진공 게이지 및 컨트롤러
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INFICON 피라니 표준 게이지인 PSG500, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S에는 시장에서 제공되는 최첨단 디지털 피라니 기술이 적용되어 있습니다.
- 간단한 푸시 버튼 ATM 및 HV 조정
- 공간 절약형의 견고한 디자인
- 알루미늄 하우징
- 모든 방향으로 장착 가능
Most advanced digital Pirani technology, compact size and the variety of features.
- Available with Tungsten (PSG550) or Nickel (PSG552) filament or with a fully ceramic coated (PSG554) sensor unit for highly corrosive applications
- Optional display, setpoints and digital interfaces
- Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
- Easy to exchange plug & play sensor element with on-board calibration data - guarantees high reproducibility and low cost of ownership
INFICON 피라니 용량식 격막 진공계(PCG55x)는 INFICON 피라니 기술과 세라믹 용량식 격막 센서의 이점을 단일 제품에 결합하고 있습니다.
- 10 mbar 초과하는 가스 유형 독립적 – 모든 가스 혼합물을 안전하게 환기할 수 있음
- 대기에서의 높은 정확성 및 재현성 – 신뢰할 수 있고 신속한 대기압 탐지를 위해
- 다양한 장착 방향 – 공구 설계에서 자유로운 엔지니어링 제공
- 텅스텐(PCG550) 또는 니켈(PCG552) 필라멘트, 또는 부식성이 강한 적용개소를 위한 완전 세라믹 코팅(PCG554) 센서 장치와 함께 사용 가능
INFICON Gemini™ 전환형 마그네트론 진공 게이지는 모든 진공 측정 분야에 적용 가능한 장치입니다(진행 중).
- Long lifetime in harsh environments
- 혹독한 환경에서 긴 수명 유지
- 낮은 누출 자계
- 유지보수 필요 없음 - 교체 가능한 부속품
INFICON 전환형 마그네트론 피라니 게이지인 MPG400 및 MPG401은 5 x 10-9 mbar ~ 대기(3.8 x 10-9 Torr ~ 대기)를 측정합니다.
- 조합 게이지 – 전환형 마그네트론 및 Pirani
- 5 x 10-9 mbar ~ 대기의 광범위한 측정 범위
- 단선될 필라멘트 없음
- 뛰어난 점화 특성
Inverted Magnetron Vacuum Gauge is for all ultra high vacuum applications, measurement range from 5x10-11 mbar
- Measurement range down to 5x10-11 mbar
- Extended version, sensor bakeout up to 250°C
- Excellent ignition properties
- Easy to clean
INFICON 단일 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지인 BAG402는 5×10-10 mbar ~ 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr ~ 5×10-2 Torr)의 광범위한 측정 범위를 다룹니다.
- 5×10-10 mbar ~ 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr ~ 5×10-2 Torr)의 측정 범위
- 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
- 과압을 감지하여 필라멘트가 조기 단선되지 않도록 보호
- 수명이 긴 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
ATM - 초고진공 고온 음극 게이지
다른 제조업체의 PBR 260 피라니/베이야드-알퍼트 핫 캐소드 게이지와 드롭인 호환 가능
- 파트너 번호 IGG27000은 PT R27 000과 일치합니다.
- 파트너 번호 IGG27001은 PT R27 001과 일치합니다.
- 파트너 번호 IGG27002는 PT R27 002와 일치합니다.
INFICON 베이어드-알퍼트 피라니 조합 게이지인 BPG400은 하나의 작은 장치에서 두 개의 게이지로 작동하여 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 ~ 대기)를 측정합니다.
- 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)의 매우 넓은 측정 범위
- 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
- Pirani 인터록은 Bayard-Alpert 시스템의 조기 필라멘트 단선 및 고압 작동으로 인한 과도한 오염 방지
- 수명이 긴 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
INFICON 베이어드-알퍼트 피라니 조합 게이지인 BPG402-S는 하나의 작은 장치에서 5×10-10 ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)를 측정하며 두 게이지의 기능을 합니다.
- 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)의 매우 넓은 측정 범위
- 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
- Pirani 인터록이 필라멘트의 조기 단선 방지
- 수명이 긴 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
INFICON 바야드-알퍼트 피라니 커패시턴스 다이어프램 게이지 BCG450은 컴팩트하고 경제적인 단일 패키지에 세 가지 기술 이점을 결합하여 5 x 10-10 ~ 1,500mbar(3.75 x 10-10 ~ 1,125 Torr)의 공정 및 베이스 압력을 측정합니다.
