SQM-160 박막 증착 모니터

SQM-160은 입증된 INFICON 석영 크리스탈 센서 기술을 사용하여 박막 증착 공정의 속도와 두께를 측정합니다. 2개의 센서 입력이 표준으로 제공되고 4개의 추가 센서 입력은 옵션입니다. 2개의 레코더 출력은 아날로그 속도와 두께 신호를 제공합니다.

센서 입력은 서로 다른 재료에 할당되거나 대형 시스템의 정확한 증착 제어를 위해 평균화되거나 이중 센서로 구성될 수 있습니다. 속도 샘플링 모드는 셔터식 센서가 고속 공정에서 센서 수명을 연장하게 해줍니다. 0.1Å/s 또는 0.01Å/s의 속도 표시는 사용자가 선택할 수 있습니다. 또한 주파수나 질량 디스플레이도 선택할 수 있습니다. 4개의 릴레이 출력을 통해 SQM-160은 소스 또는 센서 셔터, 신호 시간 및 두께 설정값 및 신호 크리스탈 오류를 제어할 수 있습니다. 디지털 입력은 외부 신호가 시작/정지되고 판독값이 0이 되게 해줍니다.

사양서

SQM-160 Standard Resolution

SQM-160 High Resolution

QCM 센서 입력	Standard: 2; optional: 4

측정 주파수 범위	Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum

두께 및 비율 해상도/측정(1)	± 0.37 Å

저장된 막	99

디지털 입력/출력	Four inputs, four relay outputs

(1) 툴링/밀도 = 100/1, 기본 주파수 = 6 MHz, 0.10초 측정 간격

QCM 센서 입력	Standard: 2; optional: 4

측정 주파수 범위	Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum

두께 및 비율 해상도/측정(1)	± 0.037 Å

저장된 막	99

디지털 입력/출력	Four inputs, four relay outputs

(1) 툴링/밀도 = 100/1, 기본 주파수 = 6 MHz, 0.10초 측정 간격

악세사리

Accessories

Accessories and Replacement Parts

Consumables

Front Load Single Sensor	Front Load Single Sensor
Front Load Dual Sensor	Front Load Dual Sensor
Cool Drawer Single Sensor	Cool Drawer Single Sensor
Cool Drawer Dual Sensor	Cool Drawer Dual Sensor
Low Profile Single Sensor	Low Profile Single Sensor
Easy Rate Dual Sensor	Easy Rate Dual Sensor
Low Profile Dual Sensor	Low Profile Dual Sensor
UHV Bakeable Sensor	UHV Bakeable Sensor
Sputtering Sensor	Sputtering Sensor
Easy Rate Single Sensor	Easy Rate Single Sensor

Part Number	Description
782-900-014	19 in. Rack Mount Kit for two SQM-160 or CI-100 instruments
782-502-096-G1	USB option card
782-502-097-G1	Ethernet option card
Oscillator kits	(Includes oscillator and cables)
783-500-109-10	3 m (10 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 3 m (10 ft.) BNC cable
783-500-109-25	7.6 m (25 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 7.6 m (25 ft.) BNC cable
783-500-109-50	15.2 m (50 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 15.2 m (50 ft.) BNC cable
783-500-109-75	22.8 m (75 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 22.8 m (75 ft.) BNC cable
Oscillator Only	(No cables included)
783-500-013-G1	OSC-100 oscillator only (no cables)
Cables
782-902-011	15.2 cm (6 in.) BNC cable, male/female
782-902-012-10	3 m (10 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-25	7.6 m (25 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-50	15.2 m (50 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-75	22.8 m (75 ft.) BNC cable, male/male