진공 스위치

VSA200 절대압 스위치

셋포인트 범위 20 ~ 970 Torr

VSA200

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON 진공 스위치는 정확하고 믿을 수 있는 압력을 탐지하도록 설계되었습니다. 이러한 견고한 전자 스위치는 압력 인터록을 포함하여 모든 진공 응용 분야에서 사용됩니다. 스위치는 절대(진공 기준) 또는 차동(주변 기준)의 두 가지 버전으로 사용할 수 있습니다.

특징

  • IP 44 보호
  • 무위상 접점을 가진 릴레이 출력
  • 고정밀 온도 보상 센서
  • 압력 범위 1×10-9 mbar … 2 bar

장점

  • 내부식성 전체 스테인레스강 설계
  • 견고한 디자인, 청정실 규격
  • 셋포인트가 공장에서 사전 설정되거나 현장에서 조정 가능하여 설치가 간편함

일반적인 응용 분야

  • 모든 진공 분야에 적합한 대기압 감지 기능
  • 압력 인터록(전원 공급, 가스 공급, 펌프, 밸브, 액추에이터 등)
  • 진공 ~ 고진공

사양서

1100 mbar
1000 Torr
셋포인트 범위mbar
Torr
30 … 1060
-
허용 압력bar (absolute)5
셋포인트 정확도Torr± 5
응답 시간ms≤45
히스테리시스Torr20
셋포인트 범위mbar
Torr

20 … 970
허용 압력bar (absolute)5
셋포인트 정확도Torr± 5
응답 시간ms≤45
히스테리시스Torr20
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파트 넘버

VSA200 Ordering information
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