진공 게이지 및 컨트롤러

핫 이온 게이지

BAG05x

INFICON 베이어드-알퍼트 패시브 진공 게이지 헤드 BAG050, BAG051, BAG052 및 BAG053은 INFICON 진공 게이지 컨트롤러 VGC083A 및 VGC083B와 함께 사용하도록 설계되어 있습니다.

BAG05X

믿을 수 있고 입증된 게이지 헤드 설계
대부분의 누드 고온 이온 게이지 헤드에 대해 드롭인
광범위한 방출 전류(100 μA ~ 10 mA)
단일/이중 산화이트륨 코팅 이리듐 및 이중 텅스텐 필라멘트 음극 어셈블리와 함께 사용 가능

Hot Ionization Gauges

BAG302

INFICON 단일 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지 BAG302는 1.3 × 10^-9mbar ~ 6.7×10^-2mbar(1 × 10^-9 Torr ~ 5 × 10^-2 Torr)의 광범위한 측정 범위를 다룹니다.

BAG302 중간 ~ 초고진공 게이지

1.3 × 10^-9 ~ 6.7×10^-2mbar(1 × 10^-9 ~ 5 × 10^-2 Torr)의 광범위한 측정 범위
수명이 긴 2개의 표준 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
내장 디스플레이, 셋포인트, 아날로그 출력 신호 및 표준 통합 RS485 디지털 인터페이스가 있는 올인원 액티브 게이지
간편한 설정, 작동 및 프로그래밍을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이

Hot Ionization Gauges

BAG402

INFICON 단일 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지인 BAG402는 5×10^-10 mbar ~ 2.7×10^-2 mbar(3.75×10^-10 Torr ~ 5×10^-2 Torr)의 광범위한 측정 범위를 다룹니다.

BAG402 중간~초고진공 게이지

5×10^-10 mbar ~ 2.7×10^-2 mbar(3.75×10^-10 Torr ~ 5×10^-2 Torr)의 측정 범위
5%의 10^-8 … 10^-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
과압을 감지하여 필라멘트가 조기 단선되지 않도록 보호
수명이 긴 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트

핫 이온 게이지

BPG400 ATM~초고진공 게이지

INFICON 베이어드-알퍼트 피라니 조합 게이지인 BPG400은 하나의 작은 장치에서 두 개의 게이지로 작동하여 5×10^-10 mbar ~ 대기(3.8×10^-10 ~ 대기)를 측정합니다.

BPG400

5×10^-10 mbar ~ 대기(3.8×10^-10 Torr ~ 대기)의 매우 넓은 측정 범위
5%의 10^-8 … 10^-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
Pirani 인터록은 Bayard-Alpert 시스템의 조기 필라멘트 단선 및 고압 작동으로 인한 과도한 오염 방지
수명이 긴 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트

핫 이온 게이지

BPG402-Sx

INFICON 베이어드-알퍼트 피라니 조합 게이지인 BPG402-S는 하나의 작은 장치에서 5×10^-10 ~ 대기(3.8×10^-10 Torr ~ 대기)를 측정하며 두 게이지의 기능을 합니다.

BPG402-SX

5×10^-10 mbar ~ 대기(3.8×10^-10Torr ~ 대기)의 매우 넓은 측정 범위
5%의 10^-8 … 10^-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
Pirani 인터록이 필라멘트의 조기 단선 방지
수명이 긴 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트

커패시턴스 마노메타

Cube® CDGsci

기준, 진정한 고정밀

큐브 CDGSCI

진정한 고정밀 압력 측정 – 세라믹 기술
아주 안정적인 출력 – PTB에서 입증됨
유연한 통신 – 다양한 최신 인터페이스
모든 기능 통합 – 컨트롤러 필요 없음

커패시턴스 마노메타

Edge® CDG025D2

EtherCAT, 온도 보상

Edge® CDG025D2

간편한 통합, EtherCAT, 광범위한 풀 스케일 및 플랜지, 2개의 설정 지점을 갖춘 표준
간단한 하나의 푸시 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
빠른 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
내부식성 세라믹 센서

