커패시턴스 마노메타

Spot™ CDS530D

풀 스케일 10 ~ 1000 Torr/mbar

Spot-CDS530D

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Spot CDS530D 세라믹 커패시턴스 다이어프램 센서는 특정 진공 기기 및 시스템의 제한된 공간에 통합하도록 설계되었습니다. 


듀얼 미니어처 센서는 넓은 측정 범위에서 높은 정확도를 제공하며 알루미나 세라믹 셀과 용접 가능한 스테인리스 스틸 피드스루는 모두 알루미나 코팅 처리되어 있습니다. 센서 전자 장치는 손쉬운 통합을 위해 디지털 SPI 인터페이스를 제공합니다. 

이 센서는 압력 변화에 대한 즉각적인 반응, 뛰어난 반복성 및 장기 안정성을 위한 빠른 데이터 싸이클 시간을 특징으로 합니다.

장점

  • 듀얼 미니어처 센서로 넓은 측정 범위에서 높은 정확도 제공
  • 넓은 범위, 높은 정밀도 
  • 뛰어난 반복성 및 장기 안정성 
  • 쉬운 통합을 위한 SPI 인터페이스가 있는 센서 전자 장치 
  • 교정된 센서의 통합을 위한 용접된 맞춤형 플랜지 
  • 빠른 응답 시간 
  • 높은 과압 능력
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