커패시턴스 마노메타
SKY® CDG045D
45°C 온도 제어, 풀 스케일 0.05 ~ 1000 Torr / mbar
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
Your configuration has been successfully sent!
INFICON SKY CDG045D 압력계는 매우 정확한 전체 압력 측정 및 제어를 위한 최상의 선택입니다. CDG045D 게이지는 뛰어난 신호 안정성과 반복성을 위해 45°C에서 제어된 온도입니다. 이 게이지는 모든 일반 플랜지 유형과 필드버스 인터페이스를 사용하는 50mTorr~1000Torr의 전체 규모 범위에 사용할 수 있으며, 가스 종류에 상관 없이 선형 0~10V 압력 신호를 제공합니다. INFICON 용량형 압력계는 부식 방지되는 초고순도의 알루미나 세라믹 격막을 사용합니다. 세라믹 센서의 장점은 신호 안정성 향상, 대기에서 더 빨라진 복구, 짧은 예열 시간 및 이례적인 수명입니다. INFICON CDG는 까다로운 진공 응용 분야에 적합한 고품질의 경제적인 압력 센서입니다.
장점
- CoO(소유 비용) 절감, 예열 속도 50% 증가, 에너지 효율적인 저전력 소비
- 간편한 통합, 다양한 규모, 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점을 포함한 표준
- 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
- 2년 보증, 고급 가열 개념을 이용한 수명 연장 및 게이지 보호
- 열악한 플라즈마 응용 분야에서도 탁월한 신호 안정성과 반복성으로 인해 장기간 재교정 없음
- 준수 및 표준: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
일반적인 응용 분야
- Etch, CVD, PVD 및 기타 반도체 생산 프로세스
- 화학 및 부식 진공 프로세스
- 일반 박막 및 진공 프로세스
- 국제 표준에 따른 테스트 기기 모니터링을 위한 기준 센서
- 추적성 측정을 위한 전달 표준
사양서
1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.05 Torr / mbar
정확성 | % of reading | 0.15 |
해상도 | percent FS | 0.003 |
출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
응답 시간 | ms | 30 |
진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
정확성 | % of reading | 0.15 |
해상도 | percent FS | 0.003 |
출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
응답 시간 | ms | 30 |
진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
정확성 | % of reading | 0.15 |
해상도 | percent FS | 0.003 |
출력신호(아날로그) | V (dc) | 0 … +10 |
응답 시간 | ms | 130 / 30 (3) |
진공에 노출된 재료 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
다운로드
데이터시트
Datasheet_sky-cdg04d_de-de
pdf
•
906,8 KB
•
독일어
•
데이터시트
SKY® CDG045D 0.05 ... 1000Torr / mbar EN
pdf
•
2,9 MB
•
영어
•
데이터시트
CDG045D SKY® 0,05... 1.000 Torr/mbar
pdf
•
945,5 KB
•
스페인어
•
데이터시트
SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar JA
pdf
•
1,0 MB
•
일본어
•
데이터시트
SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar ZH
pdf
•
1,0 MB
•
중국어
•
데이터시트
SKY® CDG045D 0.05 ... 1000Torr / mbar KO
pdf
•
950,9 KB
•
한국어
•
데이터시트
치수 도면
매뉴얼
CDG045D 4-20 mA Current Loop EN
pdf
•
999,2 KB
•
영어
Communication protocol Profinet
pdf
•
874,8 KB
•
영어
•
사용 매뉴얼
CDG045D 4-20 mA Current Loop DE
pdf
•
1.006,1 KB
•
독일어
Communication protocol EtherCAT new generation
pdf
•
2,1 MB
•
영어
•
사용 매뉴얼
CDGxxxD Communication manual RS232C
pdf
•
187,4 KB
•
영어
•
사용 매뉴얼
CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C
pdf
•
188,5 KB
•
독일어
•
사용 매뉴얼
Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D EN
pdf
•
474,8 KB
•
영어
•
사용 매뉴얼
Communication protocol EtherCAT
pdf
•
972,1 KB
•
영어
•
사용 매뉴얼
Communication protocol Profibus
pdf
•
592,8 KB
•
영어
•
사용 매뉴얼
Gebrauchsanleitung CDG045D
pdf
•
937,3 KB
•
독일어
•
사용 매뉴얼
Manual CDG045D
pdf
•
927,2 KB
•
영어
•
사용 매뉴얼
Manual CN CDG045D
pdf
•
1,2 MB
•
중국어
•
사용 매뉴얼
3D Step Files
CDG045D_9DSUB_8VCRf
stp
•
2,1 MB
•
3D 파일
CDG045D_9DSUB_8VCR long
stp
•
3,0 MB
•
3D 파일
CDG045D 4VCR female ECAT II
stp
•
1,4 MB
•
3D 파일
CDG045D_8-VCR female_long_ECAT_II
stp
•
5,6 MB
•
3D 파일
CDG045D_9DSUB_16KF
stp
•
2,9 MB
•
3D 파일
CDG045D - 200D_9DSUB_16CF
stp
•
3,0 MB
•
3D 파일
CDG045D_9DSUB_tube
stp
•
2,9 MB
•
3D 파일
CDG045D_9DSUB_4VCR male
stp
•
3,1 MB
•
3D 파일
CDG045D_9DSUB_4VCR female
stp
•
3,0 MB
•
3D 파일
CDG045D 16KF P-Net
zip
•
230,9 KB
•
3D 파일
CDG045D tube P-Net
zip
•
231,6 KB
•
3D 파일
CDG045D_4-VCR male_D-Net
stp
•
5,1 MB
•
3D 파일
CDG045D_8-VCR female long_D-Net
stp
•
5,0 MB
•
3D 파일
CDG045D_4-VCR male_P-Bus
stp
•
5,0 MB
•
3D 파일
CDG045D_4-VCR female_P-Bus
stp
•
4,9 MB
•
3D 파일
CDG045D_8-VCR female long_P-Bus
stp
•
4,9 MB
•
3D 파일
CDG045D 8VCR P-Net
zip
•
235,4 KB
•
3D 파일
CDG045D 16CF P-Net
zip
•
241,3 KB
•
3D 파일
CDG045D_4-VCR male_P-Net
stp
•
2,0 MB
•
3D 파일
CDG045D_4-VCR female_P-Net
stp
•
1,9 MB
•
3D 파일
CDG045D_8-VCR female long_P-Net
stp
•
1,9 MB
•
3D 파일
CDG045D_4-VCR male_ECAT_II
stp
•
5,7 MB
•
3D 파일
CDG045D 16CF
zip
•
151,3 KB
•
3D 파일
CDG045D 16CF D-Net
zip
•
179,1 KB
•
3D 파일
CDG045D 16CF ECAT
stp
•
1,4 MB
•
3D 파일
CDG045D 16CF P-Bus
zip
•
177,9 KB
•
3D 파일
CDG045D 16KF
zip
•
146,5 KB
•
3D 파일
CDG045D 16KF P-Bus
zip
•
173,5 KB
•
3D 파일
CDG045D 16KF D-Net
zip
•
176,1 KB
•
3D 파일
CDG045D 16KF ECAT
stp
•
1,3 MB
•
3D 파일
CDG045D 4VCR D-Net
zip
•
302,3 KB
•
3D 파일
CDG045D 4VCR female
zip
•
258,0 KB
•
3D 파일
CDG045D 4VCR male
zip
•
277,6 KB
•
3D 파일
CDG045D 8VCR D-Net
zip
•
185,0 KB
•
3D 파일
CDG045D 8VCR ECAT
zip
•
213,6 KB
•
3D 파일
CDG045D 8VCR female
zip
•
156,2 KB
•
3D 파일
CDG045D 8VCR female long
zip
•
259,4 KB
•
3D 파일
CDG045D 8VCR P-Bus
zip
•
182,8 KB
•
3D 파일
CDG045D tube
zip
•
146,0 KB
•
3D 파일
CDG045D tube D-Net
zip
•
175,2 KB
•
3D 파일
CDG045D tube ECAT
stp
•
1,3 MB
•
3D 파일
CDG045D tube P-Bus
zip
•
173,7 KB
•
3D 파일
기타
EtherCAT new generation ESI file CDG V2_0_0_0
zip
•
10,5 KB
•
일본어, 영어
Profinet GSDML File for CDGxxxD
zip
•
3,1 KB
•
영어
EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0
xml
•
1,3 MB
•
영어
Software EDS for CDGxxxD
zip
•
7,6 KB
•
영어
Software GSD for CDGxxxD
zip
•
1,6 KB
•
영어
제품은 다음 마켓에서 사용됩니다