Hot Ionization Gauges

HPG400 ATM~고진공 게이지

INFICON 고압 고온 이온화 피라니 게이지인 HPG400은 2×10^-6 mbar부터 대기(1.5×10^-6 Torr ~ 대기)까지의 압력을 측정하는 소형의 경제적인 단일 패키지에 고압 고온 이온화 및 피라니 센서를 결합합니다.

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INFICON 고압 고온 이온화 피라니 게이지인 HPG400은 2×10^-6 mbar부터 대기(1.5×10^-6 Torr ~ 대기)까지의 압력을 측정하는 소형의 경제적인 단일 패키지에 고압 고온 이온화 및 피라니 센서를 결합합니다. HPG400은 정확한 스퍼터 공정 압력 제어를 위해 매우 반복성 높고 재현 가능한 압력 측정을 제공합니다.

장점

HPG400은 비용 및 장비 공간을 줄이고 진공 시스템 설치 및 설정 복잡성 감소
고압 고온 이온 게이지는 향상된 공정 제어를 위해 1×10^-5 … 1 mbar의 정확하고 신뢰할 수 있는 압력 측정 제공
5×10^-2 ~ 1 mbar의 사용자 선택형 고온 이온 배출 활성화
Pirani 인터록은 핫 필라멘트의 조기 단선 방지
옵션인 그래픽 디스플레이 및 필드버스 인터페이스 사용 가능
자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
RoHS 준수

일반적인 응용 분야

반도체 제조, 전자장치 및 미디어 산업의 스터퍼 분야
산업용 코팅
저진공부터 고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어

사양서

Measurement range (air, N₂)	mbar Torr	2×10^-6 … 1000 1.5×10^-6 … 750

Accuracy

10^-5 … 1 mbar	% of reading	±15 ⁽¹⁾

Repeatability

10^-5 … 10^-1 mbar	% of reading	2
10^-1 … 100 mbar	% of reading	30

Temperature

Operation (ambient)	°C	0 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange	°C	80
Bakeout electronics removed	°C	150

Supply voltage	V (dc) A (dc)	20 … 28 0.8

Materials exposed to vacuum		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

(1) Accuracy from 10^-5 mbar to the selected hot ion emission on value

전체 사양 다운로드

Part Number

Accessories

Spare Parts

Part Number	Description
353-520	HPG400 DN 25 ISO-KF
353-521	HPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-522	HPG400 DN 40 CF-F
353-523	HPG400 LCD, DN 40 CF-F
353-525	HPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-526	HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F
353-527	HPG400-SD DNet DN 25 ISO-KF
353-528	HPG400-SD DNet DN 40 CF-F

Part Number	Description
211-113	Centering ring with baffle DN 25 KF
353-511	Power supply BPG400 24VDC
357-499	Baffle HPG (10 pieces)

Part Number	Description
354-487	Spare sensor head HPG400, DN 25 ISO-KF
354-488	Spare sensor head HPG400, DN 40 CF-F

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브로셔

Hot Ion Gauge Brochure

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매뉴얼

TINA31E1_Operating manual_long

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TIMA31E1_Operating manual_short

pdf • 307,4 KB • 영어 • 사용 매뉴얼

TIMA32E1_Operating manual for SD_SP_short

pdf • 417,4 KB • 영어 • 사용 매뉴얼

TIRA03E1_Communication Protocol for DeviceNet

pdf • 323,7 KB • 영어 • 사용 매뉴얼

TIRA36E1_Communication Protocol for ProfiBus

pdf • 404,8 KB • 영어 • 사용 매뉴얼

3D Step Files

353-520 HPG400 without LCD

zip • 445,3 KB • 3D 파일

353-521 HPG400 without LCD

zip • 462,0 KB • 3D 파일

353-522 HPG400 without LCD

zip • 452,1 KB • 3D 파일

353-523 HPG400 with LCD

zip • 459,2 KB • 3D 파일

353-525 HPG400-SP with PROFIBUS DP

zip • 467,4 KB • 3D 파일

353-526 HPG with PROFIBUS DP

zip • 470,4 KB • 3D 파일

353-527 HPG400-SD with DeviceNet

zip • 461,2 KB • 3D 파일

353-528 HPG400-SD with DeviceNet

zip • 464,5 KB • 3D 파일

354-487 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF

zip • 31,1 KB • 3D 파일

354-488 HPG Replacment Sensor 25 ISO-KF

zip • 45,4 KB • 3D 파일

기타

HPG400_06A8_DPV1.GSD

GSD • 3,6 KB • 영어

HPG400-float.eds

eds • 33,6 KB • 영어

eds • 33,5 KB • 영어

제품은 다음 마켓에서 사용됩니다

Analytical-Instrumentation-Navi

분석 기기 시장은 광범위한 어플리케이션 및 시장 분야에서 고도로 정교한 장비 사용자를 지원합니다. 인피콘은 기체, 액체 또는 고체일 수 있는 가장 작은 구조 또는 요소 구성을 분석하고 식별하는 데 도움이 되는 최첨단 기술 제조업체와 협력합니다.

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전극 생산에서 최종 라인 테스트까지

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디스플레이

INFICON은 첨단 기술을 지원하고 최고 품질의 디스플레이 제품을 가능하게 합니다

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전통적인 석유 및 가스 생산은 지난 수십 년 동안 수요가 증가했으며 개발 도상국의 인구 증가, 도시화 및 소비자 중산층에 의해 추진되고 있습니다.

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진공은 깨끗한 환경을 보장하기 위해 더 자주 사용되며 여러 공정에 필요하며 진공 없이는 작동하지 않습니다.

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진화하는 산업에서 신뢰할 수 있는 누출 테스트. 자동차 산업의 변화로 인해 누설 검사가 더욱 중요해지고 있습니다.

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기초 연구를 통해 우주의 가장 깊은 비밀을 밝히다. 내일의 기술을 강화하는 혁신을 오늘 제공합니다.

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진공 코팅 시장은 광학 분야를 넘어 불과 10년 전만 해도 거의 상상할 수 없었던 영역, 산업 및 필름 레이어로 빠르게 확장되고 있습니다.

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