Monitoreo
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Monitores
IMM-100
Proteja y aumente sus beneficios con una supervisión precisa de la velocidad y el espesor
IMM-100
- La tecnología INFICON ModeLock proporciona la mayor vida útil del cristal y garantiza la medición de espesores más estable y de mayor resolución disponible, incluso a velocidades muy bajas
- Maximice el rendimiento con la mejor medición de espesor QCM posible
Monitores
IMM-200
Proteja y aumente sus beneficios con una supervisión precisa de la velocidad y el espesor
IMM-200
- La tecnología INFICON ModeLock proporciona la mayor vida útil del cristal y garantiza la medición de espesores más estable y de mayor resolución disponible, incluso a velocidades muy bajas.
- Maximice el rendimiento con la mejor medición de espesor QCM posible
Monitoreo
SQM-160
QM-160 utiliza la tecnología probada del sensor de cristal de cuarzo de INFICON para medir la velocidad y el grosor en procesos deposición de película delgada.
SQM-160
- Dos canales de medición estándar y cuatro adicionales opcionales
- Salidas analógicas para registrar el grosor y la velocidad
- Opción de alta precisión: 0,03Hz a 10 lecturas/segundo
- RS-232 estándar, USB o Ethernet opcional
Monitoreo
STM-2 Monitor De Medición De Velocidad/Grosor De Película Delgada
STM-2 combina la simplicidad de la conexión USB con la precisión de una máquina de medición de precisión, todo ello en un pack asequible y compacto.
STM-2 Monitor De Medición De Velocidad/Grosor De Película Delgada
- Instrumento de bajo coste
- Conexión USB
- Oscilador interno
- Gran precisión con 10 lecturas por segundo
Monitores
Sensores SemiQCM® SR para la monitorización de precursores
El sensor SemiQCM® SR es un componente de un sistema para la supervisión de precursores siendo los otros componentes un IMM-200 y FabGuard (versión 19.12.00-a o superior).
Sensores SemiQCM® SR para la monitorización de precursores
- Control del proceso in situ y en tiempo real
- Prevenir el sobregrabado, identificar el punto final de limpieza de la cámara
- Identificar fallos en el equipo o en el estado del proceso
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Sensores SemiQCM® CR para el control de precursores
Proteja y aumente sus beneficios con una supervisión precisa de la velocidad y el espesor
Sensores SemiQCM® CR para el control de precursores
- Monitorización del proceso in situ y en tiempo real
- Prevención de sobregrabado, identificación del punto final de limpieza de la cámara
- Identificación de fallos en el equipo o en el estado del proceso