Cold Cathode Gauges
GEMINI™ MXG5XX ATM~초고진공 게이지
INFICON Gemini™ 전환형 마그네트론 진공 게이지는 모든 진공 측정 분야에 적용 가능한 장치입니다(진행 중).
드롭인 옵션
진공 측정기 경험을 혁신하세요!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON Gemini™ 전환형 마그네트론 진공 게이지는 모든 진공 측정 분야에 적용 가능한 장치입니다(진행 중). 두 개의 센서 시스템이 하나의 소형 장치에 결합된 Gemini는 대기압부터 1x10 ~ 9mbar 사이를 측정합니다. 특허 받은 초저 표류 자계 설계를 통해 새로운 분야를 열었습니다. 고유의 상호 교환 가능한 이중 챔버 센서 유닛은 세척 주기가 필요 없고 유지보수를 줄이므로 Gemini를 가장 강력하고 경제적인 진공 게이지로 만듭니다.
Gemini 냉음극 및 결합 장치는 완벽하게 통합된 디지털 전자장치를 제공함으로써 시스템 통합을 위한 최상의 유연성을 제공합니다. 냉음극 및 피라니 결합 옵션은 광범위한 분야에 걸쳐 원활한 전환, 신뢰성, 실용성 및 유연성을 제공합니다.
장점
- Long lifetime in harsh environments
- 혹독한 환경에서 긴 수명 유지
- 낮은 누출 자계
- 유지보수 필요 없음 - 교체 가능한 부속품
- 매우 작은 크기
- 내부식성 피드스루
- 선택 가능한 측정 전류
- 2 relay setpoints (in conjunction with MxG55x EtherCAT Version)
- EtherCAT and RS232/ RS485 digital interace
일반적인 응용 분야
- 대기에서 증발 및 스터퍼 코팅 분야의 고진공까지 기저 압력 모니터링 및 제어.
- 일반 진공 측정 – 산업용 용광로, 건축용 유리, 반도체, 냉동 및 공조.
- 분석 및 R&D 분야 – 질량 분석, 전자 현미경, 의료, 안과, 광학 및 고에너지 물리학.
사양서
MAG5xx
MPG5xx
측정 범위(공기, N2) | mbar Torr | 1×10-9 … 1×10-2 (7.6×10-10 … 7.6×10-3) |
정확성 (N2) | ||
1×10-8 … 1×10-2mbar | % of reading | 30 |
1×10-2 … 100mbar | % of reading | - |
100 … 1,000mbar | % of reading | - |
반복성 (N2) | ||
1×10-8 … 1×10-2mbar | % of reading | 5 |
1×10-8 … 100mbar | % of reading | - |
허용 온도 | ||
작동(주변) | °C | +5 ... +55 |
플랜지에서 베이크 아웃 (1) | °C | <150 |
보관 | °C | -40 ... +70 |
필라멘트 온도 | °C | - |
공급 전압 | ||
게이지 (2) | V (dc) | +14.5 ... +30 |
리플 | V (p-p) | <1 |
전력 소모량 | W | <2 |
연결할 퓨즈 | AT | <1 |
(1) 전자장치가 없습니다. (2) 공급 장치의 최소 전압은 센서 케이블의 길이에 비례하여 증가해야 합니다. |
측정 범위(공기, N2) | mbar Torr | (7.6×10-10 … 760) 1×10-9 … 1000 |
정확성 (N2) | ||
1×10-8 … 1×10-2mbar | % of reading | 30 |
1×10-2 … 100mbar | % of reading | 30 |
100 … 1,000mbar | % of reading | 50 |
반복성 (N2) | ||
1×10-8 … 1×10-2mbar | % of reading | - |
1×10-8 … 100mbar | % of reading | 5 |
허용 온도 | ||
작동(주변) | °C | +5 ... +55 |
플랜지에서 베이크 아웃 (1) | °C | <150 |
보관 | °C | -40 ... +70 |
필라멘트 온도 | °C | 120 |
공급 전압 | ||
게이지 (2) | V (dc) | +14.5 ... +30 |
리플 | V (p-p) | <1 |
전력 소모량 | W | <=3 |
연결할 퓨즈 | AT | <1 |
(1) 전자장치가 없습니다. (2) 공급 장치의 최소 전압은 센서 케이블의 길이에 비례하여 증가해야 합니다. |
Accessories
Spare Parts
MAG5xx | |
Part Number | Description |
211-098 | Centering ring with fine filter DN 25 KF |
351-550 | MxG50x Ignition tool set |
211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
353-512 | Baffle for BPG400
|
MPG5xx | |
Part Number | Description |
211-098 | Centering ring with fine filter DN 25 KF |
351-550 | MxG50x Ignition tool set |
211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
353-512 | Baffle for BPG400 |
MAG5xx | |
Part Number | Description |
351-500 | MAG500 spare sensor, 25KF, SS |
351-556 | Spare ion chamber ti |
351-512 | MAG500 spare sensor, 40KF, SS |
351-536 | MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS |
351-524 | MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS |
351-502 | MAG500 spare sensor, 25KF, TI |
351-514 | MAG500 spare sensor, 40KF, TI |
351-538 | MAG500 spare sensor, 40CF-R, TI |
351-526 | MAG500 spare sensor, 40CF-F, TI |
351-501 | MAG504 spare sensor, 25KF, SS |
351-513 | MAG504 spare sensor, 40KF, SS |
351-537 | MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS |
351-525 | MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS |
351-503 | MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI |
351-515 | MAG504 spare sensor, 40KF, TI |
351-539 | MAG504 spare sensor, 40CF-R, TI |
351-527 | MAG504 spare sensor, 40CF-F, TI |
351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
351-555 | Spare ion chamber ss
|
MPG5xx | |
Part Number | Description |
351-506 | MPG500 spare sensor, 25KF, SS |
