センサー＆フィードスルー
INFICONの薄膜センサとフィードスルーで、ディスプレイ、ソーラーパネル、光学、半導体、航空宇宙、そして産業用アプリケーションの薄膜蒸着プロセスの正確で信頼できる計測とコントロールを実現します。そして高精度と耐久性のために設計され、プロセス効率と膜品質を高めます。
結果を得るには、フィルタをリセットしてください。
Easy Rateシングルセンサは、コストを最小限に抑えながら、生産性を最大化できます。これらのセンサは、センサ寿命を長く、メンテナンスを少なくすることにより可用性を最大化します。
- Minimum investment with lowest upfront cost
- Lowest total cost of ownership from extended sensor life
- Maximum throughput with less maintenance
- Easy installation
INFICONの前面搭載型シングル振動子センサーは実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサーヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。
- 前面搭載振動子ホルダー
- 取り付けが容易
- 2.54 cm (1インチ)ボルトフィードスルー/CF40フィードスルーおよびとともに利用可能
- 圧力継手と一緒に注文すれば長さの調整が可能
INFICONの前面搭載型デュアル振動子センサは、実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。
- デュアル振動子
- 振動子シャッター
- 前面搭載振動子ホルダー
- 取り付けが容易
Cool Drawerシングルセンサーは振動子が横からセンサー内に取り付けられており、前面搭載の振動子を取り付けるにはスペースが足りない場合に便利です。
- 内部ケーブルなし
- Cool Drawer振動子ホルダー
- 取り付けが容易
- 溶接済みCF40フランジと一緒に注文すればベーク可能
Cool Drawerデュアルセンサは、真空チャンバ内に2つ目の振動子を置くことが望ましい、非常に重要なプロセスのためにデザインされています。
- デュアル振動子
- Cool Drawer振動子ホルダー
- 内部ケーブルなし
- 振動子シャッター
Easy Rateデュアルセンサにより、1つの振動子だけでは不十分なQCM用途に、シンプルで安価なソリューションを提供します。
- デュアル振動子
- 廉価
- 前面搭載の振動子ホルダー
- 振動子シャッター付属
INFICONのUHVベーク可能振動子センサーは実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサーヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。
- 高温ろう付けおよび溶接構造
- ベークアウト温度は450° Cまで
- 振動子シャッター (オプション)
- 前面搭載振動子ホルダー
ALDアプリケーションにおいて精度とアップタイムを最適化し、メンテナンスは最小限
- 大半のALD処理温度との互換性あり
- メンテナンスを大幅に削減
- システムのアップタイムを最大化
- 計測精度を最大化
INFICONのCrystalSixセンサは、連続定格コントロールを要する長いプロセスに不可欠です。
- 6基の振動子を装着し、安定した自動切り替えによりプロセスアップタイムを最大化
- 振動子の切り替えは空気で操作されるため、振動子の温度が安定(他社製品は発熱するモーターを使用)
- 1/8インチチューブが熱安定性を維持し、柔軟なセンサー交換を可能にする
- オプションで振動シャッターもあり
要求の厳しい用途で水晶振動子の優れた性能を発揮
- 6つの振動子
- ポジションフィードバック(コントローラーに依存)
- 長さ調節可能（オプションのフランジによる）
- 堅牢な設計
振動子を自動的に切り替えて生産時間を最大効率化
- 12基の振動子を保持し、安定した自動切り替え方式によりプロセスのアップタイムを最大化
- 取り外しが簡単なカローセルで、12基の振動子を迅速に交換できる
- 振動子の切り替えは圧空で操作されるため、振動子の温度が安定 (競合品は発熱するモーターを使用)
NFICONは、多様な水晶振動子モニタ（QCM）センサフィードスルーを提供しており、多くのQCMセンサとチャンバ構成に対応します。
- 2.54 cm (1 in.) ボルトまたはCF40 (2.75 in. ConFlat®) スタイル入手可能
- Ultra-Torr Oリングコンプレッションフィッティング入手可能
- カスタムフィードスルー構成利用可能
- 要求に応じて他のフィードスルースタイルも利用可能
INFICONは、多様な水晶振動子モニタ（QCM）センサフィードスルーを提供しており、Easy Rate Sensorに対応します。
- 2.54 cm (1 in.) bolt or CF40 (2.75 in. ConFlat®) styles available
- Available with bored-through tube fittings