핫 이온 게이지
Trigon™ BAG552
중간~초고진공 싱글게이지
드롭인 옵션
진공 측정기 경험을 혁신하세요!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
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장점
- 넓은 UHV 및 HV 측정 범위를 위한 순수 베이야드-알퍼트 측정 시스템
- 베이야드-알퍼트 시스템용 필라멘트 2개
- 전기 부유 전류를 방지하기 위한 갈바닉 절연 전자 장치
- 방출 스트림 전환 시 압력 급상승을 방지하는 슬라이딩 에미션 모드
- 탈착식 캘리브레이션 데이터 칩으로 인한 베이크 가능성 확장
- 셋포인트 릴레이
- 사용자 인터페이스가 있는 밝고 큰 OLED 디스플레이(90° 회전 가능)
- 아날로그 출력, RS232C 직렬 인터페이스, EtherCAT®
- VGC50x 컨트롤러 시리즈와 함께 사용 가능
- RoHS 준수
대표적인 어플리케이션
- 반도체 공정에서의 압력 측정
- 산업용 코팅
- 고진공에서 초고진공 범위의 시스템에 대한 일반 진공 측정 및 제어
사양
| 측정 범위 (공기, O2, CO, N2) | 5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar |
| 정확도 | |
| 1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar | ±15 측정값의 |
| 반복성 | 5% 측정값의, 10-8 … 2 × 10-2 mbar (10분 안정화 후) |
| 진공에 노출된 재료 | 스테인리스강, 니켈 도금, 하스텔로이, 유리, 이리듐, 산화 이트륨(Y2O3), 니켈, 텅스텐 |
파트 넘버
스페어 파트
| 파트 넘버 | 설명 |
| 352-420 | BAG552 스페어 센서 헤드, 25KF |
| 352-421 | BAG552 스페어 센서 헤드, 40CF |
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