핫 이온 게이지

BAG05X

UHV BAYARD-ALPERT 고온 이온 패시브 진공 게이지

BAG05X-UHV

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON 베이어드-알퍼트 패시브 진공 게이지 헤드 BAG050, BAG051, BAG052 및 BAG053은 INFICON 진공 게이지 컨트롤러 VGC083A 및 VGC083B와 함께 사용하도록 설계되어 있습니다. 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트는 공기 및 비활성 기체(예: N2, 아르곤)에서 일반적인 진공 적용개소에 제공됩니다. 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트와 호환되지 않는 가스의 경우에는 텅스텐 필라멘트를 선택하십시오. BAG05x 게이지는 다른 제조업체의 호환 가능한 진공 게이지 컨트롤러로도 작동할 수 있습니다. INFICON 패시브 베이어드-알퍼트 이온화 진공 게이지(BAG05x)는 다음과 같이 3가지의 다른 구성으로 제공됩니다.

BAG050은 2×10-11 Torr의 낮은 압력 측정이 가능한 EB 디가스 UHV 누드 이온화 진공 게이지입니다.

BAG051은 4×10-10 Torr의 낮은 압력 측정이 가능한 저항성 디가스(I2R) 누드 이온화 진공 게이지입니다.

BAG052 및 BAG053은 4×10-10 Torr의 낮은 압력 측정이 가능한 저항성 디가스(I2R) 유리 밀폐형 이온화 진공 게이지입니다.

장점

  • 믿을 수 있고 입증된 게이지 헤드 설계
  • 대부분의 누드 고온 이온 게이지 헤드에 대해 드롭인
  • 광범위한 방출 전류(100 μA ~ 10 mA)
  • 단일/이중 산화이트륨 코팅 이리듐 및 이중 텅스텐 필라멘트 음극 어셈블리와 함께 사용 가능
  • 가스 제거: 모든 모델은 EB(전자 충격 가공)를 사용하여 가스를 제거할 수 있습니다. BAG051, BAG052 및 BAG053은 저항성 디가스(I2R)를 사용하여 가스를 제거할 수도 있습니다.

사양서

BAG050
BAG051
BAG052
BAG053
BAG055
Measurement rangembar
Torr
2.7 x 10-11 ... 1.3 x 10-3
2 x 10-11 ... 1 x 10-3
X-ray limitTorr2 x 10-11
Bakeout temperature°C450
Insulator ceramic
Flange material stainless steel 304
Measurement rangembar
Torr
5.3 x 10-10 ... 1.3 x 10-3
4 x 10-10 ... 1 x 10-3
X-ray limitTorr4 x 10-10
Bakeout temperature°C450
Insulator ceramic
Flange material stainless steel 304
Measurement rangembar
Torr
4 x 10-10 ... 1 x 10-3
5.3 x 10-8 ... 1.3 x 10-1
X-ray limitTorr4 x 10-10
Bakeout temperature°C450
Insulator glass to metal
Flange material glass Nonex 7720
Measurement rangembar
Torr
5.3 x 10-8 ... 1.3 x 10-1
4 x 10-10 ... 1 x 10-3
X-ray limitTorr4 x 10-10
Bakeout temperature°C450
Insulator glass to metal
Flange material glass Nonex 7720
Measurement rangembar
Torr
1.3×10-9 … 6.7×10-2
1×10-9 … 5×10-2
X-ray limitTorr5 x 10-10
Bakeout temperature°C200
Insulator glass
Flange material stainless steel 304

파트 넘버

BAG050_051_052_053_055 Ordering information
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