광학 가스 분석기

Augen® OPG550

광학 플라즈마 진공 게이지

ACADEMY

산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?

인피콘 Augent^® 광학 플라즈마 게이지는 진공 모니터링을 위한 소형 지능형 솔루션입니다.
Augent는 1 x 10-7에서 5 mbar까지의 가스 유형 모니터링과 동시에 1 x 10-7 mbar에서 대기압까지의 전체 압력을 측정하기 위해 두 가지 센서 기술을 하나의 소형 장치에 결합합니다.
Augent는 인테그레이션된 피라니 센서로 보호되어 20mbar 이상에서 플라즈마를 차단합니다.
빠른 광학 측정 원리를 통해 원칙적으로 모든 유형의 가스를 감지할 수 있습니다.

장점

고속 누설 감지로 챔버 누설 테스트 가능
생산성 및 수율 증가
긴 수명, 필라멘트 연소 없음, 빠른 공기 유입 방지
공정 화학물질에 대한 내구성
손쉬운 인테그레이션을 위한 스마트 알고리즘
컴팩트한 디자인 및 작은 설치 공간
안정적이고 빠른 시작

단계별 튜토리얼을 통해 인피콘 Augent^® 광학 플라즈마 게이지의 센서를 직접 쉽게 세척하는 방법을 알아보세요.

Watch: How to clean the sensor?

사양서

Measurement range N₂	mbar Torr	1×10^-7 … 5 (7.6×10^-8 … 3.8)
Accuracy total pressure reading N₂

1 x 10^-7 ... 100 mbar	% of reading	30
100 ... 1000 mbar	% of reading	50

Repeatability total pressure reading N₂

1 x 10^-7 ... 100 mbar	% of reading	5

Temperature

Operation (ambient)	°C	+5 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange with electronic unit	°C	<80
Bakeout at flange w/o electronic unit	°C	<120

Supply voltage

At gauge	V (dc)	+14.5 … +30
Ripple	V (p-p)	<1
Power consumption	W	<5
Fuse to be connected	AT	1

Materials exposed to vacuum

General	General	Al₂O₃, Stainless seel 1.4435
Anode	Anode	Molybdenum
Ionization chamber	Ionization chamber	Titanium, stainless steel 1.4016
Ignition aid	Ignition aid	Stainless steel 1.4310

악세사리

스페어 파트

파트 넘버	설명

303-333	Diagnostic cable for Diagnostic Port (RS232), 2 m
351-051	24 V (dc) power supply with analog out and RS232 line
351-052	Optical window cleaning kit (for gauges with PN 3OF1-xxx-xxxx)

파트 넘버	설명

351-594	Replacement sensor DN ISO 16 KF
351- 595	Replacement sensor DN 16 CF-R
351-597	Replacement sensor DN ISO 25 KF
351-598	Replacement sensor DN ISO 40 KF
351-599	Replacement sensor DN ISO 40 CF-F
351-596	Replacement sensor 8 VCR female
351-055	Spare ion chamber TI - OPG550
351-995	MxG40x/50x, OPG550 Spare parts ignition aid (10)