A형 센서
자동 크리스탈 전환으로 생산 시간 극대화

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OLED 공정과 관련된 저밀도 재료와 낮은 증착 속도는 박막 증착 컨트롤러와 센서에 탁월한 정확성과 신뢰성을 요구합니다. 속도와 두께 정확도를 유지하려면 지속적인 속도 제어가 필요합니다.
타입 A 센서는 5결정, 10결정 또는 12결정 증착 모니터 트랜스듀서에서 사용할 수 있습니다.
가동 중단 시간을 최소화하기 위해 두 번째 옵션 캐러셀에 크리스탈을 미리 로드한 다음, 소진된 크리스탈이 들어 있는 캐러셀과 빠르고 쉽게 교환할 수 있어 시스템이 열려 있는 시간을 최소화할 수 있습니다.
전동 크리스탈 센서는 인피콘 Cygnus® 2 박막 증착 컨트롤러와 함께 사용할 때 가장 큰 이점을 얻을 수 있습니다. Cygnus 2는 OLED 제조를 위해 특별히 설계된 유일한 박막 컨트롤러입니다. 최대 6개의 소스를 동시에, 독립적으로 또는 어떤 조합으로도 제어할 수 있으므로 사용자는 가장 복잡하고 까다로우며 독특한 OLED 어플리케이션의 처리량을 극대화할 수 있습니다.
장점
- 견고한 자동 스위칭으로 크리스탈을 고정하여 공정 가동 시간 극대화
- 동급에서 가장 작은 크기
- 제거하기 쉬운 캐러셀로 모든 크리스탈을 빠르게 교체할 수 있습니다.
- 전면 증착 실드가 크리스털과 캐로슬에 물질이 쌓이지 않도록 보호하고, 쉽게 제거할 수 있어 유지보수를 위해 센서 전체를 제거할 필요성 최소화
- 스테핑 모터로 크리스탈의 정밀한 위치 제어 가능
- 캐러셀 및 초퍼용 모터 드라이버 포함
사양
최대 작동 환경 온도 | 250°C (캐러셀 커버에서) |
모터 작동을 위한 전원 공급 전압 | 24 V (DC) (캐러셀 및 초퍼용 스테핑 모터 드라이버 포함 ) |
물 흐름 | Ø6 mm PTFE튜브, 최소 1.0–1.5 L/min, 평균 온도 18–20ºC |
공기 흐름 | Ø6 mm PTFE 튜브, 최소 0.2–0.5 MPa |
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