Sensores y pasamuros
Obtenga una medición y un control precisos y fiables de los procesos de deposición de películas finas en aplicaciones industriales, aeroespaciales, de semiconductores, ópticas, solares y de pantallas con los sensores de películas finas y los pasamuros de INFICON. Diseñados para ofrecer alta precisión y durabilidad, mejoran la eficiencia del proceso y la calidad de la película.
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Los sensores dobles de tasa sencilla pueden maximizar la producción a la vez que minimizan el coste.
- Mínima inversión con el menor coste inicial
- Menor coste total de propiedad gracias a la mayor vida útil del sensor
- Máximo rendimiento con menos mantenimiento
- Fácil instalación
Los sensores individuales de cristal de carga frontal de INFICON ofrecen una fiabilidad y durabilidad demostradas y presentan la mejor estabilidad térmica de cualquier cabeza de sensor del mercado.
- Soporte de cristal de carga frontal
- Instalación fácil
- Disponible con paso de perno de 2,54 cm (1 pulg.)/paso eléctrico CF40
Los sensores duales de cristal de carga frontal de INFICON ofrecen una fiabilidad y durabilidad demostradas y presentan la mejor estabilidad térmica de cualquier cabeza de sensor del mercado.
- Cristales dobles
- Obturador de cristal
- Soporte de cristal de carga frontal
- Instalación fácil
Los sensores individuales Cool Drawer permiten la instalación de cristal en el sensor desde el lateral, lo que resulta útil en sistemas que no tienen espacio suficiente para la carga frontal del cristal.
- Sin cables internos
- Soporte de cristal Cool Drawer
- Instalación fácil
- Refractario si se solicita con una brida CF40 soldada
El sensor dual Cool Drawer se ha diseñado para su uso en procesos críticos en los que es preferible tener un segundo cristal en la cámara de vacío.
- Cristales dobles
- Soporte de cristal Cool Drawer
- Sin cables internos
- Obturador de cristal
Los sensores dobles de tasa sencilla ofrecen una solución simple y asequible para aplicaciones QCM en los que un cristal puede no ser suficiente.
- Cristales dobles
- Precio de valor
- Diseño de bajo perfil
- Incluye obturador de cristal
Los sensores refractarios de cristal UHV de INFICON ofrecen una fiabilidad y durabilidad probadas, y presentan la mejor estabilidad térmica de cualquier cabeza de sensor del mercado.
- Construcción soldada de alta temperatura
- Temperaturas de cocción de hasta 450°°C
- Obturador de cristal (opcional)
- Soporte de cristal de carga frontal
Precisión óptima, máximo tiempo de actividad y mínimo mantenimiento para aplicaciones ALD
- Es compatible con la mayoría de temperaturas de proceso de ALD
- Reduce el mantenimiento considerablemente
- Maximiza el tiempo de actividad del sistema
- Maximiza la precisión de las mediciones
El sensor CrystalSix de INFICON es crucial para procesos largos que requieren un control continuo de la velocidad.
- Soporta 6 cristales con una función de sustitución resistente y automática para maximizar el tiempo de actividad del proceso
- Temperatura estable de los cristales, ya que la sustitución se acciona por neumáticos (las unidades de la competencia utilizan motores de generación de calor)
- Los tubos de 1,8" mantienen la estabilidad térmica y ofrecen flexibilidad para la instalación del sensor
- Obturador de cristal opcional disponible
Rendimiento excelente del cristal en aplicaciones exigentes
- Seis cristales
- Retroalimentación de posición (dependiente del controlador)
- Longitud ajustable (con brida opcional)
- Diseño resistente
El sensor SemiQCM® SR es un componente de un sistema para la supervisión de precursores siendo los otros componentes un IMM-200 y FabGuard (versión 19.12.00-a o superior).
- Control del proceso in situ y en tiempo real
- Prevenir el sobregrabado, identificar el punto final de limpieza de la cámara
- Identificar fallos en el equipo o en el estado del proceso
Proteja y aumente sus beneficios con una supervisión precisa de la velocidad y el espesor
- Monitorización del proceso in situ y en tiempo real
- Prevención de sobregrabado, identificación del punto final de limpieza de la cámara
- Identificación de fallos en el equipo o en el estado del proceso
La sustitución de cristales automática maximiza el tiempo de producción
- Soporta 12 cristales con una función de sustitución resistente y automática para maximizar el tiempo de actividad del proceso
- Carro fácil de extraer que permite una sustitución rápida de los 12 cristales
- Temperatura estable de los cristales, ya que la sustitución se acciona por neumáticos (las unidades de la competencia utilizan motores de generación de calor)
INFICON ofrece una gran variedad de pasos de sensores de monitores de cristal de cuarzo (QCM) para almacenar diferentes sensores QCM y configuraciones de cámara. Los pasos de estilo perno CF40 (2,75 pulgadas ConFlat®) y 2,54 cm (1 pulgada) están disponibles en diferentes combinaciones de conexiones eléctricas, refrigeración por agua y tubos de aire.
- Los pasos de estilo perno CF40 (2,75 pulgadas ConFlat ) y 2,54 cm (1 pulgada) están disponibles en diferentes combinaciones de conexiones eléctricas, refrigeración por agua y tubos de aire.
- Conectores por comprensión con junta tórica Ultra-Torr disponibles
- Configuración personalizada del paso eléctrico
INFICON ofrece una gran variedad de pasos de sensores de monitores de cristal de cuarzo (QCM) para almacenar sensores de velocidad sencilla.
- Disponibles modelos con perno de 2,54 cm (1 pulg.) o CF40 (2,75 pulg. ConFlat®)
- Disponibles con racores perforados