- BCG450은 비용 및 장비 공간을 줄이고 진공 측정장치 설치 및 설정 복잡성 감소
- 10 Torr 넘는 가스 유형 독립 압력 측정으로 모든 가스 혼합물에 대해 보다 신뢰성 있는 로드록 제어 가능
- Pirani 인터록은 핫 필라멘트의 조기 단선 방지
- 자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
INFICON 고압 고온 이온화 피라니 게이지인 HPG400은 2×10-6 mbar부터 대기(1.5×10-6 Torr ~ 대기)까지의 압력을 측정하는 소형의 경제적인 단일 패키지에 고압 고온 이온화 및 피라니 센서를 결합합니다.
- HPG400은 비용 및 장비 공간을 줄이고 진공 시스템 설치 및 설정 복잡성 감소
- 고압 고온 이온 게이지는 향상된 공정 제어를 위해 1×10-5 … 1 mbar의 정확하고 신뢰할 수 있는 압력 측정 제공
- 5×10-2 ~ 1 mbar의 사용자 선택형 고온 이온 배출 활성화
- Pirani 인터록은 핫 필라멘트의 조기 단선 방지
INFICON 피라니 게이지 강화 300(PGE300)은 자매 제품 중 크기가 더 큰 PGE500와 같이 시장에서 제공되는 최신 디지털 대류 강화 피라니 기술이 적용되어 있습니다.
- 대기에 가까운 넓은 측정 범위와 높은 정확도를 위해 대류 강화된 Pirani 기술
- 내장 디스플레이, 1개의 셋포인트 및 3개의 선택 가능한 아날로그 출력 신호가 있는 올인원 액티브 게이지
- 밝은 디지털 LED 디스플레이는 보정 및 작동 시 사용자 친화적으로 기능함
- 3개의 옵션 아날로그 출력 신호(사용자 선택 가능)
INFICON PGE(Pirani Gauge Enhanced) DeviceNet 버전에는 최신 디지털 대류 강화 피라니 기술이 탑재되어 있습니다.
- 넓은 측정 범위와 대기압 근처에서 더 높은 정확도를 위한 대류 강화 피라니 기술
- 내장형 디스플레이, 2개의 셋포인트 및 디지털 DeviceNet 인터페이스가 있는 올인원 액티브 게이지
- 간단한 설정, 교정 및 작동을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이
- 공장 사전 설정된 디스플레이 단위 또는 키패드를 통해 선택 가능
INFICON 피라니 게이지 강화 500(PGE500)은 시장에서 제공되는 최신 디지털 대류 강화 피라니 기술이 적용되어 있습니다.
- 대기에 가까운 넓은 측정 범위와 높은 정확도를 위해 대류 강화된 Pirani 기술
- 내장 디스플레이, 2개의 셋포인트, 4개의 아날로그 출력 신호 및 2개의 디지털 인터페이스가 있는 올인원 액티브 게이지
- 간편한 설정, 보정 및 작동을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이
- 4개의 옵션 아날로그 출력 신호(사용자 선택 가능 3개, 기본 1개)
새로운 INFICON 피라니 피에조 컴비네이션 게이지(PPG550)는 사용 가능한 가장 진보된 MEMS( Microelctromechanical Systems) 센서 기술을 기반으로 합니다.
- 2 mbar 이상에서 가스 유형에 독립적 – 모든 가스로 안전한 벤팅 가능
- 대기압에서 높은 정확도 및 재현성 – 신뢰할 수 있고 빠른 압력 감지 다양한 장착 방향 – 장비 설계에서 엔지니어링 자유 제공 손쉬운 시스템 통합을 위한 선택 가능한 아날로그 출력 신호
새로운 INFICON Pirani Piezo 조합 게이지(PPG570)는 사용 가능한 가장 진보된 MEMS( Microelctromechanical Systems) 센서 기술을 기반으로 하며 PPG550 "ATM ~ 중진공" 게이지에도 사용됩니다.
- 2mbar 이상에서 독립적인 가스 유형 – 모든 가스 혼합물을 안전하게 배출할 수 있습니다.
- 대기에서 높은 정확도와 재현성 – 신뢰할 수 있고 빠른 기압 감지
- 대기압 측정
INFICON 단일 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지 BAG302는 1.3 × 10-9mbar ~ 6.7×10-2mbar(1 × 10-9 Torr ~ 5 × 10-2 Torr)의 광범위한 측정 범위를 다룹니다.
