진공 게이지 및 컨트롤러

제품 유형
전체 압력 게이지 진공 스위치 진공 게이지 컨트롤러
측정 범위(mbar)
1 E-5 … atm 1 E-9 … 1 E-3 1 E-9 … atm
정확도 (%)
< 0.05 0.05 - 0.2 > 0.2 - 1 > 1 - 5 > 5 - 15 > 15
디지털 인터페이스
EtherCAT Profinet DeviceNet Profibus DP Ethernet
시장
냉난방 공조 산업 제조 진공 코팅 보안 에너지 반도체 IDM 및 파운드리 반도체 장비 제조업체 디스플레이 제약 및 의료 모빌리티 및 자동차 연구 및 학계 분석 기기 배터리
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