핫 이온 게이지
BPG402-SX
ATM~초고진공 게이지
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INFICON 베이어드-알퍼트 피라니 조합 게이지인 BPG402-S는 하나의 작은 장치에서 5×10-10 ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)를 측정하며 두 게이지의 기능을 합니다. 결합된 기술로 설치, 설정 및 통합의 복잡성이 줄어듭니다. 하나의 경제적인 패키지에서 적정하고 반복 가능한 공정으로 기본 압력을 측정할 수 있는 BPG402-S와 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트를 선택하십시오. 온보드 보정 데이터를 사용하는 감지 소자는 센서 교체 시 높은 재현성을 보장합니다.
장점
- 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)의 매우 넓은 측정 범위
- 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
- Pirani 인터록이 필라멘트의 조기 단선 방지
- 수명이 긴 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
- 옵션인 그래픽 디스플레이 및 필드버스 인터페이스 사용 가능
- 자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
- 탁월한 재생력을 보장하는 온보드 보정 데이터를 사용하여 간단하게 감지 소자 교체
- RoHS 준수
일반적인 응용 분야
- 반도체 공정 및 트랜스퍼 챔버의 압력 측정
- 산업용 코팅
- 저진공부터 초고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어
사양서
| Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 1000 3.8×10-10 … 750 |
| Accuracy | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | ±15 |
| Repeatability | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | 5 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange without electronics BPG402-S | °C | 80 |
| Bakeout at flange without electronics BPG402-SL | °C | 150 |
| Supply voltage | V (dc) A (dc) | +20 … +28 ≤0.8 |
| Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass |
파트 넘버
악세사리
스페어 파트
| 파트 넘버 | 설명 |
| 353-570 | BPG402-S DN 25 ISO-KF |
| 353-571 | BPG402-S DN 40 CF-R |
| 353-572 | BPG402-S LCD, DN 25 ISO-KF |
| 353-573 | BPG402-S LCD, DN 40 CF-R |
| 353-578 | BPG402-SL long tube DN 40 CF-R |
| 353-574 | BPG402-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
| 353-575 | BPG402-SP PBus, DN 40 CF-R |
| 353-576 | BPG402-SD DNet, DN 25 ISO-KF |
| 353-577 | BPG402-SD DNet, DN 40 CF-R |
| 353-590 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-591 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
| 353-596 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-597 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
| 파트 넘버 | 설명 |
| 353-511 | Power supply BPG400 24VDC |
| 353-512 | Baffle for BPG400 |
| 211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
| 파트 넘버 | 설명 |
| 354-494 | Spare sensor head BPG402 DN 25 ISO-KF |
| 354-495 | Spare sensor head BPG402 DN 40 CF-R |
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BPG402 Operating Manual, Fieldbus Version (short version)
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BPG402 Operating Manual
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BPG402 DeviceNET Communication Protocol
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BPG402 ProfiBUS Communication Protocol
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BPG402 EtherCAT Comunication Protocol
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BPG402 EtherCAT New Generation Communication Protocol
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353-571 BPG402-S DN 40 CF-R
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353-572 BPG402-S LCD DN 25 ISO-KF
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353-573 BPG402-S LCD DN 40 CF-R
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353-574 BPG402-SP PROFIBUS DN 25 ISO-KF
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353-575 BPG402-SP PROFIBUS DN 40 CF-R
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353-576 BPG402-SD DNET DN 25 ISO-KF
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353-577 BPG402-SD DNET DN 40 CF-R
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353-578 BPG402-SL long-tube DN 40 CF-R
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353-590 BPG402-SE EtherCAT 25 ISO-KF
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353-591 BPG402-SE EtherCAT 40 CF-R
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