Sensors & Feedthroughs
로우 프로파일 듀얼 센서
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Easy Rate 듀얼 센서는 한 개의 크리스탈로 충분하지 않을 수 있는 QCM 적용개소에 간단하고 경제적인 솔루션을 제공합니다. 셔터는 프로세스를 마치는 데 필요할 때까지 두 번째 크리스털을 가려줍니다. Easy Rate 듀얼 센서는 2개의 진공 케이블을 사용하여 현장에서 쉽게 교체할 수 있습니다.
소형 디자인의 Easy Rate 듀얼 센서는 센서와 셔터 어셈블리가 표준 CF40 니플을 통과하는 데 32.5 mm(1.3인치)의 간격만 있으면 됩니다.
Easy Rate 듀얼 센서는 표준 및 직각 방향에서도 사용할 수 있고 표준 튜브 피팅이 있거나 없는 피드스루가 포함되도록 구성될 수 있습니다.
참고: Easy Rate 듀얼 센서는 4.8 mm(3/16인치) 외경의 수냉 튜브를 사용합니다. 이 센서는 Ultra-Torr 장착 피드스루와 호환되지 않으며 4.8 mm(3/16인치) 외경의 수냉 튜브와 함께 표준 피드스루에 용접하기 위해 튜브 어댑터가 필요합니다.
특징
- 듀얼 크리스털
- 가격
- 로우 프로파일 설계
- 크리스털 셔터 포함
- 쉬운 설치
- CF40 피드스루에 용접된 베이커블 구성으로 사용 가능
- Sensor / Feedthrough combinations available with or without bored-through tube fittings
사양서
| 최대 베이크아웃 온도(물 없음) | 130° C |
| 최소 수류의 최대 작동 등온 환경 온도 | 400° C |
| Crystal Exchange | Front loading; shutter moves to the side for easy access to the holders |
| Feedthrough | 2 pass water and 1 pass air 4.76 mm (0.188 in) OD with 2 microdot coaxial connections |
| Water Tubes | S-304, 4.76 mm (0.188 in) OD x 0.51 mm (0.020 in.) wall thickness seamless stainless steel tubing |
| Feedthrough Specifications-CF40 (2-3/4 in. ConFlat) | |
| 재료 | 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel |
| 온도 | Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without |
| 장착 | Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min. |
Accessories
Consumables
| Name | Description |
| Easy Rate Sensor Feedthroughs | Easy Rate Sensor Feedthroughs |
| Name | Description |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
Spare Parts
| Part Number | Description |
| 784-205-G1 | Crystal Retainer Assembly |
| 784-403-P1 | Crystal Finger Spring |
| 784-204-G1 | Crystal Holder Assembly |
| 784-404-P1 | Retaining Ring |
| 784-300-P1 | Crystal Holder |
| 784-405-P1 | Holder Finger Spring |
| 750-174-P2 | Female coax |
| 080-011-P3 | SCREW 0-80 x .125 LG SLOT PAN HD SS GP |
| 080-013 | #0-80 Split washer |
| 784-206-G1 | Easy Rate Sensor Actuator Assembly |
| 784-203-G1 | Easy Rate Right Angle Dual Sensor Head |
| 784-306-P1 | Easy Rate Sensor Actuator Clamp |
| 084-054S | Split Washer #4 Stainless Steel Spare |
| 084-027 | Socket Screw |
| 784-307-P1 | Easy Rate Dual Sensor Shutter |
| 783-500-023 | In-vacuum cable, 25.4 cm (10 in.) |
| 783-500-024 | In-vacuum cable, 76.2 cm (30 in.) |
