Vacuum Gauge Controller
IM540
IM540
다기능 핫 캐소드 이온화 패시브 게이지 컨트롤러
드롭인 옵션
진공 측정기 경험을 혁신하세요!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
Your configuration has been successfully sent!
진공 게이지 컨트롤러 IM540은 다기능 이온화 게이지 컨트롤러로, 10-12 mbar 및 대기압 범위에서 완벽한 진공 측정 및 제어를 제공합니다. 어플리케이션과 사용자의 요구에 따라 피라니, 커패시턴스 다이아프램, 베이야드-알퍼트, 익스트랙터 등 최대 4가지 진공 측정 원리를 결합할 수 있는 IM540은 하나의 솔루션입니다. 이 컨트롤러를 사용하면 복잡한 공정 제어 시스템에 안정적이고 완벽하게 통합할 수 있습니다.
장점
- IE414(베이야드-알퍼트) 및 IE514(추출기) 핫 캐소드 이온화 게이지의 작동 지원
- PSG5xx(피라니), PCG55x(피라니-커패시턴스 다이아프램) 및 CDG(커패시턴스 다이아프램) 액티브 게이지 라인에서 2개의 액티브 게이지를 연결하여 작동할 수 있습니다.
- 파라미터, 센서 또는 일반 설정을 위한 메뉴 안내 디스플레이로 간단한 조작 가능
- 내장 RS232 통신 인터페이스, 프로피버스 DP 인터페이스 보드(옵션)(IF 540 P)
- 히스테리시스를 조정할 수 있는 2개의 셋 포인트(옵션 7)
- 고해상도 - 16비트 A/D 컨버터
- 프로그래밍 가능한 0~10V 차트 레코더 출력 2개
게이지 개요
IE414
IE514
PSG5xx
PCG55x
CDG (e.g. CDG025D, CDG045D)
| 게이지 원리 | 베이야드-알퍼트, 핫 캐소드 이온화 |
| 압력 범위 | 2×10-11 ... 1×10-2 mbar(모듈식 에미션 전류 사용) |
| 베이크 아웃 온도 | ≤400 °C |
| 게이지 원리 | 익스트랙터, 핫 캐소드 이온화 |
| 압력 범위 | 2×10-12 ... 1×10-4 mbar |
| 베이크 아웃 온도 | ≤400 °C |
| 게이지 원리 | 피라니(액티브 게이지 유형) |
| 압력 범위 | 8x10-4 mbar to ATM |
| 베이크 아웃 온도 | ≤80 / 250°C(모델에 따라 다름) |
| 게이지 원리 | 피라니-커패시턴스 다이아프램(액티브 게이지형) |
| 압력 범위 | 5×10-5 mbar to 1.5×103 mbar |
| 베이크 아웃 온도 | ≤80 / 250°C(모델에 따라 다름) |
| 게이지 원리 | 커패시턴스 다이아프램(액티브 게이지형)# |
| 압력 범위 | 사용자가 선택할 수 있는 4개의 풀 스케일 |
| 베이크 아웃 온도 | 모델에 따라 다름 |
측정 구성
채널 1 + 2
채널 3 + 4
| 게이지 원리 | 핫 캐소드 이온화 게이지 |
| 게이지 모델 | IE414(베이야드-알퍼트) IE514(익스트랙터) |
| 게이지 원리 | 액티브 게이지: 피라니 피라니-커패시턴스 다이아프램 커패시턴스 다이아프램 |
| 게이지 모델 | PSG5xx PCG55x CDG(예: CDG025D, CDG045D) |
인터페이스 보드
IF 540 P
IF 540 P
| 통신 프로토콜 | 프로피버스 인터페이스 및 릴레이(1.5A) |
사양
IM540
IM540
| 측정 채널 | 4 |
| 디스플레이 | LCD, LED 백라이트 |
| 표시 속도 | 4 s-1 |
| 측정 범위 | 1 x 10-12 ... 1100 mbar |
| 측정 단위(선택 가능) | mbar, Torr, Pa, hPa, 미크론, V |
| 측정 범위 전환 | 자동 또는 10년 사전 선택 |
| 차트 레코더 출력 | 로그 0~10V(1V/데시) 또는 선형 0~10V |
| 인터페이스 | RS232C, 프로피버스(IF540P 포함) |
| 스위칭 임계값 (단일 작동 또는 간격) | 2 플로팅 전환 접점 포함 |
| 전원 공급 장치 | 90 ... 264 V (ac) |
| 주파수 | 47 ... 63 Hz |
| 작동 온도 | +5 ... +40°C |
파트 넘버
파트 넘버
액세서리
| 399-660 | IM540 진공 게이지 컨트롤러 |
| 399-661 | IE414 DN 40 CF-F |
| 399-676 | 교체용 캐소드 IE414 |
| 399-663 | IE514 DN 40 CF-F |
| 399-677 | 교체용 캐소드 IE514 |
| 인터페이스 보드 | |
| 399-670 | IF540P 프로피버스 DP 인터페이스 보드 |
| IE414/514용 게이지 헤드 케이블, 80 °C | |
| 399-680 | 3 m |
| 399-681 | 5 m |
| 399-682 | 10 m |
| 399-685 | 50 m |
| IE414/514 - 게이지 헤드 케이블, 200 °C | |
| 399-686 | 3 m |
| 399-687 | 5 m |
| 399-688 | 10 m |
| 399-690 | 50 m |
이 제품은 다음 산업에서 사용됩니다.