351-518 | MPG500 spare sensor, 40KF, SS |
351-542 | MPG500 spare sensor, 40CF-R, SS |
351-530 | MPG500 spare sensor, 40CF-F, SS |
351-508 | MPG500 spare sensor, 25KF, TI |
351-520 | MPG500 spare sensor, 40KF, TI |
351-544 | MPG500 spare sensor, 40CF-R, TI |
351-532 | MPG500 spare sensor, 40CF-F, TI |
351-507 | MPG504 SS,LC,9DSub,25KF |
351-519 | MPG504 spare sensor, 40KF, SS |
351-543 | MPG504 spare sensor, 40CF-R, SS |
351-531 | MPG504 spare sensor, 40CF-F, SS |
351-509 | MPG504 spare sensor, 25KF, TI |
351-521 | MPG504 spare sensor, 40KF, TI |
351-545 | MPG504 spare sensor, 40CF-R, TI |
351-533 | MPG504 spare sensor, 40CF-F, TI |
351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
351-555 | Spare ion chamber ss |
351-556 | Spare ion chamber ti |
파트 넘버
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브로셔
매뉴얼
TIRB38E1_Mx55x_Communication protocol EtherCAT_New Generation
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영어
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사용 매뉴얼
TIRA83E1_MxG5xx_Communication protocol RS232_RS485
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영어
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사용 매뉴얼
TINA83D1 Gemini MxG5xx Gebrauchsanleitung
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사용 매뉴얼
TINA83E1 Gemini MxG5xx Operating manual
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영어
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사용 매뉴얼
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3D 파일
MAG500_FCC_40KF
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339,0 KB
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MMAG50x_9DSub_25KF.stp
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MMAG50x_9DSub_40CF-F.stp
stp
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1,2 MB
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3D 파일
MMAG50x_9DSub_40CF-R.stp
stp
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1,2 MB
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3D 파일
MMAG50x_9DSub_40KF.stp
stp
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1,1 MB
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3D 파일
MMPG50x_9DSub_25KF.stp
stp
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1,1 MB
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3D 파일
MMPG50x_9DSub_40CF-F.stp
stp
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1,2 MB
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3D 파일
MMPG50x_9DSub_40CF-R.stp
stp
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1,2 MB
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3D 파일
MMxG55x_15DSub_EtherCAT_II_25KF
stp
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1,9 MB
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3D 파일
MMxG55x_15DSub_EtherCAT_II_40CF-F
stp
•
1,9 MB
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3D 파일
MMxG55x_15DSub_EtherCAT_II_40CF-R
stp
•
1,9 MB
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3D 파일
MMxG55x_15DSub_EtherCAT_II_40KF
stp
•
1,9 MB
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MPG500_FCC_25KF
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339,0 KB
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3D 파일
MPG500_FCC_40CF
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343,6 KB
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MPG500_FCC_40KF
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339,0 KB
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MPG50x_9DSub_25KF
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MPG50x_9DSub_40KF
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MPG55x_15DSub_E-CAT_II_40CF-R
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