RSH-800 로터리 센서
가장 까다로운 어플리케이션에서도 가동 시간을 극대화하는 연속 증착 모니터링.
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장시간 PVD 공정은 가동 시간 내내 안정적이고 정확하며 신뢰할 수 있는 장비를 요구합니다. 불안정한 속도 제어는 수율, 균일성 및 소중한 생산 시간을 손실시킬 수 있습니다.
인피콘 RSH‑800 로터리 센서 헤드는 중단 없이 완료되어야 하는 장시간 증착 공정을 위해 설계되었습니다. 까다로운 환경에서의 지속적인 모니터링을 위해 제작된 이 제품은 까다로운 공정이 시작부터 끝까지 안정적이고 일관되게 진행되도록 지원합니다.
까다로운 공정을 위해 설계됨
장시간 PVD 작업은 장비를 한계까지 몰아붙입니다. 고온, 두꺼운 코팅, 정밀 다층 코팅, 긴 사이클 시간은 모두 압박 속에서도 흔들리지 않는 신뢰할 수 있는 모니터링을 요구합니다.
RSH‑800은 까다로운 조건에서도 안정적으로 작동하도록 고급 6결정 기술을 적용해 설계되었습니다. 수냉식 열 차폐 하우징은 섭씨 300도까지 안정성을 유지하여 전체 증착 작업 동안 측정 정확도를 보장합니다.
안정적인 모니터링 유지
균일한 필름과 예측 가능한 성능을 위해서는 신뢰할 수 있는 두께 측정이 필수적입니다. 장시간 코팅 공정 전반에 걸쳐 증착 속도를 안정적으로 유지하도록 설계된 기술을 통해 RSH‑800은 온도 변화가 발생하고 증착 두께가 지속적으로 증가하는 어플리케이션에서도 일관되고 중단 없는 신호를 지원합니다.
열 차폐 하우징은 열충격을 제거하여 전체 공정에서 정확도를 유지하는 데 도움이 됩니다.
빠른 유지보수와 높은 가동 시간을 위해 제작됨
RSH‑800은 신속한 현장 유지보수가 가능한 설계로 운영을 원활하게 유지합니다. 설치 시 취급을 단순화하는 패키징 덕분에 크리스털 교체가 간단합니다.
공압 인덱싱은 부드러운 크리스털 전진을 제공하며, 통합 피드백 옵션을 통해 시스템이 크리스털 위치를 쉽게 추적할 수 있습니다.
한눈에 보는 장점
- 고품질 엔지니어링으로 향상된 수율 및 필름 정확도
- 가동 시간 연장으로 생산 효율성 증대
- 빠른 크리스털 교환으로 처리량 향상
- 위치 피드백을 통한 필름 최적화 개선
- 간편한 현장 취급 및 설치로 시간 절약
- 공정 최적화를 위한 글로벌 어플리케이션 전문성 활용
챔버 통합을 위한 유연한 구성
모든 진공 시스템은 고유한 기하학적 구조와 제약 조건을 가집니다. RSH-800은 오링 피드스루 또는 CF63 플랜지를 사용하는 탑 마운트 설치를 위한 플랫헤드 구성을 포함한 다양한 장착 옵션을 통해 쉽게 적응합니다. 챔버 내부에서 필요한 위치에 센서를 정확하게 설정할 수 있도록 조정 가능한 플랜지 악세사리를 사용할 수 있습니다.
사양
| 결정 수 | 6 |
| 결정 크기 | 14 mm (0.550 in.) 직경 |
| 설치 개구부 | 50.8 mm (2.0 in.) 직경 |
| 전원 요구 사항 | 24 V (직류) 솔레노이드 밸브 21.6–26.4 V (직류), 40 mA |
| 115V(AC) 솔레노이드 밸브 90–132V(AC), 36/32mA rms(50/60Hz) | |
| 결정 전환 방식 | 공기 작동 @ 55psi(4kg/cm2) 조절 |
| 냉각 방식 | 수냉식 @ 5L/m, 2kg/cm2(28psi) (동결 금지) |
| 공기 및 물 연결 | 공기용 6 mm(0.25 in.) 퀵 커넥터 1개, 물용 1/8 in. 압착 피팅 2개 |
| 물 없이 최대 베이크아웃 온도 | 130°C |
| 작동 온도 | 수냉 및 스테인리스 스틸 헤드 커버 적용 시 최대 300°C |
| 무게 | 3.8 kg(8.5 lb.), 전체 길이에 따라 변동 |
| 재료 | 304 스테인리스 스틸, PEEK, 베릴륨 니켈 |
스페어 파트
| 파트 넘버 | 설명 |
| 784-553-G1S | 스프링 리테이너 어셈블리 – 플랫 |
| 031-0214S | 24V(직류) 솔레노이드 밸브 어셈블리 |
| 031-0215S | 115V(교류) 솔레노이드 밸브 어셈블리 |
| 784-544-G1S | 크리스털 리테이너 어셈블리, 플랫 |
| 070-2266S | 플랫 크리스털 리테이너용 고정 나사 |
| 784-501-P1S | 크리스털 홀더, 플랫 |
| 784-545-P1S | 스테인리스 스틸 커버 |
| 784-554-G1S | 신호 지지대 어셈블리 |
| 784-555-G1S | 스프링 리테이너 접점 키트 – 플랫(6개 세트) |
| 784-524-P1S | 스프링 리테이너 접점 |
| 784-552-G1S | 크리스털 리테이너 어셈블리용 스프링 접점 |
| 051-2558S | 7핀 수 커넥터 |
| 070-2324S | 샤프트 및 마이크로닷 6mm DIA O-링 |
| 784-542-P1S | 200 mm(7.9인치) 신호 와이어 어셈블리 |
| 784-542-P2S | 350 mm(13.8인치) 신호 와이어 어셈블리 |
| 784-542-P3S | 450mm(17.7인치) 신호 와이어 어셈블리 |
| 784-542-P4S | 540mm(21.3인치) 신호 와이어 어셈블리 |
| 784-542-P5S | 650mm(25.6인치) 신호 와이어 어셈블리 |
| 784-506-G1S | 저항 그리드 |
| 059-0857S | 액추에이터 에어 피팅 |
| 059-0856S | 솔레노이드 에어 피팅 |
| 069-0201S | 6mm 에어 튜빙 |
| 059-0859S | 워터 피팅 |
| 070-2326S | 조정 가능한 플랜지 O-링 |
| 784-556-G1S | 마이크로 스위치 와이어 하네스 어셈블리 |
| 파트 넘버 | 설명 |
| 784-600-G1S | 조정 가능한 플랜지, 원형 |
| 784-600-G2S | 조정 가능한 플랜지, CF63 |