커패시턴스 마노메타

Edge® CDG045D2

작은 설치 공간 , 온도 제어

Edge® CDG045D2

중요한 공구 공간을 절약하는 작은 크기
간편한 통합, EtherCAT, 다양한 규모 및 플랜지, 2개의 셋포인트가 있는 표준
손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트

커패시턴스 마노메타

Edge® CDG100D2

작은 설치 공간 , 온도 제어

Edge® CDG100D2

중요한 공구 공간을 절약하는 작은 크기
간편한 통합, EtherCAT, 다양한 규모 및 플랜지, 2개의 셋포인트가 있는 표준
손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트

Cold Cathode Gauges

Gemini™ MxG5xx

INFICON Gemini™ 전환형 마그네트론 진공 게이지는 모든 진공 측정 분야에 적용 가능한 장치입니다(진행 중).

GEMINI™ MXG5XX ATM~초고진공 게이지

Long lifetime in harsh environments
혹독한 환경에서 긴 수명 유지
낮은 누출 자계
유지보수 필요 없음 - 교체 가능한 부속품

Hot Ionization Gauges

HPG400

INFICON 고압 고온 이온화 피라니 게이지인 HPG400은 2×10^-6 mbar부터 대기(1.5×10^-6 Torr ~ 대기)까지의 압력을 측정하는 소형의 경제적인 단일 패키지에 고압 고온 이온화 및 피라니 센서를 결합합니다.

HPG400 ATM~고진공 게이지

HPG400은 비용 및 장비 공간을 줄이고 진공 시스템 설치 및 설정 복잡성 감소
고압 고온 이온 게이지는 향상된 공정 제어를 위해 1×10^-5 … 1 mbar의 정확하고 신뢰할 수 있는 압력 측정 제공
5×10^-2 ~ 1 mbar의 사용자 선택형 고온 이온 배출 활성화
Pirani 인터록은 핫 필라멘트의 조기 단선 방지

Cold Cathode Gauges

MAG050 & MAG060

INFICON 패시브 냉음극 게이지 헤드 MAG050 및 MAG060은 INFICON 진공 게이지 컨트롤러 VGC083C와 함께 사용하도록 설계되어 있습니다.

MAG050 MAG060 냉음극 게이지 - 패시브

믿을 수 있고 입증된 게이지 헤드 설계
150°C(MAG050) 또는 250°C(MAG060)로 베이킹 가능
우수한 점화 특성
내부식성 및 세라믹 피드스루

Cold Cathode Gauges

MAG470

Inverted Magnetron Vacuum Gauge is for all ultra high vacuum applications, measurement range from 5x10^-11 mbar

MAG470

Measurement range down to 5x10^-11 mbar
Extended version, sensor bakeout up to 250°C
Excellent ignition properties
Easy to clean

Cold Cathode Gauges

MPG40X

INFICON 전환형 마그네트론 피라니 게이지인 MPG400 및 MPG401은 5 x 10^-9 mbar ~ 대기(3.8 x 10^-9 Torr ~ 대기)를 측정합니다.

MPG40X ATM~초고진공 게이지

조합 게이지 – 전환형 마그네트론 및 Pirani
5 x 10^-9 mbar ~ 대기의 광범위한 측정 범위
단선될 필라멘트 없음
뛰어난 점화 특성

Pirani Gauges

PCG55X

INFICON 피라니 용량식 격막 진공계(PCG55x)는 INFICON 피라니 기술과 세라믹 용량식 격막 센서의 이점을 단일 제품에 결합하고 있습니다.

PCG55X ATM~중간진공 게이지

10 mbar 초과하는 가스 유형 독립적 – 모든 가스 혼합물을 안전하게 환기할 수 있음
대기에서의 높은 정확성 및 재현성 – 신뢰할 수 있고 신속한 대기압 탐지를 위해
다양한 장착 방향 – 공구 설계에서 자유로운 엔지니어링 제공
텅스텐(PCG550) 또는 니켈(PCG552) 필라멘트, 또는 부식성이 강한 적용개소를 위한 완전 세라믹 코팅(PCG554) 센서 장치와 함께 사용 가능

Pirani Gauges

PGE050

INFICON 피라니 게이지 강화 050(PGE050)은 액티브 대류 강화 피라니 게이지인 PGE300 및 PGE500의 패시브 버전입니다.