- 1.3 × 10-9 ~ 6.7×10-2mbar(1 × 10-9 ~ 5 × 10-2 Torr)의 광범위한 측정 범위
- 수명이 긴 2개의 표준 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
- 내장 디스플레이, 셋포인트, 아날로그 출력 신호 및 표준 통합 RS485 디지털 인터페이스가 있는 올인원 액티브 게이지
- 간편한 설정, 작동 및 프로그래밍을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이
큰 성능 , 작은 크기
- 뛰어난 스팬 안정성 - 가스 유형 독립적
- 내부식성 알루미나 센서
- 동급 최소형 디자인
- 간단한 통합, 모든 방향 장착 가능
산업 어플리케이션 , 온도 보상
- 100 mTorr ~ 1000 Torr의 전체 범위
- 전원을 켠 후 조기 안정화
- 대기압에서 빠르게 복원
- 내부식성 세라믹 센서
혹독한 공정 어플리케이션, 온도 보상
- 100 mTorr ~ 1000 Torr의 전체 범위
- 전원을 켠 후 조기 안정화
- 대기압에서 빠르게 복원
- 내부식성 세라믹 센서
전류 루프, 온도 보상
- 100mTorr … 1,000Torr의 풀 스케일 범위
- 전원을 켠 후 조기 안정화
- 대기압으로부터 빠른 복원
- 내부식성 세라믹 센서
우수한 신호 안정성, 온도 제어
- CoO(소유 비용) 절감, 예열 속도 50% 증가, 에너지 효율적인 저전력 소비
- 간편한 통합, 다양한 규모, 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점을 포함한 표준
- 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
우수한 신호 안정성, 온도 제어
- CoO(소유 비용) 절감, 예열 속도 50% 증가, 에너지 효율적인 저전력 소비
- 간편한 통합, 다양한 규모, 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점을 포함한 표준
- 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
고온 어플리케이션, 온도 제어
- CoO(소유 비용) 절감, 예열 속도 50% 증가, 에너지 효율적인 저전력 소비
- 간편한 통합, 다양한 규모, 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점을 포함한 표준
- 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
고온 어플리케이션, 온도 제어
- CoO(소유 비용) 절감, 예열 속도 50% 증가, 에너지 효율적인 저전력 소비
- 간편한 통합, 다양한 규모, 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점을 포함한 표준
- 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
EtherCAT, 온도 보상
- 간편한 통합, EtherCAT, 광범위한 풀 스케일 및 플랜지, 2개의 설정 지점을 갖춘 표준
- 간단한 하나의 푸시 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 빠른 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
- 내부식성 세라믹 센서
작은 설치 공간 , 온도 제어
- 중요한 공구 공간을 절약하는 작은 크기
- 간편한 통합, EtherCAT, 다양한 규모 및 플랜지, 2개의 셋포인트가 있는 표준
- 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
작은 설치 공간 , 온도 제어
- 중요한 공구 공간을 절약하는 작은 크기
- 간편한 통합, EtherCAT, 다양한 규모 및 플랜지, 2개의 셋포인트가 있는 표준
- 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
고속, 온도 제어
- 높은 생산성 – 2ms 미만의 응답 시간
- 유연한 통합 - EtherCAT 필드버스
- 긴 수명 - 입증된 세라믹 센서
- 재보정 필요 없음 – 연간 90ppm의 전체 범위 안정성
고속, 온도 제어
- 높은 생산성 – 2ms 미만의 응답 시간
- 유연한 통합 - EtherCAT 필드버스
- 긴 수명 - 입증된 세라믹 센서
- 재보정 필요 없음 – 연간 90ppm의 전체 범위 안정성
기준, 진정한 고정밀
- 진정한 고정밀 압력 측정 – 세라믹 기술
- 아주 안정적인 출력 – PTB에서 입증됨
- 유연한 통신 – 다양한 최신 인터페이스
- 모든 기능 통합 – 컨트롤러 필요 없음
OEM용 소형 센서,
- 소형 알루미나(Al2O3) 세라믹 코팅 용량식 격막 센서는 내부식성이 뛰어남
- 뛰어난 반복 가능성 및 장시간 안정성
- 사용자 지정 통합 및 보정을 위한 용접 가능한 피드스루 또는 공장 보정 센서의 통합을 위한 용접식 사용자 지정 플랜지
- SPI 인터페이스를 갖춘 센서 전자장치로 손쉬운 통합과 안전한 통신 가능
OEM용 소형 센서, 듀얼 센서
- 소형 알루미나(Al2O3) 세라믹 코팅 커패시턴스 다이어프램 센서는 UHP 준수 표면으로 내식성이 뛰어납니다.
