센서 및 피드스루

프리커서 모니터링용 SemiQCM® CR 센서

탁월함을 반복 가능하게 만들다

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산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?

정밀한 증착 속도 및 두께 모니터링으로 수익을 보호하고 성장시키세요

SemiQCM CR 센서는 화학적으로 비활성인 센서로, 가장 열악한 CVD 또는 ALD 챔버에도 설치할 수 있습니다. SemiQCM CR은 프리커서 모니터링 시스템의 한 구성 요소이며, 다른 구성 요소로는 IMM-200과 FabGuard(버전 19.12.00-a 이상)가 포함됩니다.

반도체 공정 모니터링은 포어라인 또는 챔버 배기구 내 프리커서 양을 모니터링하여 반도체 어플리케이션 분야에서 엔드포인트 감지 및 결함 제거에 활용할 수 있습니다. In-situ QCM을 사용하면 비용 효율적인 공정 모니터링이 가능하며, 반도체 공정의 수익성을 향상시킬 수 있습니다.

웨이퍼에 프리커서가 전달되지 않는 문제는 단 한 장의 웨이퍼만으로도 감지할 수 있습니다.

장점

QCM 데이터 10Hz로 모니터링
FabGuard는 QCM 데이터를 장비 상태 및 공정 단계와 연계
증착 또는 식각 속도의 정밀 측정
단일 원자층 이하 두께까지 측정 가능한 민감도와 정밀도

특징

실시간 In-situ 공정 모니터링
과도한 식각 방지 및 챔버 클린 엔드 포인터 식별
장비 또는 공정 상태 이상 감지

일반적인 어플리케이션 분야

반도체 제조

사양서

최대 온도	200°C

센서 헤드 크기(최대 외형)	23.9 mm 외경 x 29.2 mm (0.94 인치 외경 x 1.15 인치)

센서 길이(진공 상태)	50–150 mm (1.97–5.91 인치)

장착용 피드스루	ISO KF/CF 플랜지

재료
본체 및 홀더	알루미늄
스프링	베릴륨 니켈
동축선	6.4 mm (0.250 인치) 외경, 니켈 625
기타 기계 부품	니켈 200, 알루미늄 또는 니켈 C276
절연체	진공 상태에서 >96% Al₂O₃, 기타 부위는 테플론® 사용
배선	진공 상태에서는 니켈, 기타 부위는 니켈 도금 구리
납땜	진공 공정 고온 니켈 크롬 합금
크리스탈	직경 14.0 mm (0.551 인치)

전체 사양 다운로드

소모품

부품 번호	설명
750-1090-G10	SC-컷 센서 크리스탈, 합금, 10개입
750-1137-G5	SC-컷 센서 크리스탈, 이트리아, 5개입
750-1138-G5	SC-컷 센서 크리스탈, 알루미나, 5개입

스페어 파트

파트 넘버	설명
750-7046-G1S	14MM CR 크리스탈 리테이너 어셈블리 스페어 파트
750-7074-G1S	14MM CR 잠금식 크리스탈 홀더 스페어 파트
750-7075-G1S	14MM CR 잠금식 센서 본체 어셈블리 스페어 파트
750-7085-G1S	14MM CR 크리스탈 홀더 어셈블리 스페어 파트 (이트리아)
750-7085-G2S	14MM CR 크리스탈 홀더 어셈블리 스페어 파트 (알루미나)
750-7085-G3S	14MM CR 크리스탈 홀더 어셈블리 스페어 파트 (합금)