PGE050 ATM ~ 중진공 게이지

대기에 가까운 넓은 측정 범위와 높은 정확도를 위해 대류 강화된 Pirani 기술
금 도금 텅스텐 필라멘트
기계적 충격과 진동에 덜 영향받고 매우 견고한 기계적 강도
플랜지 옵션 선택

Pirani Gauges

PGE300 ATM ~ 중진공 게이지

INFICON 피라니 게이지 강화 300(PGE300)은 자매 제품 중 크기가 더 큰 PGE500와 같이 시장에서 제공되는 최신 디지털 대류 강화 피라니 기술이 적용되어 있습니다.

PGE300 ATM ~ 중진공 게이지

대기에 가까운 넓은 측정 범위와 높은 정확도를 위해 대류 강화된 Pirani 기술
내장 디스플레이, 1개의 셋포인트 및 3개의 선택 가능한 아날로그 출력 신호가 있는 올인원 액티브 게이지
밝은 디지털 LED 디스플레이는 보정 및 작동 시 사용자 친화적으로 기능함
3개의 옵션 아날로그 출력 신호(사용자 선택 가능)

피라니 게이지

PGE500 - DeviceNet

INFICON PGE(Pirani Gauge Enhanced) DeviceNet 버전에는 최신 디지털 대류 강화 피라니 기술이 탑재되어 있습니다.

PGE500 - DeviceNet

넓은 측정 범위와 대기압 근처에서 더 높은 정확도를 위한 대류 강화 피라니 기술
내장형 디스플레이, 2개의 셋포인트 및 디지털 DeviceNet 인터페이스가 있는 올인원 액티브 게이지
간단한 설정, 교정 및 작동을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이
공장 사전 설정된 디스플레이 단위 또는 키패드를 통해 선택 가능

Pirani Gauges

PGE500 - RS485/ Analog

INFICON 피라니 게이지 강화 500(PGE500)은 시장에서 제공되는 최신 디지털 대류 강화 피라니 기술이 적용되어 있습니다.

PGE500 ATM ~ 중진공 게이지

대기에 가까운 넓은 측정 범위와 높은 정확도를 위해 대류 강화된 Pirani 기술
내장 디스플레이, 2개의 셋포인트, 4개의 아날로그 출력 신호 및 2개의 디지털 인터페이스가 있는 올인원 액티브 게이지
간편한 설정, 보정 및 작동을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이
4개의 옵션 아날로그 출력 신호(사용자 선택 가능 3개, 기본 1개)

피라니 게이지

PPG550

새로운 INFICON 피라니 피에조 컴비네이션 게이지(PPG550)는 사용 가능한 가장 진보된 MEMS( Microelctromechanical Systems) 센서 기술을 기반으로 합니다.

PPG550

2 mbar 이상에서 가스 유형에 독립적 – 모든 가스로 안전한 벤팅 가능
대기압에서 높은 정확도 및 재현성 – 신뢰할 수 있고 빠른 압력 감지 다양한 장착 방향 – 장비 설계에서 엔지니어링 자유 제공 손쉬운 시스템 통합을 위한 선택 가능한 아날로그 출력 신호

피라니 게이지

PPG570

새로운 INFICON Pirani Piezo 조합 게이지(PPG570)는 사용 가능한 가장 진보된 MEMS( Microelctromechanical Systems) 센서 기술을 기반으로 하며 PPG550 "ATM ~ 중진공" 게이지에도 사용됩니다.

PPG570

2mbar 이상에서 독립적인 가스 유형 – 모든 가스 혼합물을 안전하게 배출할 수 있습니다.
대기에서 높은 정확도와 재현성 – 신뢰할 수 있고 빠른 기압 감지
대기압 측정

Pirani Gauges

PSG55x

Most advanced digital Pirani technology, compact size and the variety of features.

PSG55x

Available with Tungsten (PSG550) or Nickel (PSG552) filament or with a fully ceramic coated (PSG554) sensor unit for highly corrosive applications
Optional display, setpoints and digital interfaces
Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
Easy to exchange plug & play sensor element with on-board calibration data - guarantees high reproducibility and low cost of ownership