- 넓은 범위, 높은 정밀도
- 뛰어난 반복성 및 장기 안정성
대기압에 대한 차압 - 진공 시스템용 안전 스위치
- 신뢰할 수 있고 저렴한 진공 스위치
- 긴 수명
- 견고한 디자인
- 간편한 통합 방식
조정 가능한 전기 스위칭 접점 이 있는 절대압 스위치
- 높은 스위칭 정확성(± 0.1 mbar)
- 안정적인 장기 작동 특성
- 견고한 내부식성 설계
절대압 스위치 - 정확하고 신뢰할 수 있는 압력 감지
- IP 44 보호
- 무위상 접점을 가진 릴레이 출력
- 고정밀 온도 보상 센서
- 압력 범위 1×10-9 mbar … 2 bar
차압 스위치 - 정확하고 신뢰할 수 있는 압력 감지
- 내부식성 전체 스테인레스강 설계
- 견고한 디자인, 청정실 규격
- 셋포인트가 공장에서 사전 설정되거나 현장에서 조정 가능하여 설치가 간편함
광범위한 INFICON 액티브 게이지와 호환 가능한 액티브 게이지 컨트롤러의 새로운 VGC50x 시리즈는 10⁻¹⁰ ~ 1500 mbar(10⁻¹⁰ ~ 1125 Torr)의 전체 압력 범위와 설정값 상태를 모니터링하고 데이터 로그를 기록할 수 있습니다.
- 도트 매트릭스 메뉴 안내식 디스플레이를 통한 파라미터, 센서 또는 일반 설정을 간편하게 작동
- 먼 거리 기기 판독을 위한 매우 밝고 또렷한 디스플레이
- 막대 그래프로 표시되는 설정값 또는 압력/시간 표시
- USB 포트(뒷면)와 USB 스틱(앞면)을 이용한 데이터 로그 및 변수 로그 기록 기능
INFICON 피라니 게이지 강화 050(PGE050)은 액티브 대류 강화 피라니 게이지인 PGE300 및 PGE500의 패시브 버전입니다.
- 대기에 가까운 넓은 측정 범위와 높은 정확도를 위해 대류 강화된 Pirani 기술
- 금 도금 텅스텐 필라멘트
- 기계적 충격과 진동에 덜 영향받고 매우 견고한 기계적 강도
- 플랜지 옵션 선택
INFICON 패시브 냉음극 게이지 헤드 MAG050 및 MAG060은 INFICON 진공 게이지 컨트롤러 VGC083C와 함께 사용하도록 설계되어 있습니다.
- 믿을 수 있고 입증된 게이지 헤드 설계
- 150°C(MAG050) 또는 250°C(MAG060)로 베이킹 가능
- 우수한 점화 특성
- 내부식성 및 세라믹 피드스루
INFICON 베이어드-알퍼트 패시브 진공 게이지 헤드 BAG050, BAG051, BAG052 및 BAG053은 INFICON 진공 게이지 컨트롤러 VGC083A 및 VGC083B와 함께 사용하도록 설계되어 있습니다.
- 믿을 수 있고 입증된 게이지 헤드 설계
- 대부분의 누드 고온 이온 게이지 헤드에 대해 드롭인
- 광범위한 방출 전류(100 μA ~ 10 mA)
- 단일/이중 산화이트륨 코팅 이리듐 및 이중 텅스텐 필라멘트 음극 어셈블리와 함께 사용 가능
INFICON 진공 게이지 컨트롤러 031(VGC031)은 INFICON 피라니 게이지 강화 050(PGE050)과 함께 사용하도록 설계되어 있으며 편리한 전원 공급, 제어 및 판독 기능을 수행합니다.
- 1.3 × 10-4 ~ 1333 mbar(1 × 10-4 ~ 1000 Torr)의 넓은 측정 범위 표시 및 제어
- 간편한 설정 및 작동을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이
- 사용자가 선택할 수 있는 4개의 아날로그 출력 신호
- 2개의 셋포인트 릴레이
새로운 INFICON 진공 게이지 컨트롤러 VGC083은 패시브 게이지 헤드 BAG05x 및 PGE050과 함께 2개의 PGE050 게이지와 1개의 BAG05x 게이지를 고정적으로 결합하여 사용하도록 설계되어 있습니다.
- 소프트키를 사용하는 파라미터, 센서 또는 일반 설정을 위한 특수 OLED 디스플레이로 작동이 간편함
- 먼 거리 진공 압력 판독을 위한 매우 밝고 또렷한 LED 디스플레이
- 사용자가 임의의 게이지에 할당할 수 있는 3개의 아날로그 출력
- 게이지 헤드 유형에 따라 게이지 컨디셔닝을 위한 가스 제거 전자 충격 가공 또는 I2R 저항 가열
INFICON CDG 제품 라인에 연결하여 4자리 디스플레이 제공
- 4자릿수 디스플레이로 판독이 쉬움
- 대형 10 mm 액티브 LED 디스플레이 -
먼 거리 및 광범위한 게이지 각도에서 판독 가능 - 인라인 플러그 설계
- 15핀 D-Sub, 추가 전원 연결 없음