커패시턴스 마노메타

SKY® CDG025D-X3 4-20mA

풀 스케일 0.1 ~ 1000 Torr/mbar

드롭인 옵션

진공 측정기 경험을 혁신하세요!

매우 정확한 온도 보정 압력계의 INFICON SKY CDG025D 용량식 격막 진공계 제품군은 열악한 제조 공구 환경에서 안정적인 성능을 발휘하도록 설계되었습니다. 고급 디지털 전자장치는 게이지 성능을 향상시키고 하나의 누름 버튼 제로 기능 및 설정점 조정과 같이 다루기 쉬운 기능을 제공합니다. 부식 방지 초고순도의 세라믹 센서는 대기 버스트를 포함하여 몇 백만 압력 주기의 긴 예상 수명과 함께 탁월한 제로 안정성을 제공합니다. 고유한 센서 차폐(특허 출원 중)는 프로세스 오염으로부터 게이지를 보호합니다. 견고한 기계 설계 및 디지털 전자장치는 EMC 호환성, 장기간 안정성 및 온도 보정을 향상시킵니다. CDG025D는 전원을 켠 후 신속한 안정성과 대기압 노출로부터 신속한 복구를 위한 새로운 표준을 정립합니다.

장점

100mTorr … 1,000Torr의 풀 스케일 범위
전원을 켠 후 조기 안정화
대기압으로부터 빠른 복원
내부식성 세라믹 센서
뛰어난 장시간 신호 안정성
온도 보상
이중 오염 방지 센서
원 푸시 버튼 제로 기능
광범위한 전원 공급
2개의 셋포인트
RS232 인터페이스
Remote zero included
청정실 준수
Status LED

일반적인 응용 분야

Etch, CVD, PVD, ALD용 반도체 제조 장비
데이터 저장 및 디스플레이 제조 장비
산업용 진공 장비
일반적인 고정밀 압력 측정

사양서

1000 Torr / 1100 mbar

500 ... 10 Torr / mbar

1 Torr / mbar

0.25 Torr

0.1 Torr / mbar

정확성	% of reading	0.2

해상도	percent FS	0.003

출력신호(아날로그)
Signal range	mA	3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)	mA	4.0 ... 20.0
Relationship current-pressure	Relationship current-pressure	linear

응답 시간	ms	≤100

진공에 노출된 재료		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

정확성	% of reading	0.2

해상도	percent FS	0.003

출력신호(아날로그)
Signal range	mA	3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)	mA	4.0 ... 20.0
Relationship current-pressure	Relationship current-pressure	linear

응답 시간	ms	≤100

진공에 노출된 재료		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

정확성	% of reading	0.2

해상도	percent FS	0.003

출력신호(아날로그)
Signal range	mA	3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)	mA	4.0 ... 20.0
Relationship current-pressure	Relationship current-pressure	linear

응답 시간	ms	≤100

진공에 노출된 재료		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

정확성	% of reading	0.25

해상도	percent FS	0.003

출력신호(아날로그)
Signal range	mA	3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)	mA	4.0 ... 20.0
Relationship current-pressure	Relationship current-pressure	linear

응답 시간	ms	≤100

진공에 노출된 재료		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

정확성	% of reading	0.5

해상도	percent FS	0.003

출력신호(아날로그)
Signal range	mA	3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)	mA	4.0 ... 20.0
Relationship current-pressure	Relationship current-pressure	linear

응답 시간	ms	≤100

진공에 노출된 재료		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)