12개의 디지털 입력

필터 ()