Sensors & Feedthroughs

CRYSTALSIX® 센서

INFICON CrystalSix 센서는 지속적인 속도 제어가 요구되는 긴 공정에서 중요합니다. OLED, MBE, 태양광, 장기 광학 코팅 또는 챔버 환기 사이 시간이 긴 기타 공정 등에서 CrystalSix 센서는 하나의 센서 헤드에 6개의 석영 모니터 크리스탈의 안전을 담당합니다. INFICON 박막 컨트롤러와 함께 사용하면 CrystalSix는 현재 크리스탈이 고장 나거나 불안정할 때마다 새 크리스탈을 제위치로 자동으로 회전시킵니다. 연속적인 증착 속도 모니터링을 위해 공정을 중단하지 않고 크리스탈이 자동으로 교체됩니다.

크리스탈 인덱싱은 공압 구동 방식으로 이루어집니다. 이 공압 구동 모터는 열을 발생시키는 비싼 진공 전기 모터를 사용하는 경쟁 제품보다 우수한 크리스탈 열 안정성을 제공합니다. 1/8인치 수냉 튜브는 센서 헤드의 열 안정성을 유지하고 센서 배치에서 유연성을 제공합니다.

특정 INFICON 박막 컨트롤러와 함께 사용하면 이 센서는 위치 피드백을 제공하므로 특정 위치에서 특정 재료를 사용할 수 있습니다.

특징

Holds 6 crystals with robust, automatic switching to maximize process uptime
Stable crystal temperature, because crystal switching is pneumatically-driven (competitive units use heat-generating motors)
1/8" tubes maintain thermal stability and allow flexibility in sensor placement
Optional crystal shutter available

사양서

최대 베이크아웃 온도(물 없음)	130°C

최소 수류의 최대 작동 등온 환경 온도	400° C

크리스탈 교환	Front-loading, extraction tool required (supplied with unit)

워터 및 에어 튜브	S-304, 0.125 in. (0.32 cm) O.D. x 0.016 in. (0.04 cm) Wall Thickness 30 in. Long (76 cm) seamless stainless steel tubing

전체 사양 다운로드

파트 넘버

Part Number	Description
750-446-G1	CrystalSix sensor (sensor only, no feedthrough included)

악세사리

Accessories

Consumables

Spare Parts

Name	Description
QCM Sensor Feedthroughs	QCM Sensor Feedthroughs

Name	Description
Quartz Monitor Crystals	Quartz Monitor Crystals

Part Number	Description
007-007	Retainer spring (for crystal holder)
007-023	Ceramic Retainer
070-0170	#2 Lockwasher (part of heat shield assembly)
070-0398	Retaining ring (secures bearing located next to pawl and actuator stem)
070-0777	Compression spring (on carousel shaft)
070-0778	Ball bearing (underneath carousel)
070-0779	Ball bearing
070-0870	Teflon washer (on carousel shaft)
070-0877	Shim spacer (part of heat shield assembly)
070-0879	Bearing (at center of top plate weld assembly)
073-114	Wire .022 in. x 1.06 in (clamps heat shield retaining pin)
082-026	# 2-56 Nut (part of heat shield assembly)
750-048-P1	Retainer spring for 007-048 and 751-619-G1 sputtering head bodies
750-175-P1	Insulator (underneath leaf spring)
750-188-P3	Leaf Spring
750-249-P2	Retaining pin (part of heat shield assembly)
750-250-G1	Deposition Shield, CrystalSix Sensor
750-256-P2	Extension spring
750-257-P3	Corrugated spring 4.40 in. (11.2 cm)
750-261-G1	Carousel assembly (includes resistor network and electrical contacts)
750-262-G1	Crystal holder
750-265-G1	Top plate weld assembly
750-276-P2	Actuator cover
750-278-P2	Water line
750-286-P2	Pneumatic actuator
750-290-P3	Carousel electrical contacts (set of eight)
750-901-G1	Crystal 6 Kit
750-293-P2	Ratchet
750-294-P2	Stop ratchet
750-295-G1	Pawl and actuator
750-336-G1	Resistor network assembly
750-338-P1	Contact insulator (underneath carousel electrical contacts)
In-vacuum cables
321-039-G12	In-vacuum cable, 15.2 cm (6 in.)
007-252	In-vacuum cable, 30.5 cm (12 in.)
321-039-G11	In-vacuum cable, 61.0 cm (24 in.)
007-044	In-vacuum cable, 78.1 cm (30.75 in.)
007-059	In-vacuum cable, 91.4 cm (36 in.)
007-061	In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) - Requires ModeLock controller
321-039-G13	In-Vacuum Cable, 154.2 cm (60 in.) - Requires ModeLock controller
321-039-G14	In-vacuum cable, 182.9 cm (72 in.) - Requires ModeLock controller
321-039-G15	In-vacuum cable, 3.5 m (137.8 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU
321-039-G16	In-vacuum cable, 4 m (157.5 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU