xParts
ALD 코팅 서비스
xParts 코팅은 반도체 생산 공정과 같이 극도로 가혹한 어플리케이션에서 사용하기 위해 고객 특정 3차원 부품에 적용되는 매우 균일하고 파티클 없는 ALD(원자층 증착) 박막입니다.
xParts 코팅은 중요한 부품의 수명을 늘리고 생산 장비 가동 시간을 보장합니다.
고객의 니즈 | xParts 기능 | 장점 |
|---|---|---|
장비 업 타임 | 높은 부식 저항성 | 부품 수명 연장 |
확산 장벽 | 컨디셔닝 감소 | |
좋은 수율 | 낮은 금속 오염 | 더 적은 결함 / 오염 |
좋은 웨이퍼 | 파티클 없음 | PM 후 결함/복구 시간 감소 |
유지 비용 | 개조 프로그램 | 유지 비용 감소 |
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