핫 이온 게이지
BPG400
ATM~초고진공 게이지
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산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?
INFICON 베이어드-알퍼트 피라니 조합 게이지인 BPG400은 하나의 작은 장치에서 두 개의 게이지로 작동하여 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 ~ 대기)를 측정합니다. 결합된 기술로 설치, 설정 및 통합의 복잡성이 줄어듭니다. 하나의 경제적인 패키지에서 적정하고 반복 가능한 공정으로 기본 압력을 측정할 수 있는 BPG400을 선택하십시오.
장점
- 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)의 매우 넓은 측정 범위
- 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
- Pirani 인터록은 Bayard-Alpert 시스템의 조기 필라멘트 단선 및 고압 작동으로 인한 과도한 오염 방지
- 수명이 긴 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
- 옵션인 그래픽 디스플레이 및 필드버스 인터페이스 사용 가능
- 자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
- RoHS 준수
- 저진공부터 초고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어
일반적인 응용 분야
- 반도체 공정 및 트랜스퍼 챔버의 압력 측정
- 산업용 코팅
- 저진공부터 초고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어
사양서
| Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 1000 3.8×10-10 … 750 |
| Accuracy | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | ±15 |
| Repeatability | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | 5 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange with extension | °C | 150 |
| Bakeout at flange without extension | °C | 80 |
| Bakeout electronics removed | °C | 150 |
| Supply voltage | V (dc) A (dc) | +20 … +28 0.8 |
| Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass |
파트 넘버
악세사리
스페어 파트
| 파트 넘버 | 설명 |
| 353-500 | BPG400 DN 25 ISO-KF |
| 353-501 | BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF |
| 353-502 | BPG400 DN 40 CF-R |
| 353-503 | BPG400 LCD, DN 40 CF-R |
| 353-505 | BPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
| 353-506 | BPG400-SP PBus, DN 40 CF-R |
| 353-507 | BPG400-SD DNet, DN 25 ISO-KF |
| 353-508 | BPG400-SD DNet, DN 40 CF-R |
| 파트 넘버 | 설명 |
| 353-511 | Power supply BPG400 24VDC |
| 353-510 | 100 mm sensor extension tube |
| 353-512 | Baffle for BPG400 |
| 211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
| 파트 넘버 | 설명 |
| 354-490 | Spare sensor head BPG400, DN 25 ISO-KF |
| 354-491 | Spare sensor head BPG400, DN 40 CF-R |
| 354-498 | Spare electronic BPG400 without Display |
| 354-499 | Spare electronic BPG400 with Display |
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TIMA03D1 BPG400xx Gebrauchsanleitung kurz
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TIMA36E1_BPG400xx operating manual-supplement
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TINA03E1_BPG400-xx operating manual_long
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TIRA03E1 DeviceNet BPG400x Communication Protocol
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TIRA36E1 PROFIBUS BPG400x Communication Protocol
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3D Step Files
352-501 BPG400 with LCD, DN 25 ISO-KF
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353-500 BPG400 without LCD, DN 25 ISO-KF
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3D 파일
353-502 BPG400 without LCD, DN 40 CF-R
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3D 파일
353-503 BPG400 with LCD, DN 40 CF-R
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353-505 BPG400-SP with PROFIBUS DP, DN 25 ISO-KF
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3D 파일
353-506 BPG400-SP with PROFIBUS DP, DN 40 CF-R
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3D 파일
353-507 BPG400-SD with DeviceNet™, DN 25 ISO-KF
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3D 파일
353-508 BPG400-SD with DeviceNet™, DN 40 CF-R
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3D 파일
354-490 BPG400 Replacement sensor DN 25 ISO-KF
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354-491 BPG400 Replacement sensor DN 40 CF-R
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