광학 가스 분석기
Augen® OPG550
광학 플라즈마 진공 게이지
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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인피콘 Augent® 광학 플라즈마 게이지는 진공 모니터링을 위한 소형 지능형 솔루션입니다.
Augent는 1 x 10-7에서 5 mbar까지의 가스 유형 모니터링과 동시에 1 x 10-7 mbar에서 대기압까지의 전체 압력을 측정하기 위해 두 가지 센서 기술을 하나의 소형 장치에 결합합니다.
Augent는 인테그레이션된 피라니 센서로 보호되어 20mbar 이상에서 플라즈마를 차단합니다.
빠른 광학 측정 원리를 통해 원칙적으로 모든 유형의 가스를 감지할 수 있습니다.
장점
- 고속 누설 감지로 챔버 누설 테스트 가능
- 생산성 및 수율 증가
- 긴 수명, 필라멘트 연소 없음, 빠른 공기 유입 방지
- 공정 화학물질에 대한 내구성
- 손쉬운 인테그레이션을 위한 스마트 알고리즘
- 컴팩트한 디자인 및 작은 설치 공간
- 안정적이고 빠른 시작
단계별 튜토리얼을 통해 인피콘 Augent® 광학 플라즈마 게이지의 센서를 직접 쉽게 세척하는 방법을 알아보세요.
사양서
| Measurement range N2 | mbar Torr | 1×10-7 … 5
|
| Accuracy total pressure reading N2 | ||
| 1 x 10-7 ... 100 mbar | % of reading | 30 |
| 100 ... 1000 mbar | % of reading | 50 |
| Repeatability total pressure reading N2 | ||
| 1 x 10-7 ... 100 mbar | % of reading | 5 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | +5 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange with electronic unit | °C | <80 |
| Bakeout at flange w/o electronic unit | °C | <120 |
| Supply voltage | ||
| At gauge | V (dc) | +14.5 … +30 |
| Ripple | V (p-p) | <1 |
| Power consumption | W | <5 |
| Fuse to be connected | AT | 1 |
| Materials exposed to vacuum | ||
| General | General | Al2O3, Stainless seel 1.4435 |
| Anode | Anode | Molybdenum |
| Ionization chamber | Ionization chamber | Titanium, stainless steel 1.4016 |
| Ignition aid | Ignition aid | Stainless steel 1.4310 |
파트 넘버
악세사리
스페어 파트
| 파트 넘버 | 설명 |
| 3OF0-011-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,16KF |
| 3OF0-013-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,16CF-R |
| 3OF0-01E-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,8-VCR f |
| 3OF1-016-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,25KF |
| 3OF1-017-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,40KF |
| 3OF1-01Q-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,40CF-F |
| 파트 넘버 | 설명 |
| 303-333 | Diagnostic cable for Diagnostic Port (RS232), 2 m |
| 351-051 | 24 V (dc) power supply with analog out and RS232 line |
| 351-052 | Optical window cleaning kit (for gauges with PN 3OF1-xxx-xxxx) |
| 파트 넘버 | 설명 |
| 351-594 | Replacement sensor DN ISO 16 KF |
| 351- 595 | Replacement sensor DN 16 CF-R |
| 351-597 | Replacement sensor DN ISO 25 KF |
| 351-598 | Replacement sensor DN ISO 40 KF |
| 351-599 | Replacement sensor DN ISO 40 CF-F |
| 351-596 | Replacement sensor 8 VCR female |
| 351-055 | Spare ion chamber TI - OPG550 |
| 351-995 | MxG40x/50x, OPG550 Spare parts ignition aid (10) |
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매뉴얼
